【課題】長尺の断面直線形状や面形状の測定における水準器と多点法の利点だけを有効に使い、大面積の被測定面を迅速に高精度に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定試料の置かれたステージと多点法プローブを保持するセンサホルダが互いに相対的に移動をして直線形状を走査測定する装置において、移動する側のセンサホルダまたはステージの走査方向の傾斜角を測定することの出来る水準器を備えていて、前記水準器によって走査移動の開始点と終了点での前記移動側物体の傾斜を測定することで、多点法プローブのゼロ点調整誤差をその場校正する。 （もっと読む）

【課題】複数の糸について連続的にかつ各糸について複数回の重量測定を連続的に行うことができる糸重量測定装置およびこの糸重量測定装置を備えた糸番手測定装置を提供する。
【解決手段】糸重量測定装置は、複数の糸を保持可能な保持装置と、保持された糸を特定する特定装置と、特定された糸を所定長さ切出し重量計へ送る切出装置と、切出された糸重量を測定する重量計とを含む。また、特定装置と切出装置と重量計とが保持装置に保持された糸に対しこの順で繰り返し動作でき、切出装置と重量計とがこの順で繰り返し動作できる。こうして、複数本の糸の重量測定と同一の糸に対する複数回の重量測定ができる。このため、測定作業者の作業負担が軽減される。 （もっと読む）

【課題】演算時間の浪費を抑制し、且つ演算エラーを抑制したワークモデル生成方法、及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】ワークモデル生成方法は、削り刃によって切削する経路を示す切削経路の外郭部である外郭切削経路を特定する外郭切削経路特定ステップと、外郭切削経路にて囲まれる面を含んで構成される所定厚みの切削ワークモデルを原ワークモデルから削除して加工ワークモデルを生成する加工ワークモデル生成ステップとを備える。このように、外郭切削経路にて囲まれる切削ワークモデルを原ワークモデルから削除して加工ワークモデルを生成するので、切削経路全体について切削ワークモデルを生成する必要がなく、演算時間の遅延を抑制することができる。 （もっと読む）

本発明は、被対象物に対する機械的誤差を実時間で補正しながら被対象物の表面座標を精密に測定することができる構造の基準板を用いた３次元座標測定機に関するもので、被対象物の上方に配置されてＸ軸ステージ軸上に左右に移動自在な状態で設置される測定部と、測定部の上方に配置されて固定される基準板とを備え測定部が、測定部と基準板との間の距離及び測定部と被対象物との間の距離を実時間で測定してＸ軸ステージの機械的誤差を補正して精密に測定するように設計されているものである。 （もっと読む）

【課題】 非接触で球面形状を高精度に測定できる球面形状測定装置および球面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 軸部１ｂの一端に球面形状部１ａを有する被測定物１を、被測定物支持手段１０により軸部１ｂの中心軸回りに回転させる。球面形状部１ａの表面位置を非接触で測定する非接触変位計３１を、その中心軸上の所定位置を回動中心として軸部１ｂの中心軸を含む平面内で、変位計回動手段３２により回動させる。被接触変位計３１の軸方向位置は軸方向位置調整手段４１で調整する。これにより、被測定物１を回転させながら、その軸部１ｂの中心軸を含む平面内で前記球面形状部１ａの中心を回動中心として非接触変位計３１を回動させて、球面形状部１ａの球面形状測定を行う。 （もっと読む）

ＸＹテーブルは、固定基準部分（Ｂ）と、該基準部分（Ｂ）に対して相対的に第１の方向（Ｙ）に移動可能に保持されている中間部分（Ｆ）と、該中間部分（Ｆ）に対して相対的に第２の方向（Ｘ）に移動可能に保持されている物体（Ｏ）とを含む。この場合、処理されるべき部品（Ｗ）が物体（Ｏ）又は基準部分（Ｂ）上に配置される。さらに、第１の方向（Ｙ）に対して、基準部分（Ｂ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２）と、第２の方向（Ｘ）に対して、物体（Ｏ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_３、Ｍ_４）とを含む。これにより、部品（Ｗ）又は物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の位置（Ｘｏ、Ｙｏ）が測定可能である。１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３、Ｍ_４）は、第１及び第２（Ｙ、Ｘ）の方向に広がる平面であってツール中心点（ＴＣＰ）を含む平面内へのそれらの投影が、ＸＹテーブルの全走行領域内で部品（Ｗ）の外側に存在するように配置されている。これにより、アッベ（Ａｂｂｅ）条件が満足されるので、簡単な１Ｄプラスエンコーダを用いて物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の正確な測定を可能にする。
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【課題】
内外からの振動がプリント板へ伝達されるのを防ぎつつ、センサの測定精度を向上させることで、繰り返し安定して保持可能としプリント板に印刷されたはんだの形状を測定する技術を提供する。
【解決手段】
プリント板１が検査位置まで搬送されてきたとき前記プリント板の辺縁部１ａの下面を下から上へ押し上げることによって、前記辺縁部の上面をガイド部３の突出部３ａの下辺に押圧して位置を固定して支持するクランプ６とを備え、該クランプで支持された状態でプリント板に印刷されたはんだの形状を検査する印刷はんだ検査装置であって、
前記クランプ部が前記プリント板を押し上げるときに、該プリント板の辺縁部の下面と前記クランプ部との間に存する弾性体ベルト５諸共押し上げることで、前記辺縁部の下面を前記弾性体ベルトで押圧し前記プリント板を固定して支持することを特徴とする印刷はんだ検査装置。 （もっと読む）

