【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】測定位置および方向を変える場合でも、検出器の取り付けを変更せずに検出器ホルダの取り付け方向のみを変更すればよく、測定点が測定平面からずれない真円度測定装置の実現。
【解決手段】ベース21と、載置されたワーク32を回転する回転台22と、回転台の回転軸に対して平行に伸び、回転台の回転軸とワークの測定点を含む測定平面に平行に移動可能なコラム24と、コラムに沿って移動可能に支持されたキャリッジ25と、キャリッジに取り付けられた検出器ホルダ29と、測定子31が測定平面で変位可能なように、検出器ホルダに取り付けられた検出器30と、を有し、検出器ホルダは、測定平面に垂直な回転軸を中心とした異なる回転位置でキャリッジに取り付け可能で、異なる回転位置に取り付けても測定子が測定平面で変位可能な状態が維持される真円度測定装置。 （もっと読む）

【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】画面サイズを上回る大きさの被測定物の寸法を高精度で測定する用途に好適な携帯端末、寸法測定システム、寸法測定方法、及び寸法測定プログラムを提供する。
【解決手段】携帯端末１は、姿勢センサ１３と、記憶部１５と、処理部１４と、表示部１１とを具備する。姿勢センサ１３は、携帯端末１の姿勢情報を検出する。記憶部１５は、基準寸法を保持する。処理部１４は、姿勢情報及び基準寸法に基づいて被測定物の寸法を計算する。表示部１１は、寸法を表示画面に表示する。 （もっと読む）

【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ（スティッチ）に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面２の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面２に対して、前記被計測面２の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域８を設定する第１ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域８のそれぞれについて計測データを取得する第２ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面２の表面形状を算出する第３ステップと、を有し、前記平行四辺形は、１２０度と６０度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 （もっと読む）

【課題】単純な機構を用いて、単一の動力装置により稼働することで、小型で汎用性が高く、死角や遅延を抑制することができる三次元走査機構を提供する。
【解決手段】動力装置からの動力が下部フランジ６，１０に伝達されることで、当該下部フランジ６，１０がスタッドボルト４の周囲を軸回りに回転し、当該下部フランジ６，１０の軸回りの回転力がリンク機構１，５を介して上部フランジ２，３に伝達されることで当該上部フランジ２，３はスタッドボルト４の外周面を軸回りに螺旋状に回転しながら上下方向に移動可能な構成となっている。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の姿勢においてプローブを用いて物体をプロービングすることによって、プローブが物体とレジストレーションされる方法を提供する。
【解決手段】プローブ１１０の各姿勢は、ロケーションおよび向きを含む。プローブ１１０の現在のロケーションの確率分布が、粒子のセットによって表され２０１、プローブ１１０の現在の向きの確率分布が、各粒子について、現在のロケーションを条件とするガウス分布によって表される。候補動作のセットが選ばれ２１５、各候補動作について、粒子のセットに基づく期待不確実性が求められる２２０。最小の期待不確実性を有する候補動作が、プローブ１１０の次の動作として選択され２３０、プローブ１１０は、次の動作に従って移動され２０２、粒子のセットは、プローブ１１０の次の姿勢を用いて更新される２１０。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】より単純およびよりコンパクトであり、さらにデバイスのレギュレーション工程のより良い動的管理を与える測定機を提供する。
【解決手段】座標位置決め装置または座標測定機（ＣＭＭ）は、ＴＣＰ／ＩＰインタフェース２７０上の外部デバイス６００の接続を許容する個別の軸ドライバおよびプロキシモジュール２７５を駆動するように配置されたマイクロプロセッサ制御ユニット２１０を有する。外部デバイス６００は、マイクロプロセッサ制御ユニット２１０に埋め込まれたｈｔｔｐサーバ２７８によってユーザ相互作用に、または動的パラメータの調整および較正を含む高度なタスクに用いられる。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】円形ワーク等を含む種々のワークの形状を短時間で簡易かつ正確に測定できるワーク寸法測定装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを挟んで両側に位置させられ、ワークＷに向けて一定長の線状レーザ光Ｌを照射する一対のレーザ変位計４Ａ，４Ｂと、これらレーザ変位計４Ａ，４Ｂを互いに対向する方向で離間ないし接近方向へ移動させるスライダ機構２Ａ，２Ｂと、ワークＷに照射された線状レーザ光ＬがワークＷの表面に線像を生じさせた際の移動距離に基づいてワークＷの外形寸法を算出するパソコン６とを備える。ワークＷは円形であり、その外周面に生じる線像は頂点を有する円弧状をなし、パソコン６は上記移動距離と頂点の位置に基づいてワークＷの外径を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の測定面領域が互いにオーバーラップ領域を持たない場合などでも、複数の面測定データの相対位置関係を高精度に合わせることができる表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置１０は、光学的表面形状測定機１１と触針式検出器２２などの高さ測定機を備え、光学式表面形状測定機１１で測定した複数箇所の測定面領域の各面測定データにおける高さ測定点の各測定値の相対的位置関係を、高さ測定機２２で測定した前記高さ測定点の各測定値の相対的位置関係に合わせるように前記各面測定データを移動補正する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を比較的高い精度で簡易に測定でき、製造コストの低減も期し得る測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物７を載置するテーブル９が、その中心Ａを通る軸線回りに回転できる。テーブル９の前方側に、左右方向で移動する測定器１７を有する。測定器１７は、前後方向で進退する測定子１９を具え、後退状態にある測定子１９の先端の接触点２０とテーブルの中心Ａを通る左右方向の直線との間の距離が所要値に設定されている。測定器１７は、左右方向で見た一端側位置２２と他端側位置２５で、被測定物７の前面１２に向けて進行し、後退状態の接触点と被測定物の前面１２との間の第１距離Ｄ１、第２距離Ｄ２を測定する。第１距離Ｄ１と第２距離Ｄ２が相違する場合は、一端側位置２２と他端側位置２５における、接触点２０と前面１２との間の距離が等しくなるようにテーブル９が回転する。 （もっと読む）

