【課題】全周にわたり高さなどの変位を測定するための回転装置において、測定対象が回転していることを簡易な構造で確認できる手段を提供する。
【解決手段】全周にわたり高さなどの変位を測定するための回転装置において、測定対象である回転対象物の上面に載置されるおもりの回転を、該おもりに備え付けられた検知対象部の通過により確認する回転確認機構であり、上記おもりは、上記回転対象物の被測定部位を覆わず、回転とともに該被測定部位の変位を測定することが可能な形状であり、前記回転対象物に回転力を与える機構と接触しないことを特徴とする回転確認機構を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試験片の位置を正確に設定することができ、試験片の寸法を精度よく測定することが可能な測寸装置を提供する。
【解決手段】 試験片１の両端をその下方より支持して搬送する一対のコンベア１１と、このコンベア１１により搬送された試験片１を撮影することにより試験片１の幅を光学的に測定する幅測定機構３と、このコンベア１１により搬送された試験片１を上下方向から挟持することによりその上下方向の厚さを測定する厚さ測定機構４と、コンベア１１による試験片１の搬送経路上に配設され試験片１の両端部に当接可能な当たりブロック６とを備える。 （もっと読む）

【課題】精度よく測定しなければならない小さい領域と、精度よく測定しなくてもよい大きな領域とが混在する大きな被測定物を適切に測定することができる安価な三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、制御装置３とを備える。三次元測定機本体２は、測定子を有するプローブ４と、プローブ４を駆動する駆動機構５とを備える。プローブ４は、測定子を駆動する駆動部４３を備える。制御装置３は、第１測定部３２１と、第２測定部３２２とを備える。第１測定部３２１は、駆動部４３にて駆動される測定子の移動量を測定する。第２測定部３２２は、プローブ４の移動量を測定する。また、第２測定部３２２による測定精度は、第１測定部３２１による測定精度より低い。 （もっと読む）

【課題】切削加工後の長尺シャフトなどの管状部材の内面を簡単に検査できる内面検査装置を提供する。
【解決手段】管状部材１の内面２を加工する内面検査装置であって、管状部材１を固定する固定装置１０と、固定装置１０により固定された管状部材１の内面２を加工する加工機２０、３０、４０と、内面２に区画された管状部材の内部空間に位置した状態で、加工機に加工された内面２を検知する内面検査ヘッド１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブルに固定されているワークの測定基準面が傾いている場合でもワークの形状を精度良く測定することができ、測定作業を簡単に行うことができる形状測定方法及び測定機能を有する機械を提供する。
【解決手段】測定ヘッド９がワーク７に対してアプローチする複数の測定動作方向を画面に表示するステップと、複数の測定動作方向のうちからワーク７の測定基準面２にアプローチするいずれか一つの測定動作方向を選択するステップと、ワーク７の測定基準面２上の３点の座標値を選択された測定動作方向へアプローチさせて測定するステップと、測定した３点の座標値に基づき測定基準面２を装置１の主軸３の軸線ＣＬに対して垂直に向けるのに必要とされる回転送り軸の割出し角度を演算するステップとを含み、ワーク７の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定を効率よく行う。
【解決手段】測定装置１１は、被検物の形状を測定する測定プローブ１８と、被検物を載置する上面が水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜可能とされ、複数の基準穴３１が形成された回転テーブル２１を有する傾斜回転テーブル１４とを備えている。基準穴３１は、回転テーブル２１の傾斜軸Ｌ２に対し、回転テーブル２１の上面から見て線対称となる配置で、回転テーブル２１の外周の端部近傍の４箇所以上に形成されている。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを高精度に三次元計測すること。
【解決手段】三次元計測システム１は、非接触式の三次元計測器４をロボット２により移動させてワーク５の形状を三次元に計測する。予めロボット座標データに基づき制御されるロボット２の挙動をロボット計測装置１４により実測し、そのときのロボット実測データとロボット座標データとをデータ処理装置１２が比較してロボット座標データを補正するための補正モデルを算出して備えておく。そして、ワーク５の計測時には、ロボット座標データに基づき制御されるロボット２と三次元計測器４を同期させてワーク５の形状を三次元に計測し、そのときのロボット座標データを補正モデルにより補正し、その補正されたロボット座標データと三次元計測器４による三次元計測座標データとをデータ処理装置１２で統合して任意座標により出力装置１３へ出力する。 （もっと読む）