【課題】軸受の組立後のラジアル振れおよびアキシアル振れを高精度に測定する軸受の回転精度の測定装置を提供する。
【解決手段】内輪６の端面に当接して支持固定する内輪受け部材１０と、外輪７の端面に当接して支持固定する外輪受け部材１１と、この外輪受け部材１１上に載置され、適宜な重量からなる重錘１２と、外輪受け部材１１の上側に配設されて外輪７を回転させる回転ユニットとからなる支持部３と、案内部１３ａと、これに対して軸受２のラジアル方向およびアキシアル方向に摺動自在にそれぞれ配設された摺動部１３ｂと、これら摺動部１３ｂの先端部に装着され、外輪７の外径または端面に当接する球状の測定球１６ａを有する測定子１６と、摺動部１３ｂに適宜な測定圧を付与するコイルばね１７とからなる駆動機構１３と、測定子１６を介して駆動部１３ｂの変位を読み取るレーザ変位計１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フレッチング摩耗によるホイールの車両ハブとの接触面の摩滅量を簡便にかつ精度良く測定する方法とその装置を提供する。
【解決手段】直方体状の当接部材１１に、リニアゲージ１２の測定子１２ｃが上記当接部材１１の当接面１１ａに垂直な方向に移動可能に取り付けられた摩滅量測定装置１０を、測定子１２ｃの先端が摩滅量が大きい領域である円環状の領域内に位置し、かつ、上記当接部材１１の当接面１１ａが、ホイールに設けられたボルト挿入孔のホイール径方向の外側を結ぶ円とホイール径方向の内側を結ぶ円とに囲まれた略円環状の領域に接するように、測定するホイールの車両ハブ取付面に置き、上記測定子１２ｃの上記当接面１１ａからの突出量を測定して表示させるようにした。 （もっと読む）

【課題】被検出パターン配置が可能で、かつ、センサ配置領域を小さくする。
【解決手段】距離Ｄ以上の隣接センサ間ピッチで１次元配置されたｎ個（ｎ≧２）のセンサと、ｍ個（２≦ｍ≦ｎ）の被検出部位（スリット１２ａ）が、互いにユニークな配置パターンにてｋ箇所（ｋ≦_ｎＣ_ｍ）それぞれに形成されている被検出部材（立設部１２）と、を有する。そして、スリット１２ａの全てがｍ個にセンサに作用するときに、ｍ個のセンサで隣接センサ間ピッチをセンサ配列順に並べた組み合わせにおいて、少なくとも１つの隣接センサ間ピッチが、ｋ箇所から任意に選んだ２箇所で前記距離Ｄ以上異なるように、センサ配置パターンとスリット配置パターンとが決められている。 （もっと読む）

【課題】平面基板の形状測定時に、被測定基板の下端面形状の影響を低減し被測定基板に発生する平面の反りを低減させる支持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】平面基板Ｐの形状測定において、前記平面基板Ｐの下端面２７を支持することにより前記平面基板Ｐを垂直状態に位置決めする支持部材１７であって、上方に凸型形状からなる断面と、該断面が一方向に延在する湾曲面形状１７ｂと、を備え、前記支持部材１７に設けられた湾曲面形状１７ｂの稜線部と、前記平面基板Ｐの下端面２７の板厚方向略中央部が当接するように載置されることを特徴とする。 （もっと読む）

ウエハーの反りを定量化するための配置構造に関する。プラズマ処理システム内に位置する配置構造が提供される。配置構造はウエハーを保持するための支持機構を含む。配置構造は、ウエハー上の複数のデータポイントの第１測定データセットを収集するように構成された第１センサセットをも含む。第１測定データセットは、第１センサセット及びウエハーの間の最小ギャップを表す。第１センサセットは、プラズマ処理システムの処理モジュールの外部にある第１位置に位置している。 （もっと読む）

【課題】二次元座標測定機において、大型の測定物を測定できるようにしながら、製造コストとメンテナンスコストを上げないような測定テーブルを提供する。
【解決手段】最大の測定物の縦及び横よりいくらか大きな縦及び横を有するとともに上面を研削しポリシングされたガラス製の測定物載置部（３６）と、測定物載置部の４辺にそれぞれ連結するために測定物載置部との連結部を設けた周辺板（３８）と、前記測定物載置部及び前記周辺板の平面度を調整する平面度調整手段（４２）を備える。 （もっと読む）

