【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】皮革に摩擦力がかからず、皮革に形成された溝の深さを高精度に測定することができる皮革残膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】スリットＳＷが形成されている皮革Ｗ１の部位における残膜の厚さを測定する皮革残膜厚測定装置１において、皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１の裏面に線状の先端部１１を接触させて、皮革Ｗ１を支持する基台１０と、基台１０で支持されている皮革Ｗ１の両端部側の部位が基台１０から離れて延出し、基台１０で支持されている皮革Ｗ１のスリットＳＷが開口するように、皮革Ｗ１の両端部を引っ張る皮革引っ張り手段２０と、皮革引っ張り手段２０で引っ張られている皮革Ｗ１のスリット形成部ＳＷ１における残膜の厚さを測定する残膜厚測定手段２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】加工装置の回転装置の回転角度を容易に精度よく測定することができるとともに、測定時間の短縮と作業コストの削減を可能にする回転装置の回転角度測定装置及び回転角度測定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】回転角度測定装置１は、加工装置のテーブル２の上に設けられたエンコーダ取付台３と、このエンコーダ取付台３に載置されたエンコーダ４と、エンコーダ４に取り付けられたＶブロック取付台５上に載置されたＶブロック６と、回転装置７に取り付けられたボールプランジャ取付台８に設置されたボールプランジャ９、偏芯変位計１０及び偏角変位計１１と、回転角度指令装置１２（加工機の制御装置）から回転装置７に指令された回転角度を検出する検出部１３と、エンコーダ４、偏芯変位計１０、偏角変位計１１及び検出部１３からの出力信号を処理する演算装置１４とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定物を保持する際に測定物が自重の撓みにより変形されることのない測定物保持装置を提供する。
【解決手段】測定物１１の平面度測定に用いられる測定物保持装置２０であって、測定物１１が載置される載置面１１ａを有する載置台４０と、載置台４０に、載置面４００２から突出して測定物１１を下方から複数箇所で支持し載置面４００２からの高さが変更可能に設けられた複数の測定物支持部材６０と、各測定物支持部材６０が測定物１１に対して均一な接触圧力で接するように各測定物支持部材６０の載置面４００２からの高さを変更する制御手段８０とを備える構成にした。 （もっと読む）

【課題】形状や厚みが異なる種々の被検レンズのレンズ中心厚を、被検レンズの外観品質を低下させることなく正確に測定することが容易なレンズ中心厚測定器を提供すること。
【解決手段】測距用のセンサヘッド２２ａ，２２ｂを有する２台の非接触型測長計２ａ，２ｂと、これら２台の非接触型測長計それぞれのセンサヘッドを互いに対向させ、各センサヘッドの測定軸ＭＡ１，ＭＡ２を互いに一致させて支持する測長計支持部３Ａと、センサヘッド間に設けられ、被検レンズＬ１の少なくとも光学中心Ｌｃ，Ｌｄを露出させて且つ該被検レンズの光軸Ｌｘを測定軸に一致させて該被検レンズを保持するレンズ保持部４Ａとを用いてレンズ中心厚測定器１Ａを構成する。 （もっと読む）

【課題】標識検出器と組み合わせて用いられる標識の、検出原理上の回転対称性の程度を評価するための標識検定装置を、提供する。
【解決手段】標識検定装置は、装着部により検定対象の標識を回転軸部材に装着して、駆動部によって回転軸部材に所定の周期運動を与えた場合に、標識検出器から得られた標識の検出データを、処理部に入力し、処理部のデータ処理によって標識の検出原理上の軸対称性の指標データを検定データとして得る。 （もっと読む）

