【課題】多関節型測定アームに測定誤差要因となるストレスがかからない測定姿勢を維持させる。
【解決手段】測定アームの各関節の角度に基づき、１）測定アームの第１リンクと第２リンクがなす角度が所定値を超えて１８０°に近づいた、２）手首関節からアーム支点への距離が所定値を超えて遠くなった、３）バランサーにより発生される力に基づいて定められる所定範囲を超えて第２リンクが曲げられた、のいずれかの条件が成立した場合、ユーザへの警告を行ない、専用プロセッサからの空間座標値の出力を中止する。 （もっと読む）

【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部（２０）と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部（静止判定部５８）と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部（座標算出部５３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】出力データの精度評価を、理論的で、簡単な計算で行え、計算量が少なく、収束計算を行う必要が無く、データ処理を行う多くのソフトウェアに適用可能であり、誤差の要因の分析、要因毎の大きさの比較等の多くの解析が可能となるようにする。
【解決手段】データ処理を入力データによって数値微分することで、データ処理のヤコビ行列Ｊを求める手順（ステップ１１０）と、入力データの持つ誤差の分散共分散を推定して、入力データの誤差行列Ｄを求める手順（ステップ１２０）と、前記ヤコビ行列Ｊ及び入力データの誤差行列Ｄより、出力データの持つ誤差の分散共分散を表す誤差行列Ｒを計算する手順（ステップ１３０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】母材ガラス板を加熱延伸しながらガラス条の反りを測定できるガラス条の反りの測定方法およびこれを用いたガラス条の製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱延伸装置を用いて母材ガラス板を加熱延伸しながら、該延伸して形成したガラス条の幅方向の中心および両端部近傍を含む少なくとも３点において該ガラス条の表面および裏面の相対位置を検出し、該検出した相対位置に基づいて前記ガラス条の反りを測定する。好ましくは、前記ガラス条に向かって光を照射し、該ガラス条の表面および裏面からの前記光の反射光を測定することによって、前記相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】長時間に亘って高精度に測定対象の位置検出を可能とする位置情報検出システムを提供する。
【解決手段】位置情報管理システム１は、絶対座標系での基準位置からの位置を示す位置情報を第１の測定条件又は当該第１の測定条件よりも測定精度が高い第２の測定条件で検出する第１の位置情報検出部と、無線通信により通信する送受信部２６とを有する複数の位置情報検出装置１０乃至位置情報検出装置１４と、送受信部２６と無線通信により通信する送受信部３４と、送受信部３４を介して、第１の位置情報検出部の測定精度を測定開始から測定終了までは第２の測定条件に切り替える制御部３２とを有する位置情報管理装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成で精度の高い動き測定を行う。
【解決手段】動き測定装置として機能するＰＣのプロセッサは、角速度センサおよび加速度センサから角速度および加速度をそれぞれ繰り返し取得し、取得された角速度を積算していく。そして、取得された加速度が加速度条件を満足したとき、積算結果をリセットする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの形状計測装置の系統的誤差を判定する。
【解決手段】ウェーハを計測器に対して角度を変えながらその表裏面を計測してセンサデータを収集し、表裏データセットを作る。ウェーハ角度に対して裏側データを表側データから差し引いて二分する事によって、各角度のウェーハ形状の平均を求める。また表裏データを加えて二分することにより各角度における計測シグネイチャを求める。対称的修正値は各角度における計器シグネチャ全てを平均する事によって計算され、該対称的修正値を計測の時と同じ角度毎に引き算し、校正されたウェーハデータセットを生ずる。ウェーハ平均値を、これらの校正ウェーハ形状計測値を平均する事によって計算し、該ウェーハ平均値を修正された形状計測値から差し引いて、それぞれの角度における形状残余マップを作る。残余を平均して非対称性誤差を算出し、対称性誤差と加算して系統的誤差を求める。 （もっと読む）

【課題】
リソグラフィ装置におけるレベルセンサまたは高さセンサのキャリブレーションのための改良方法を提供する。
【解決手段】レベルセンサによって得られる基板位置測定のプロセス依存性を低減させるべく、複数のレベルセンサデバイスにおける測定値間の差を補い、かつ前記基板の特性に対応する、前記レベルセンサシステムについての少なくとも１つのキャリブレーション値を取得することと、少なくとも１つのキャリブレーション値に基づき、前記複数のレベルセンサデバイスを用いて、基板の表面の位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】
シリコンウェーハやＦＰＤ用ガラス基板等のパネルの形状の大面積・薄肉化に伴い、自重によるパネルの変形の影響を受け、正確なパネルの形状の測定が困難になってきているが、縦型形状測定装置を使用し、正確なパネルの形状を測定する方法を提供する。
【解決方法】
縦型形状測定装置を使用し、大面積・薄肉パネル形状を測定する場合の、その測定に影響を与える誤差要因を分析し、縦型形状測定装置固有の系統誤差を抽出した。その抽出した系統誤差値を補正値として形状を測定すれば、パネルの正確な形状測定が可能となる。 （もっと読む）

内臓脂肪の量などを求めるために皮下脂肪を計測する際、計測時の計測部位の変形や計測者の計測方法の違いにより、計測結果がばらつき、安定した計測値を得ることがむずかしかった。 生体表面１に所定の面部を圧着させて皮下脂肪厚を計測する皮下脂肪計測部２、皮下脂肪計測部２から生体表面１へ加わる圧力を計測する押し当て圧力計測部６、生体表面１への圧力の無い状態での複数種類の皮下脂肪厚の値と、その複数種類の皮下脂肪厚のそれぞれについての生体表面へ加わる圧力と、その圧力が加わっている状態での皮下脂肪厚との関係についての情報を持つデータベース２５、皮下脂肪計測部２で計測した皮下脂肪厚と、押し当て圧力計測部６で計測した生体表面１へ加わる圧力に基づいて、データベース２５を利用して、生体表面１への圧力が無い状態での皮下脂肪厚を算出する演算部７と、算出された皮下脂肪厚から内臓脂肪の量を算出する内臓脂肪演算部５１を備えた。
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