【課題】演算時間の浪費を抑制し、且つ演算エラーを抑制したワークモデル生成方法、及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】ワークモデル生成方法は、削り刃によって切削する経路を示す切削経路の外郭部である外郭切削経路を特定する外郭切削経路特定ステップと、外郭切削経路にて囲まれる面を含んで構成される所定厚みの切削ワークモデルを原ワークモデルから削除して加工ワークモデルを生成する加工ワークモデル生成ステップとを備える。このように、外郭切削経路にて囲まれる切削ワークモデルを原ワークモデルから削除して加工ワークモデルを生成するので、切削経路全体について切削ワークモデルを生成する必要がなく、演算時間の遅延を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ロープ溝の摩耗量の測定では、ロープ溝の全周に渡る測定を実施せず、ロープ溝のある部分の代表値の測定のみであり、ロープ溝に偏摩耗などがある場合は正確に検出できない。
【解決手段】ロープ溝２１の特定部位の位置を測定する位置センサ４と、この位置センサを溝車２の中心軸方向に沿って移動する軸方向移動手段６と、溝車の回転角度を検出する回転角検出手段９と、位置センサの検出値（位置データ）と軸方向移動手段の駆動量（駆動データ）と回転角検出手段の検出値（回転角度データ）とからロープ溝の断面形状を算出する溝形状演算手段１０とを備え、溝車のロープ溝の全周に渡る摩耗状態を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】光学走査に由来する、構成部品の実測データを調査する方法を改良する。
【解決手段】構成部品１の実測データ２を、構成部品の実測データを調査する仮想座標測定機の仮想測定スタイラスを生成する接触式座標測定機用測定プログラム２４を用いて調査する。 （もっと読む）

【課題】偏心位置が回転軸から大きく離れている場合であっても、高精度で偏心位置が求められる真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラムを提供する。
【解決手段】真円度測定装置は、回転駆動手段によるワーク４の回転角、及びその回転角に対応する回転軸からワーク４の表面までの距離を測定値Ｐとして取得する測定値取得部を備える。また、真円度測定装置は、中心位置（ａ，ｂ）を変動可能なパラメータとする円形状の補正円ＣＬを設定し、測定値Ｐから補正円ＣＬの中心位置に向かう方向の、各測定値Ｐと補正円ＣＬとの間の距離の２乗和が、最小値となるように、補正円ＣＬの中心位置及び半径値を計算し、その計算した補正円ＣＬの中心位置（ａ，ｂ）を偏心位置とする偏心計算部を備える。 （もっと読む）

【課題】判定対象の背面形状に対して所定の分類中最も的確な分類を客観的に判定することができる背面形状判定分類方法及びそれを用いて自動的に判定を行う背面形状分類判定装置を提供することにある。
【解決手段】背面形状分類判定装置１は、人体背面の凹凸を関数化した背面形状データを複数のクラスタに分けて記憶した背面形状データベースを構成する記憶部１１と、判定対象の背面形状を測定して当該判定対象の背面の凹凸を関数化した背面形状データを取得する背面形状取得手段と、前記判定対象の背面形状データと前記複数のクラスタに含まれる背面形状データとの間の距離に基づいて前記判定対象の背面形状が属するクラスタを決定する判定手段としての機能を備えた演算処理部１１と、分離判定に基づいてレポートを表示する表示部１２とを備えている。 （もっと読む）

