【課題】長尺大面積の直線形状や、面形状の測定における逐次３点法の零点調整を、工作機械やそれに類似する測定システム上に簡便に実現することができ、反転法と異なり長尺の被測定物の被測定対象面を置き直すことがなく測定ができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】
形状測定装置は、変位センサ４１〜４３の検出感度軸方向Ｋが水平面に含まれるとともに互いに反対方向となる第２姿勢位置Ｄ２及び第３姿勢位置Ｄ３、及び水平面と直交する鉛直方向に向ける第１姿勢位置Ｄ１を取り得るようにホルダ３８を回転自在に支持する姿勢可変機構を備える。形状測定装置は基準幅直定規を変位センサ４１〜４３の配列方向を走査方向として、該走査方向に走査測定することで得られる幅真直形状と基準幅直定規の校正値を比較することで変位センサ４１〜４３の零点調整誤差を算出し、被測定物の断面形状を逐次３点法で測定して、零点調整誤差に基づき校正する。 （もっと読む）

【課題】テーブルに固定されているワークの測定基準面が傾いている場合でもワークの形状を精度良く測定することができ、測定作業を簡単に行うことができる形状測定方法及び測定機能を有する機械を提供する。
【解決手段】測定ヘッド９がワーク７に対してアプローチする複数の測定動作方向を画面に表示するステップと、複数の測定動作方向のうちからワーク７の測定基準面２にアプローチするいずれか一つの測定動作方向を選択するステップと、ワーク７の測定基準面２上の３点の座標値を選択された測定動作方向へアプローチさせて測定するステップと、測定した３点の座標値に基づき測定基準面２を装置１の主軸３の軸線ＣＬに対して垂直に向けるのに必要とされる回転送り軸の割出し角度を演算するステップとを含み、ワーク７の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】傾動台の中心を傾動中心とすることが可能であり、しかも傾装置を大型化させずに傾動台の傾動角度を大きくすることができる。
【解決手段】傾動装置１は、基台３に対して傾動台２を傾動可能に支持する傾動台支持部４と、基台３の上面３ａに対して略平行となる方向に延在し、その延在方向に伸縮可能な一対の圧電素子５と、各圧電素子５の伸縮による第１の変位を自身の変形により基台３の上面３ａに略直交する方向に拡大させるとともに、この拡大による第２の変位を傾動台２に伝えるＶ溝部６６を有する変位拡大部材６とを備えている。傾動台支持部４は、支柱４１と、支柱４１に対して第１軸線を中心にして回転可能に支持された回動リングとを有し、傾動台２が回動リングに対して第２軸線を中心にして回転可能に支持される構成とした。 （もっと読む）

【課題】 パターニングデバイスとパターニングデバイス支持体との間のずれが考慮されるリソグラフィ装置のパターニングデバイスに位置測定システムを提供する。
【解決手段】 本発明は、放射ビームを調整するように構成された照明システムと、放射ビームの断面にパターンを付与してパターン付放射ビームを形成することができるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイス支持体と、基板を保持するように構成された基板支持体と、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、少なくとも基板のターゲット部分へのパターン付放射ビームの投影の間、パターニングデバイス上に提供されたグリッド又は格子を用いてパターニングデバイス支持体上に支持されたパターニングデバイスの位置量を連続して決定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムとを含むリソグラフィ装置に関する。 （もっと読む）