【課題】工具の平衡度を、該工具の先端の形状や温度等に依存せず、短時間で精度良く測定することができる平衡度測定装置及び平衡度測定方法を提供する。
【解決手段】工具Ｔが離間可能に当接される測定面１１を設けた測定部１０と、測定部１０の測定面１１に対向した付勢面１１ｂに当接し、測定部１０を付勢する付勢部２１と、測定部１０の付勢面１１ｂに当接した状態で設けられ、工具Ｔに当接された測定部１０が付勢されている方向と反対の方向に移動した場合に、測定部１０の位置を検出する検出部３１と、測定部１０の測定面１１の側に設けられ、付勢部２１に付勢された測定部１０を離間可能に係留して停止させる係留部４０と、検出部３１と電気的に接続され、検出部３１が検出した測定部１０の位置の変化量又は位置の絶対値を報知する報知部とを有する。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定装置に関するエラーログを容易に取得可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象に対して相対移動可能な測定子、および測定子を移動させる移動機構を有する本体２と、本体２の移動機構の駆動を制御するモーションコントローラー３と、を備える。モーションコントローラー３は、時刻を計測するＲＴＣ３１と、本体２のエラーを検出して、ＲＴＣ３１エラー検出時刻を取得し、検出したエラーに基づいたエラーデータと、エラー検出時刻とを関連付けたエラーログ３２１を生成するエラー検出部３３と、エラーログが記録される記録部３２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】広範囲の測定対象物に適応でき、インプロセスで表面粗さの変化量を検出することができるワークの表面状態検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】一つの測定用熱電対２０２をワーク２０３の被測定面に対してこれに接触させた状態で相対運動させることにより発生する当該熱電対の熱起電力の変化量を測定し、この熱起電力の変化量から、測定用熱電対２０２と同一のデータ採取用熱電対を当該被測定面に対する場合と同一の接触条件及び相対運動条件で表面粗さが既知の基準面に接触させた状態で相対運動させることによって予め求めた熱起電力の変化量と前記基準面の表面粗さの変化量との相関関係データΔＥ＝β・Ｒｙ（ΔＥは前記相対運動開始時から測定時までの熱起電力の変化量、βは熱電対の接触条件及び相対運動条件に応じて熱起電力と表面粗さとの関係から導かれる粗さ係数、Ｒｙは表面粗さ）に基づいて、被測定面の表面粗さの変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】枕木の変位量を簡単に計測でき、変位量から道床・路盤の状態を客観的に判定することができるため、軌道の保守点検作業においてより一層の効率化および信頼性の向上を図ることができる枕木変位計測システムを提供する。
【解決手段】レールを締結固定する枕木に沿った水平方向と、レールに沿った垂直方向と、これら２つの方向に直交する重力方向との三軸方向の加速度を検出する三軸加速度検出手段と、その検出結果における不要な（衝撃・定常）成分を除去するフィルタと、この不要な成分を除去されたデータに対し、積分演算を施して枕木の変位量を算出し、その変位量から必要変位波形を抽出して得た必要変位波形から最大変位量を算出する手段とを具備する変位量測定装置を設け、列車が通過する際の列車全体に対する枕木の変位波形および変位の最大値、変位に伴う三軸方向の最大加速度を計測可能とした。 （もっと読む）