本発明は、例えばキルンやドラムなどの円筒形又は他の回転対称形の回転装置を測定して位置合わせするための方法に関する。測定及び位置合わせの対象となる装置は、シェルと、少なくとも１つの支持リングとを有する。本発明による方法に関して重要なのは、回転装置が作動状態で回転しているときに、回転物体のシェルの表面上測定点が、同じ円周ライン上において、各支持リングの軸線方向両側で測定されることである。測定された点から回帰円が計算され、計算された円の中心点が決定され、各支持リングの両側で計算された円の中心点の間の直線とその中心点が決定される。シェルの中心線の基準直線が計算され、決定されたシェルの中心点を、計算された基準線へ移動させることによって、物体のシェルが真直ぐになるように位置合わせされる。
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【課題】被検物を高精度に測定する。
【解決手段】測定装置１１の傾斜回転テーブル１４は、被検物が載置され、回転軸Ｌ１を中心に回転駆動する回転テーブル２１と、回転テーブル２１が回転可能に装着され、水平方向に延びる傾斜軸Ｌ２を中心に傾斜駆動する傾斜テーブル２２を備える。また、傾斜回転テーブル１４は、傾斜テーブル２２に対する回転テーブル２１の変位を測定する変位センサ３１乃至３３と、傾斜テーブルの鉛直方向の変位を測定する変位センサ３４を備える。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの位置認識及び位置決めの精度を向上でき、信頼性を高めることができるようにすること。
【解決手段】位置認識装置１１は、半導体ウエハＷの端縁の位置を検出可能な複数のセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２を備えた検出手段１６と、半導体ウエハＷと検出手段１６とを直線方向に相対移動可能な移動手段１７と、検出手段１６の検出データから半導体ウエハＷの中心位置を算出可能な制御手段１８とを備えて構成されている。検出手段１６は、前記相対移動する直線方向に対して直交する方向に、所定間隔を隔てて少なくとも４か所にセンサａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 クラウニングが施されたリング状ワークの周長を精度良く測定する。
【解決手段】 クラウニングが施されたリング状ワーク１９を２個のローラ１４，１８に巻き掛け、両ローラ１４，１８を相互に離反する方向に付勢してリング状ワーク１９に所定の張力を付与しながら回転させ、そのときの両ローラ１４，１８の軸間距離に基づいてリング状ワーク１９の周長を測定する。このとき、ローラ１４，１８の巻付き面に施されるクラウニングの高さを、公差中央値のクラウニング高さを有するリング状ワーク１９を両ローラ１４，１８の巻付き面に張力を加えずに巻き付けたときのクラウニング高さと同じに設定したので、リング状ワーク１９に加えられる張力で該リング状ワーク１９のクラウニングが潰れてローラ１４，１８の巻付き面に密着するまでの前記軸間距離の変化を最小限に抑え、リング状ワーク１９の周長の測定精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】専用の評価装置を設けることなく、アライメント調整装置でスラスト角を調整できる車両のホイールアライメント調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の車両のホイールアライメント調整方法は、車両の左右前後の車輪の位置を検出するステップと、予め設定されている装置中心線ＭＣに平行な方向への車輪１３、１４のずれ量を測定するセットバック量測定ステップと、左右の車輪１３、１４の装置中心線ＭＣに直交する方向の距離を測定するトレッド量測定ステップと、測定ステップにより測定したセットバック量Ｓおよび後軸トレッド量ＴＢに基づいて、スラスト角θを算出するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 生産現場においても、短時間で自動的にころの輪郭形状を精度良く測定し、形状評価が行える輪郭形状測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物支持手段１により支持されたころＷに対し、センサ移動機構４によりセンサ３を軸方向および垂直方向に移動させ、センサ３の先端の測定子２をころＷに接触させる。測定動作制御手段はセンサ移動機構４に一連の測定動作を行わせ、測定値記憶手段はころＷの軸方向複数箇所のセンサ３の測定値を記憶する。判定手段は、測定値記憶手段に記憶されたころＷの測定結果と、前記寸法データとを比較する。 （もっと読む）