【課題】被測定物を精度良く測定が可能であるとともに、安価な測定装置を提供する。
【解決手段】長尺な被測定物Ａの形状を測定する測定装置であって、ベース１と、前記ベース１の一方側に設けたビーム支持部２と、前記ビーム支持部２の上部にピン軸４によって一方側の両側部を支持し、他端側を傾動及び倒立可能に設けたビーム５と、前記ビーム５の一方端に設けられ、前記被測定物Ａの一端を支持及び回転可能する支持部６と、前記ビーム５の他方端に移動可能に設けられ、被測定物の他端をクランプ及び回転可能するクランプ部７と、前記ベース１と前記ビーム５との間に設けたビーム傾動及び倒立用のアクチュエータ８と、前記被測定物Ａに対向するように、前記ビーム上に移動可能に設けた寸法測定部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定を効率よく行う。
【解決手段】測定装置１１は、被検物の形状を測定する測定プローブ１８と、被検物を載置する上面が水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜可能とされ、複数の基準穴３１が形成された回転テーブル２１を有する傾斜回転テーブル１４とを備えている。基準穴３１は、回転テーブル２１の傾斜軸Ｌ２に対し、回転テーブル２１の上面から見て線対称となる配置で、回転テーブル２１の外周の端部近傍の４箇所以上に形成されている。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】回転自在の測定用テーブル上において、良好な測定精度を維持しつつ、測定位置における被測定物の高さを簡易な操作により調整可能とする。
【解決手段】ワークＷの高さを調整する高さ調整装置１０が、測定用テーブル２上に昇降自在に設けられた昇降体８２と、昇降体を支持するとともに、測定用テーブル表面に対して傾斜した傾斜面８１ａを有し、当該傾斜面の昇降体に対する相対移動により昇降体を昇降させるテーパブロックとを備え、昇降体は、前記被測定物を支持する球状部材１０２と、傾斜面に回転自在に当接するローラ１０３とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ワークが比較的大きな重量を有する場合であっても、仮置きされたワークを測定用テーブル上の測定位置に精度良く設置可能とする。
【解決手段】 表面形状測定装置１が、測定時にワークＷが載置される測定用テーブル２と、ワークが仮置きされる仮置き用テーブル４と、仮置き用テーブル上のワークを測定用テーブル上の所定位置まで搬送する搬送機構５とを備え、搬送機構は、ワークを支持する一対の支持アーム１５と、ワークと係合することにより、当該ワークと支持アームとの水平方向の相対位置を定めるガイドパネル１６とを有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。
【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。 （もっと読む）

本発明は、飛行機の胴体セル構造の構造要素（１）に関する。構造要素（１）はストリンガー構造（２）又は環状をなす前部品であってもよい。この構造要素（１）は複合材料から形成され、炭素繊維により強化されたエポキシ樹脂から形成してもよい。構造要素（１）は、測定システムを用いた位置特定を容易にする少なくとも１つの位置決め補助具（１０，１１）を備える。測定システムとしては、レーザー測定システム及び／又は触知型測定システム（２２）が使用可能である。好適にはレーザー追跡器（１９）であるレーザー測定システムの目標物として、位置決め補助具（１０，１１）に反射器（１２）を間に間隙が生じないように装着することにより、他のコンポーネント（２１）に対する構造要素（１）の空間位置を非接触にて極めて正確に測定することができる。この場合、距離に応じて、構造要素の空間位置を空間のあらゆる方向において最高５００分の１ミリメートルの精度にて測定可能となる。構造要素（１）の位置特定及び配向完了後には、位置決め補助具（１０，１１）から反射器（１２）を除去可能である。又は、触知型測定システム（２２）の測定アーム（２３）により構造要素（１）を測定することもできる。位置決め補助具（１０，１１）は、例えば機械的方法により、構造要素（１）から残留物を残すことなく短時間で除去することができる。本発明による構造要素（１）を使用することにより、空間において正確に配置される複数の構造要素からなる複雑な繊維複合材コンポーネントの製造コストが著しく低減される。
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【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０，１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】レンズ等の測定物の高傾斜部分を高精度で測定する。
【解決手段】レンズ１１を測定機１のＹ軸周りに傾けた第１の設置状態とする（Ｓ３−１）。レンズ１１を第１の設置状態から設計座標系のＺ軸を中心として９０度回転させて第２の設置状態とする（Ｓ３−８）。第１及び第２の設置状態のそれぞれについて、レンズ１１の設計上の頂点座標を通るＸ軸方向の直線上に表面のＸＹＺ軸の座標を測定して第１の測定データ群を取得し、レンズ１１の設計上の頂点座標を通るＹ軸方向の直線上に表面のＸＹＺ軸の座標を測定して第２の測定データ群を取得する（Ｓ３−４，Ｓ３−１１）。第１及び第２の設置状態のそれぞれについて、１及び第２の測定データ群を使用して設計形状との差を算出する。算出した設計形状との差を合成する（Ｓ３−１５）。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の測定位置を測定センサに対して正確かつ簡単に位置決めすることができる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１は、焼結部品２の寸法を測定する測定センサ３，３と、測定センサ３，３が取り付けられた固定部１０と、焼結部品２を保持する治具２０とを有する。固定部１０には、治具２０を測定ポイントへ案内するためのガイド溝１３を二次元平面上に形成すると共に、焼結部品２の測定位置Ａ〜Ｐ，Ａ〜Ｐを測定ポイントに一致させるように治具２０を固定部１０に対して位置合わせする位置決め溝１４を、ガイド溝１３の溝幅及び溝深さより大きくガイド溝１３上に形成する。そして、ガイド溝１３の溝幅より大きく、位置決め溝１４より小さいボール２６を、固定部１０側へ付勢する圧縮ばね２５を、治具２０に設ける。 （もっと読む）

