本発明は、少なくとも２つの場測定センサ対を有する、センサアレイを提供しており、２自由度における場計測が可能である、各センサ対は、２以上の自由度で柔軟基板に搭載されており、場測定センサは、地盤、構造体および生体の動的及び静的形状の精度、及び動的及び静的振動の精度を計測又は改善するために、基板にそって２自由度の方位データを提供する。本発明は、場測定センサにより実現される精度を更に改善するために、追加的な非場測定センサを更に追加する。
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【課題】 ＸＹ方向へのクロストークを極力なくしてＺ方向への直進性を向上し、高精度に試料の形状情報や物理情報を計測すること。
【解決手段】 探針２ａを有するプローブ２と、該プローブ２を固定すると共に電圧を印加されたときに試料表面Ｂに垂直なＺ方向に伸縮するＺアクチュエータ４と、該Ｚアクチュエータ４に電圧を印加する印加手段５と、該印加手段５の作動を制御する制御手段とを備え、Ｚアクチュエータ４が、Ｚ方向に伸縮自在な圧電体２０と、圧電体２０の内周面又は外周面に少なくとも周方向に３つ以上に分割された状態でそれぞれ電気的に独立して設けられ、接触する領域の範囲で圧電体２０に電圧を印加して伸縮させる複数の分割電極２２とを有し、制御手段が、分割電極２２にそれぞれ接触する圧電体２０の各接触領域の伸縮量がそれぞれ同一となるように、予め決められた電圧印加量の比率で電圧を印加するよう印加手段５を制御する表面情報計測装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】２軸測定信号の和差値を、コスト負担が少ない小さな回路規模で高速に算出する。
【解決手段】２軸分の変位検出器（１０Ａ、１０Ｂ）からの計数パルスを入力し、２軸間の和又は差を出力するための２軸測定信号の和差値出力装置であって、２軸測定信号の和又は差を計数するためのカウンタ３２と、２軸測定信号の状態に応じて、該カウンタの計数モードを制御する和差計数制御回路３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 加えられる回転変位（角度変位）の大きさに係わらず、回転検出対象の回転状態を確実に検出することができるようにする。
【解決手段】 回転センサは、円環状の環状容器１１を有する。この環状容器１１は、円環状の液体流路１１１を形成する。この液体流路１１１には、液体が封入されている。また、この液体流路１１１には、梁１２が設けられている。この梁１２は、環状容器１１の回転に伴って生じる液体の流動によって変位させられる。この梁１２には、歪みゲージ１３が設けられている。この歪みゲージ１３は、梁１２の変位を検出する。この歪みゲージ１２には、角加速度検出部２０が接続されている。この角速度検出部２０は、歪みゲージ１２の検出出力に基づいて、回転検出対象の角加速度を検出する。 （もっと読む）