本発明の１つの態様は、第１の端と、第２の端と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアームを含む座標測定機器を含み、各アームセグメントは、少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。アームの第２の端には、測定プローブアセンブリが結合される。測定プローブアセンブリは、アームの第２の端と測定プローブアセンブリのボディとの間に第１の回転軸を提供する第１の継ぎ手を含む。エンコーダは、エンコーダケースおよびエンコーダシャフトを含む。エンコーダケースは、ボディに剛結合されるエンコーダシャフトに対して第２の軸を中心に回転するように構成される。エンコーダシャフトにプローブが剛結合される。第２の軸を中心にプローブに対して回転するように、測定機器がエンコーダケースに結合される。
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【課題】走査型プローブ顕微鏡測定の障害となる半導体ウエハ内部に蓄積された電荷を、確実に取り除き、走査型プローブ顕微鏡の探針の破壊を防止し、安定した表面形状測定を行うことができる測定システムおよび測定方法を提供すること。
【解決手段】第１プローブ１３６と、被測定物ＳＰを第１プローブ１３６に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第１試料位置制御手段１２０と第１プローブ１３６および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する走査型プローブ顕微鏡部１００と、導電性の第２プローブ２３２と、被測定物ＳＰの特定部位を第２プローブ２３２に対して進退および走査可能に相対的に移動させる第２試料位置制御手段２２０と第２プローブ２３２および被測定物ＳＰの表面を観察可能な光学顕微鏡部１５０とを有する除電部２００と、を備える。 （もっと読む）

本システム、方法、製品、ソフトウェア及び装置は知的プローブシステム又はその構成部分である。本発明のある実施形態では、１個又は複数個の可換なプローブ内にＩＣチップを埋め込んであるので、ＣＭＭ上でのプローブ換装を、何回でも、迅速に、容易に且つ誤りなく行うことができる。
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工作物（４０）などの物体の寸法が公差に合致しているかどうかを決定するための「ｇｏ、ｎｏ−ｇｏ」法について説明される。この方法は、座標測定機械、工作機械、旋盤などの測定装置に設置されたタッチトリガー、アナログ、または非接触プローブなどの測定プローブを使用する。この方法は、物体の公差に基づいた物体に対する経路の周囲で測定プローブを動かすステップを含む。物体に対する経路は、物体の最大公差に基づいた少なくとも１つの第１経路（４６）と、物体の最小公差に基づいた第２経路（４４）とを含んでよい。この方法は、測定プローブが経路の周囲で動かされる際、そのプローブによって取得されるあらゆるプローブ測定データを監視するステップと、測定プローブが経路の周囲で動かされる際、取得されるプローブ測定データの状態が変化する場合のみ物体の寸法が公差に合致していないことを示すステップと、をさらに含む。
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座標計測機を使用する加工対象物測定値の誤差補正の方法であって、加工対象物を測定するステップと、所定の誤差関数、検索テーブルまたはマップから再現可能な測定誤差を決定するステップと、加工対象物が測定される際に、少なくとも加速度の関数を測定し、及び、再現不可能な測定誤差を計算するステップと、トータルの誤差を決定するために、再現可能及び再現不可能な誤差を結合するステップと、加工対象物の測定値を補正するために、トータルの誤差を使用するステップとを有する。
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【課題】本体部に接続されたヘッド部を容易に認識することが可能な検出器およびこれを用いた測定システムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵは測定値が許容範囲内にあるか否かを判別する。測定値が許容範囲内にある場合、ＣＰＵは表示灯による表示色を緑色に決定し、測定値が許容範囲内にない場合、ＣＰＵは表示灯による表示色を赤色に決定する。次に、ＣＰＵは使用者によりモードキーが所定時間押下されたか否かを判別する。使用者によりモードキーが所定時間押下された場合には、ＣＰＵは表示灯による表示方法を点滅に決定する。使用者によりモードキーが所定時間押下されていない場合には、ＣＰＵは表示灯による表示方法を点灯に決定する。次に、ＣＰＵは上記のように決定された表示色および表示方法によりヘッド部の表示灯を表示させる。 （もっと読む）