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Fターム[2F069MM00]の内容

測定手段を特定しない測長装置 (16,435) | 特定の構造について言及するもの (1,066)

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【課題】 走査型プローブ顕微鏡を用いた表面形状の測定において、帯電の影響を排除すると同時に、活性な被測定物の表面を変化させることなく安定に測定する装置及び測定手法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡100は被測定試料101の表面を走査する測定用探針104aを有しており、少なくとも被測定試料101の測定範囲にわたり、被測定試料101の表面と測定用探針104aの間に溶液102が設けられている。
溶液102は被測定試料101の表面および測定用探針104aが帯電しないようにし、かつ、被測定試料101の表面に自然酸化膜、有機物などが成長、吸着しないようにするためのもであり、例えばイソプロピルアルコール(IPA)が挙げられるが、溶液の代わりに上記の要件を満足するような物性を有する気体を用いてもよい。 (もっと読む)


【課題】 プローブの他端を鏡面として、鏡面の位置変化を干渉計で検出する表面形状測定機において、プローブの振れを簡単な構造で検出可能にする。
【解決手段】 ステージ7と、ステージの移動位置を検出する検出器9,11と、第3の軸方向に移動可能な移動台22と、移動台に対して第3の軸方向に移動可能に保持され、一端が被測定物の表面に接触し、他端に鏡面34を有するプローブ25と、プローブの鏡面と基準平面との距離を検出する距離検出器とを備える表面形状測定機において、鏡面に斜めに入射する平行ビームを出射するビーム源35,36と、反射ビームを分割するビーム分割手段38と、分割されたビームの一方が入射される第1のビーム位置検出器39と、他方が入射される集束手段40と、集束ビームが入射される第2のビーム位置検出器41と、第1及び第2のビーム位置検出器の検出信号から、鏡面34の傾斜を検出する演算回路とを備える。 (もっと読む)


【課題】 支持剛性が高く、振動や温度変化の影響が少なく、光学顕微鏡と組み合わせた場合に、対物レンズや照明装置をサンプルに十分近接できるように薄型のユニットで構成されプローブとサンプルの位置合わせが容易に行えるようなZ軸粗動機構を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブ21が取り付けられた走査型プローブ顕微鏡ユニット4をサンプルSに近接させるZ軸粗動機構110を、Z軸方向に移動可能な上面移動テーブルを有し、上面から低面にかけて中空の開口部113を有し、中空開口部113の周囲を取り囲む外周部から内周部にかけて切欠を有する構成とし、走査型プローブ顕微鏡ユニット4を上面移動テーブル上に設けられたXYステージ140に固定し中空開口部113に配置した。 (もっと読む)


【課題】 ターゲット物質相互間の斥力による影響を回避して、カンチレバーの表面上にターゲット物質認識物質との結合を介して、付着するターゲット物質の面密度をより高めることが可能であり、その荷重によって、カンチレバーの共振周波数の変化量をより大きくでき、高い検出感度でターゲット物質の検出を可能とする検出方法の提供。
【解決手段】 外力を加えて、予め撓んだ状態とした上で、カンチレバーとターゲット物質と接触させると、ターゲット物質同士の斥力が小さい状態で、ターゲット物質認識物質との結合を介して、ターゲット物質の付着がなされ、その後、カンチレバーを撓ませていた外力を取り除き、カンチレバーの共振周波数の変化量を測定すると、より高い検出感度、また、より簡易な手順でターゲット物質の検出が可能となる。 (もっと読む)


【課題】原子間力顕微鏡に、電気伝導率を計測できる新しい構成の4探針のプローブを導入すること。
【解決手段】従来のAFMプローブを基にして作製された、4探針型原子間力プローブ(4PAFMプローブ)のミクロ構造を模式的に示す。
4PAFMのプローブの電極は、集束イオンビームシステム(FIB)を用いたカンチレバーのチップ上に、3つのスリットを作製することにより構成されている。また、カンチレバーとプローブ基板は、図(b)に示されているように、コーティングされた金の薄膜をエッチングすることによって、4つの独立した伝導部分に分かれて、定電流源及びデジタル電圧計(図示せず)に接続されており、それぞれ電流と電位差信号を伝送する。プローブの2つの外側の電極は電流のソースとドレインとして動作し、電位差を内側の電極間を介して測定するとよい。 (もっと読む)


【課題】本発明が解決しようとする問題点は、カンチレバーの試料表面上での微小変位の変位量や変位スピードを高精度にコントロールしてカンチレバーと試料表面に働く局所的な微小な摩擦力の測定することができなかったという点である。また、上記測定において、長い時間をかけた状態と同等の状態を作り出して測定を行うことができなかったという点である。
【解決手段】試料と対向する探針との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡の測定方法において、前記探針を有するカンチレバーを加振手段により前記試料表面方向に振動させ、前記試料と前記探針との間の距離をスキャナにより変化させ、前記探針を前記試料に押し込んで前記試料の微小摩擦を測定する方法。 (もっと読む)


【課題】 接触部の脱落事故がなく信頼性が向上するプローブを提供すること。
【解決手段】 軸部2と、軸部2の先端部分に設けられた接触部3と、を備える。軸部2は、その先端部分が接触部3に埋設されている。かつ、先端部分には軸部2の軸方向に対して交差する方向へ張り出したフランジ部22を備える。フランジ部22は、先端方向に行くに従って拡径する形状である。 (もっと読む)


【課題】被測定面の形状測定を行う前の演算による測定シミュレーションによって、プローブと測定治具等との干渉の有無を確認することで、実際の形状測定におけるプローブ干渉によるトラブルを防ぐ。
【解決手段】ステップS2において、被測定物を保持する測定治具に設けられた基準球によって形状測定装置に対する被測定物の取付状態を検出し、座標変換を行ったうえで、被測定物の設計形状データD2、測定治具形状データD3等を用いた演算による測定シミュレーションを行い、測定治具や、被測定物の被測定面以外の面に対するプローブ干渉の有無を確認したうえで、走査中のプローブ傾斜角度を算出し、ステップS12の形状測定工程におけるプローブ走査速度を自動設定する。 (もっと読む)


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