【課題】金属リングの周長を精度よく測定することができる金属リングの周長測定方法を提供する。
【解決手段】金属リングＷを１対のローラ２，３に掛け回し、一方のローラ３を他方のローラ２から離間する方向へ移動することにより金属リングＷに張力を付与すると共に両ローラ２，３間の距離を測定し、両ローラ２，３間の距離から金属リングＷの周長を算出する金属リングＷの周長測定方法において、金属リングＷの１つの部位Ｐ_１が両ローラ２，３間の所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出した後、金属リングＷの他の部位Ｐ_２が所定の位置Ｍにあるときに金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも１回行い、算出された全ての金属リングＷの周長の平均値を金属リングＷの周長とする。金属リングＷの周長を算出する処理を少なくとも３回以上行うことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】回転刃の刃先と被加工物の高さ方向の距離を正確に補正する。
【解決手段】ルータビット４３と、多軸ロボット３と、接触式変位計７と、レーザ変位計８と、高さ補正部とを有する。多軸ロボット３は、ルータビット４３を軸回転させ、被加工物１００に対して移動させる。接触式変位計７は、多軸ロボット３がルータビット４３の刃先を変位計測面７Ａに上から押し当てたときに生じる変位を計測する。レーザ変位計８、変位計測面７Ａと被加工物１００の相対的な高さを計測する。高さ補正部は、接触式変位計７とレーザ変位計８の計測結果に基づいて、ルータビット４３の刃先と被加工物１００との高さを補正する。 （もっと読む）

【課題】母材ガラス板を加熱延伸しながらガラス条の反りを測定できるガラス条の反りの測定方法およびこれを用いたガラス条の製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱延伸装置を用いて母材ガラス板を加熱延伸しながら、該延伸して形成したガラス条の幅方向の中心および両端部近傍を含む少なくとも３点において該ガラス条の表面および裏面の相対位置を検出し、該検出した相対位置に基づいて前記ガラス条の反りを測定する。好ましくは、前記ガラス条に向かって光を照射し、該ガラス条の表面および裏面からの前記光の反射光を測定することによって、前記相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】重量の増加を抑えながら剛性が向上する回転位置検出用プレートを提供する。
【解決手段】クランクシャフト５への取付部１４を含む本体部１３と、クランクシャフトの回転位置を検出するための検出部１６とを備え、クランクシャフトに取り付けられてなる回転位置検出用のシグナルプレート１１は、本体部１３の取付部１４および取付部と反対側の面が曲面をもって椀状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】一度に広範囲の被検査物表面形状を検査できる表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物５の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅部材１と、凹凸形状増幅部材１の下面を被検査物５の表面に沿わせるように当接させる透明板２と、被検査物５の表面の検査対象部分を凹凸形状増幅部材１に対して相対的に移動させる回転機構７と、凹凸形状増幅部材１によって増幅された被検査物５の表面の凹凸を光学的に検出するカメラ３及びコンピュータ４とを有する。 （もっと読む）

位置測定装置の基準尺（２）は、挟持部材（１）を用いて支持体（３）上に固定されている。挟持部材（１）は、第一の挟持力（Ｆ１）で基準尺（２）を取付面（３１）上に押し付ける第一のスプリングアーム部（１１）を有する。挟持部材（１）は、取付面（３１）に対して垂直な方向に延びるストッパ面（３２）上に第二の挟持力（Ｆ２）で基準尺（２）を押し付ける第二のスプリングアーム部（１２）を有する。挟持部材（１）を支持体（３）上に固定することによって、第一の挟持力（Ｆ１）と第二の挟持力（Ｆ２）が一緒に生み出されている。
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