【課題】窪みまたは孔を有する回転対象を回転させながら高さ測定する際、浮き上がりを防止して、測定誤差を少なくできる装置を提供する。
【解決手段】窪みまたは孔を有する回転対象を回転させる装置において、前記回転対象の浮き上がりを防ぐために前記回転対象の窪みまたは孔の内側から外側に向かって把持する力を加える把持部と、前記把持部を下方向に押し下げる下降シリンダ部とにより、上方向から浮き上がりを規制する力を加えることを特徴とする回転装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】一対のローラにベルトを掛け渡して形成した車輪支持手段を有するホイールアライメント測定装置において、被測定車の車輪が前記車輪支持手段上から逸脱するのを防止する。
【解決手段】車輪支持手段２の前輪用車輪支持部２ａ、２ｂの各前方部、及び後輪用車輪支持部２ｃ、２ｄの各後方部に、前記各車輪のタイヤのトレッド面に当接する押圧ローラ３ｃを回動自在に軸支したスイングアーム３ａを有する逸脱防止手段３を前記車輪に接離可能に設けて、車輪の逸脱を防止したホイールアライメント測定装置を形成した。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減する基板処理装置及び基板搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、計測ユニット１０と、搬送機構とを備える。計測ユニット１０は、基板Ｗの状態を所定の計測位置Ｐｍで計測する計測器１５と、第１のトレイ１１と、第２のトレイ１２と、所定の計測位置Ｐｍと第１のトレイ１１及び第２のトレイ１２との間で基板Ｗを移動させるステージ１６とを有する。搬送機構には、基板Ｗを把持する第１の把持部２１及び第２の把持部２２を有するロボットハンド２５が設けられている。第１のトレイ１１に基板Ｗを載置したロボットハンド２５が計測ユニット１０から出ずに計測後の基板Ｗを計測ユニット１０の外に取り出すことで、計測ユニット１０に対する１回のアクセスで計測前後の基板Ｗを入れ替えることができてスループットの低下を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 床からの寸法位置を検出し、その測定結果から所定情報を演算する演算手段を有することにより、使用者の成長に関連する情報を報知することを可能とする。
【解決手段】 本発明では、ジャッキまたはレールに取り付けられている寸法位置検出手段によって大便器の高さ位置を測定し、その結果から下肢長さ寸法を推定演算している。大便器の寸法位置検出手段において測定された高さ位置情報は、制御手段の中にある報知手段によって使用者に報知され、使用者は報知された位置情報をもとに上下手段を操作することにより、便器を最適な位置まで移動させることができ、下肢長さ寸法を推定演算することができる。 （もっと読む）

【課題】
軌条の挙動特に鉛直方向変位の計測は安全管理面から極めて重要であるにもかかわらず直接的に計測することは振動、衝撃等の影響から一般的には行なわれていないのが現状である。
【解決手段】
（１）電解液傾斜受感素子を内蔵し、取付面部とスペース部材を有した軌道鉛直変位計を提供する。
（２）前記軌道鉛直変位計を軌条の一定区間毎に複数設け、これら出力を鉛直方向変位量に変換するようにした軌道鉛直変位計測方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、短時間でフレームを計測することができる技術の提供を課題とする。
【解決手段】自動二輪車のフレーム１１を支持する、計測装置用治具１２であって、ヘッドパイプ２０を上下から把持するヘッドパイプ把持部材１６を備え、ヘッドパイプ２０の端面５９に当接する受け座６１を有する抑え部材６２と、受け座６１の当接面８１から水平に延ばした延長線８２が抑え部材６２の車幅方向の側面８４と交わる部位に設けられ、フレーム１１の側方から見ることができるターゲット６４とを備えていることを特徴とする。
【効果】ターゲット６４はヘッドパイプ２０の端面５９に対して同じ高さに配置され、このターゲット６４をフレーム１１の側方から見ることができる。フレーム１１の車幅方向側面からの計測のみで、ヘッドパイプ２０の歪みまで計測でき、計測を短時間で行うことができる。 （もっと読む）