【課題】位置合わせ作業が簡単で測定機の計測用基台に対する試料載置台の位置が低く機構が簡単で価格が低廉な可動テーブルを提供する。
【解決手段】可動テーブル１０は磁石１２の磁力で不図示の計測用基台に固定される。固定前の位置合わせのときは、指で二つの操作レバー１８がつままれ、開放位置Ｆから移動位置Ｍへ回動される。操作レバー１８に一体なシャフト部２１が回転し、シャフト部２１に形成されているカム部２２が逃げ部２４から下方に回動してその先端が計測用基台の面を押しやり相対的に天板１１を計測用基台から浮き上がらせる。指で二つの操作レバー１８をつまんだまま天板１１を所望の方向へ移動させて位置決めし、指を離すと磁石１２の磁力で天板１１が計測用基台の面に密着して固定される。 （もっと読む）

【課題】小型化を容易に図れ、製造上の負担を軽減でき、スピンドルの絶対位置を測定可能な絶対位置測定装置を提供すること。
【解決手段】スピンドル３の回転量を第１の周期で変化する位相信号として検出する第１のロータリーエンコーダと、スピンドル３の回転量を第２の周期で変化する位相信号として検出する第２のロータリーエンコーダとを備える。第１のロータリーエンコーダの第１のロータ４２の回転は、第１の回転円筒４３の外周に形成された第１の歯車４８と、第２の回転円筒５２の外周に形成された第２の歯車５５とに噛合する中継歯車５３によって、第２のロータ５１に伝達される。従って、二つの異なる周期の位相信号に基づいてスピンドルの絶対位置を算出できる。また、従来のようなスピンドルの螺旋状のキー溝を設ける必要がなく、小型化を容易に図れる。また、製造上の負担を軽減させることができる。 （もっと読む）

【課題】 座標測定装置の多座標測定テーブル用前進手段およびそのような前進手段の制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、座標軸（ｘ、ｙ）毎に摩擦ロッド（１０、１２）とモータとを有する駆動ユニット（２２）を備える多座標測定テーブル用前進手段に関する。モータは、そのモータシャフト（１９）で摩擦ロッド（１０、１２）の一方側と接触し、少なくとも１つの押圧ローラ（２０）が、摩擦ロッド（１０、１２）の他方側と接触する。押圧ローラ（２０）と、摩擦ロッド（１０、１２）と、モータシャフト（１９）とを互いに対して押圧力で付勢することにより、モータシャフト（１９）を摩擦ロッド（１０、１２）と摩擦係合させ、モータの回転運動を摩擦ロッド（１０、１２）の直線運動に変換する少なくとも１つの押圧手段（２５）が設けられている。そのような前進手段を制御する方法も開示されている。 （もっと読む）

【課題】 ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することなく載置することができるハニカム構造体用載置台を提供すること。
【解決手段】 ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。 （もっと読む）

【課題】板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供すること。
【解決手段】板状体を略垂直方向に自立させ、板状体の測定面を略垂直方向に立てることを特徴とする板状体の表面形状の測定方法、及び、この測定方法を好ましく用いることができる測定冶具を提供する。
本発明によれば、板状体の表面に変形を生じさせることなく、高精度に板状体の表面形状の測定を行う測定方法を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 流体動圧軸受を高精度に検査すること。
【解決手段】 気体を給送して、スリーブ６の軸受孔の下側開口からラジアル間隙５０及び軸受孔の上側開口を経てロータハブ１２の上壁部１２ａの外方に向かう気体の流れを起こして、ロータ部１０を浮上させる。ロータ部１０を浮上させた状態で、変位計４０を用いてロータ部１０の回転と同期した振れの大きさを測定する。 （もっと読む）

【課題】プリント配線基板のロール状ワークに対して伸縮量を検査するシステムを提供する。
【解決手段】プリント配線基板の検査システム１は、プリント配線基板の製造過程におけるロール状ワーク３の一部を載置するワーク設置テーブル１３を備え、かつ前記ワーク設置テーブル１３に載置されたロール状ワーク３の伸縮量を測定する測長装置５と、この測長装置５のワーク設置テーブル１３に前記ロール状ワーク３の一部を押さえて固定するワーク押え部材２３と、前記測長装置５の後方側に配置して、送出ロール２９に巻き取られているロール状ワーク３を前記測長装置５のワーク設置テーブル１３上へ送出するワーク送出し装置７と、前記測長装置５の前方側に配置して、前記ワーク送出し装置７から送出されてワーク設置テーブル１３上を通過したロール状ワーク３を巻取ロール３９に巻き取るワーク巻取り装置９と、で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）