【課題】スタイラスの変位を正確に測定すること。
【解決手段】位置測定装置に用いる表面検出装置は、測定すべきワークピースの表面を走査するためのチップ８２をもつ長いスタイラス７４を有する。スタイラスチップの横変位は、光源６６から逆反射体（ｒetroreflector）７８にスタイラスに沿って通過するライトビームによって測定される。これは、ビームを反射して、ブームスプリッタ７０を介して位置高感度検出器７６に戻す。スタイラスは、キャリッジ７２に縦変位のために設置される。その縦変位は、ビームスプリッタ７０によって、第２の位置高感度検出器８４に投光される他のライトビームによって測定される。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向への駆動精度を向上させる
【解決手段】Ｚ軸スピンドル１９は、エアベアリング２２−１および２２−２により鉛直方向への移動がガイドされる。シャフトモータ２３は、鉛直方向に延びるように配置されるシャフト２５と、シャフト２５に対して非接触で、シャフト２５に沿った方向にＺ軸スピンドル１９を駆動させる駆動力を発生するスライダ２６から構成される。また、エアシリンダ２９は、シャフトモータ２３のシャフト２５によりＺ軸スピンドル１９の重量を支持し、Ｚ軸スピンドル１９の重量に見合う押上力を、Ｚ軸スピンドル１９の移動に応じて発生する。本発明は、例えば、プローブにより形状を測定する三次元測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表裏面形状にかかわらず、１つのプローブで被測定物の表裏面を高精度に測定できる表裏面測定プローブ、表裏面測定装置および表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】プローブ本体１０と、両端に接触子２２，２３を有する検出軸２０と、この検出軸２０をプローブ本体１０に対して検出軸２０の軸方向へ移動可能に支持するガイド機構３０と、検出軸２０を軸方向へ移動させる駆動機構４０と、検出軸２０と同軸上において、検出軸２０の移動位置を検出する位置検出手段５０とを備える表裏面測定プローブ。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】フレッチング摩耗によるホイールの車両ハブとの接触面の摩滅量を簡便にかつ精度良く測定する方法とその装置を提供する。
【解決手段】直方体状の当接部材１１に、リニアゲージ１２の測定子１２ｃが上記当接部材１１の当接面１１ａに垂直な方向に移動可能に取り付けられた摩滅量測定装置１０を、測定子１２ｃの先端が摩滅量が大きい領域である円環状の領域内に位置し、かつ、上記当接部材１１の当接面１１ａが、ホイールに設けられたボルト挿入孔のホイール径方向の外側を結ぶ円とホイール径方向の内側を結ぶ円とに囲まれた略円環状の領域に接するように、測定するホイールの車両ハブ取付面に置き、上記測定子１２ｃの上記当接面１１ａからの突出量を測定して表示させるようにした。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計を用いて表面形状を測定する際に、表面形状における段差部での応答性の良さと雑音の小ささを両立させることができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】カットオフ周波数７０Ｈｚの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のｘ方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸ｘ方向の距離と縦軸ｚ方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、ｄｚ／ｄｘ又はｄｚ／ｄｔの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、平坦部領域データ部分をさらに１３Ｈｚ程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置とを有して成る。 （もっと読む）

携帯型計測装置のための方法及びシステムが記載される。本発明の１実施形態は、第１のリンクと、第１の自由度で移動するように動作可能な第１の連結器によって第１のリンクと連結される第１のプローブと、第２の自由度で移動するように動作可能な第２の連結器によって第１のリンクと連結される第２のプローブと、第１の連結器の動作と関係付けられる第１のセンサ信号を出力するように動作可能な第１のセンサと、第２の連結器の動作と関係付けられる第２のセンサ信号を出力するように動作可能な第２のセンサとを有する装置である。また、実施形態は、第１及び第２のセンサと連絡するプロセッサであって、第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号を受信し、且つ少なくとも部分的に第１のセンサ信号及び第２のセンサ信号に基づいて第１のプローブと第２のプローブとの間の距離を判断するように動作可能なプロセッサを有する。
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【課題】 スポット溶接する複数の金属板の隙間を計測する。
【解決手段】 本発明は、アームの先端に支持された第１の電極と、該第１の電極と協働して重なり合う複数の金属板を加圧状態で挟持して溶接する第２の電極とを有するスポット溶接装置を用いる。挟持方向の加圧力と該加圧力によってたわむアームの挟持方向のたわみ量との関係を求める。アームに挟持方向の荷重を検出する荷重検出器を取り付けた状態で、該アームの先端と第２の電極との間に、隙間の計測箇所を配置し、第２の電極により金属板を加圧する。第２の電極による第１の加圧力と荷重検出器により検出される第２の加圧力とを比較する。第２の加圧力が第１の加圧力より小さいとき、第２の加圧力と加圧力とたわみ量との関係とに基づいてアームの挟持方向のたわみ量を算出する。算出したたわみ量と、複数の金属板の厚さ合計と、加圧中の第２の電極の挟持方向位置とに基づいて計測箇所の隙間を算出する。 （もっと読む）

計測プローブのタスクモジュールまたはスタイラスを交換するための装置を開示する。一の実施形態において、スタイラスモジュール（１８）がプローブの保持モジュール（１６）に磁気的に保持される。水平ピン（３８）は保管装置（３２）から延在し、スタイラスモジュール（１８）の開口（４0）に係合する。これは、スタイラスモジュールが保持モジュールの垂直方向の移動により分離されることを可能にする。保持モジュールに対するスタイラスモジュールの傾斜をコントロールするために、ピン（３８）は、スタイラスモジュールと保持モジュールとの間の磁気結合力の合成ベクトルに達する又はこれを越えて延在し、合成ベクトルは、この実施形態においては、スタイラスモジュールの中心線（４２）に沿っている。
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【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】互換性のある工具に対応する工具懸架台であって、従来の装置にあるような制約のないものを提案する。
【解決手段】
工具２００を収納する為の工具懸架台２０であり、各工具２００は、その座標計測器の可動アームに取り外し可能なように連結可能で、工具２００を収納する為の工具懸架部位があって、該懸架部位には、工具２００を、第一の方向に沿ってその懸架部位の中に挿入することができ、その第一の方向に沿ってその懸架部位の中から取り除くことができるような複数のガイド６０と、その工具２００が第二の方向に向かう動きをするのを制限する複数の保持表面とがあり、そのような複数のガイド６０と複数の保持表面とが、その工具２００に傾きを生じさせるように配置されている。 （もっと読む）

被加工物の表面を測定するための装置が説明される。装置は、座標位置決め機械のような機械（２６）の可動アームに取り付けられ、そして、第１回転軸（１Ａ）および第２回転軸（２Ａ）まわりに回転でき、それら軸がそれぞれ第１モーター（Ｍ１）および第２モーター（Ｍ２）によって駆動される、支持体（７）を備える。装置は、付加的に、第３回転軸（４Ａ）まわりに回転できる、被加工物の表面を感知するための表面感知デバイス（４）を備える。この第３回転軸（４Ａ）は、第１回転軸（１Ａ）に合わさることができ、合わされた場合、表面感知デバイス（４）に対する支持体（７）の回転は、表面感知デバイス（４）がホルダー（７０）によって動かないように保持されるとき、第１モーター（Ｍ１）によって作動可能である。被加工物の表面を測定するための装置を使用するための方法は、また説明される。
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【課題】計測光を反射するプローブに光学系の焦点を追従させることで測定精度を向上させる。
【解決手段】プローブ２２の反射面で計測光を反射させ、プローブ２２と被測定物１の間に作用する原子間力を利用して被測定物１の表面形状を測定する。プローブ２２を駆動する第１のスキャナ１０とは別に、光学系の焦点位置を移動させる第２のスキャナ２６を設けて、第１、第２のスキャナ１０、２６の制御量の相関を表わす位置変換データをあらかじめ求めておく。第１、第２のスキャナ１０、２６を同期的に制御することで、プローブ２２に光学系の焦点を追従させる。 （もっと読む）

【課題】試料の振動を防止することができる走査型プローブ顕微鏡を備える顕微鏡装置を提供することである。
【解決手段】原子間力顕微鏡は、ＡＦＭスキャナおよび試料載置台を備える。試料載置台は、移動プレート、Ｚ方向移動機構およびＸＹ方向移動機構３０ｃを含む。ＸＹ方向移動機構３０ｃは、２つのモータＭａ，Ｍｂ、Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０を有する。Ｙ方向移動機構３８０およびＸ方向移動機構３９０には、あり溝ガイド方式が用いられている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、広温度域における高精度化を確実に図ることのできる直線ガイド搭載装置を提供することにある。
【解決手段】スライダ１８はその要求性能に基づき選択された材質で構成され、スピンドル２０はその要求性能に基づき選択された材質で構成され、また該スライダ１８に該スピンドル２０を取り付けるためのスピンドル取付機構３０を備え、該スピンドル取付機構３０は、駆動方向に平行な方向に所定離隔距離をおいて配置され、該スライダ１８に該スピンドル２０を固定状態で保持する固定側スピンドル取付手段３２及び該スライダ１８ないし該スピンドル２０を該駆動方向に平行な方向のみにスライド自在に保持する逃げ側スピンドル取付手段３４を備えたことを特徴とする直線ガイド搭載装置１０。 （もっと読む）

【課題】簡便な操作でプローブを高精度に観察できるプローブ観察装置を提供する。
【解決手段】プローブ２１０を撮像するカメラ２３０と、カメラ２３０にて取得した画像データを画像処理する画像処理部と、画像処理部にて画像処理された画像データを表示するモニタ４００と、手動操作にて画像処理内容を入力指令するマウス５００とを備える。画像処理部は、マウスにて入力される指令に応じて画像データを加工処理する画像データ加工処理部を備える。カメラ２３０は、低倍率のレンズ系を有し、プローブ２１０を視野内に入れた状態でプローブ２１０に対する相対位置が固定された状態で設けられている。 （もっと読む）