【課題】 フィルムの膜厚測定に関するものであり、フィルムの製膜上に起因するフィルムの波状の撓みによる影響を解消し、フィルムにキズを付けることなく高精度な測定方法、及び測定装置を実現する。
【解決手段】フィルムの厚みを連続的に非接触で測定する方法において、膜厚を計測するセンサーで前記フィルムの膜厚を測定する範囲周辺の表面に、表と裏側、またはどちらか片側より空気を吹き付けるノズルを備え、フィルムの幅方向の膜厚を測定する際に該膜厚測定センサーと該吹き出しノズルをその位置や速度を同期させてフィルムの幅方向に移動させることを特徴とするフィルム厚み測定方法、およびフィルム厚み測定装置。 （もっと読む）

【課題】
ボビンが迅速かつ正確に検出、即ち把握されるように簡単な方法でボビンの位置の確認を改善する。
【解決手段】
センサ（１１〜１４，２１〜２４）が、空間的に互いに分離されるようにセンサグループモジュール（２Ａ，２Ｂ）内に配設されていることを特徴とする、ボビンを把持するための要素（３，４，５）を有するグリッパ（１）と、グリッパ（１）に配設された、センサ（１１〜１４，２１〜２４）を有するセンサ装置（２）と、センサ装置（２）から信号を受信し、処理する評価及び制御装置（９）と、評価及び制御装置（９）によって制御され、グリッパ（１）を移動させる位置決め装置（１０）とを有する、特にタバコ加工産業のボビン操作装置。 （もっと読む）

【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】回転する管状体の振れをより正確かつ迅速に測定できる測定方法とその装置を提供すること。
【解決手段】回転可能な管端チャックへ管状体の内側面を押圧する状態で当該管状体の一端部を保持させ、管端チャックにより前記管状体を回転させながら、管状体の他端部内の計測位置から管状体の内周までの距離を計測して回転角度毎の計測値を得るとともに、管状体の外周から離れた測定位置から管状体の外周までの距離を測定して回転角度毎の測定値を得、前記計測値に演算処理を施すことにより管状体の他端部の内径中心を算出して当該管状体の仮想中心軸を求め、前記測定位置において管端チャックの回転軸線と直交する面における前記回転軸線に対する前記仮想中心軸の偏倚量により前記測定値を補正する手段を含む。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部の位置検出を行い、形状測定の基準とする基準部２０，２０の位置ずれを未然に検出する。 （もっと読む）

【課題】測定装置の複雑化を招くことなく、形状測定の信頼性を確保することができる円筒体の形状測定方法を提供する。
【解決手段】円筒体９０の両側端部近傍の内周面９２に一対の基準部２０，２０を当接させたまま円筒体９０を回転させ、円筒体９０の外側から基準部２０，２０に対峙する位置３１，３１において、円筒体９０の回転に伴う前記円筒体９０の外周面９１の半径方向の変位量を変位検出器によって検出する。一方、形状測定されるべき円筒体９０が存在しないときに、この円筒体９０の変位量測定を行う変位検出器を用いて基準部２０，２０の回転に伴う変位量検出を行い、この一対の基準部２０，２０の変位量に応じて、円筒体９０の変位量検出を補正する。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料の位置特定を容易にし、様々なＳＰＭの規格や、ＡＦＭによる液中観察等にも適切な形状を有する、使い勝手に優れたＳＰＭ用の基板を提供すること。
【解決手段】基本形状を円形とした、表面が極めて平坦なガラスや雲母等の薄板の弧の１部に角を形成した基板の裏面に、１格子の１辺が数ｎｍから数ｍｍの格子を配設して、その格子を特定するために文字、記号を格子に表記することを特徴とする、汎用性に優れたＳＰＭ用基板。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価方法を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価方法は、まず、圧電体薄膜３１を含む試料１２を試料固定治具２０に固定する。試料１２には、圧電体薄膜３１に電圧を印加するために圧電体薄膜３１を挟むように、第１電極４２と第２電極４３とが形成されている。次に、探針３３を圧電体薄膜３１の電界方向に対して交差する方向にある測定面に直接接触させる。そのあと、圧電体薄膜３１に電圧を印加しながら、探針３３を測定領域に直接走査させることにより、圧電体薄膜３１の圧電特性（第１変位量）を測定する。 （もっと読む）

【課題】測定誤差の少ない圧電体薄膜の変位量を得ることができる圧電体薄膜の評価装置を提供する。
【解決手段】圧電体薄膜３１の評価装置１１は、圧電体薄膜３１の測定面に接触させる試料固定治具２０の上方に備えられたプローブ１３と、プローブ１３にレーザー光３４を照射する光源１６と、プローブ１３のたわみによって変位した反射光レーザー３５を受光する位置検出素子１７と、位置検出素子１７によって受光した反射光レーザー３５のずれ量から変位量を算出する位置検出信号処理回路１８と、圧電体薄膜３１を固定する試料固定治具２０とを有する。圧電体薄膜３１は、試料固定治具２０によって、電界方向に対して交差する方向の測定面とプローブ１３（探針３３）とが直接接触することができる上面になるように固定される。 （もっと読む）

【課題】様々な厚みの測定試料の表面形状を測定する場合でも、事前の校正作業工数の増大を伴うことなく、高い測定精度を確保して測定できること。
【解決手段】変位計２で測定位置を２次元方向に走査させつつ得られる計測値から測定ウェハ４の表面形状を測定する場合に、測定ウェハ４と厚みが異なるが材料及び平面視した形状が同じ基準ウェハの厚み、及びそれが支持部１で支持された場合の自重による撓み量、並びに走査手段３の走査ぶれ量を予め記憶し、対向配置した変位計２ａ，２ｂによる測定ウェハ４の厚み計測、変位計２による測定ウェハ４の表面変位計測を行い、計算機７により、予め記憶された基準ウェハの厚み及び自重撓み量と測定ウェハの厚み計測値とにより、測定ウェハ４の自重撓み量を算出し、走査ぶれ量と測定ウェハ４の自重撓み量及び表面変位計測値とにより測定ウェハ４の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く周長を測定可能な周長測定装置及び周長測定方法を提供する。
【解決手段】一対の円柱状ロール１４Ａ及び円柱状ロール１４Ｂに張架された無端ベルト１２の種別を示す種別情報に対応する熱線膨張係数及び吸湿線膨張係数と、環境温度と、環境湿度と、に基づいて、予め定められた基準温度及び基準湿度下において測定された周長となるように、周長測定結果を補正するので、簡易な構成で、温度変動や湿度変動に依存せず、精度良く無端ベルトの周長を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】液中観察を行うにあたり、誰でも簡便、確実且つ短時間に試料を固定すること。
【解決手段】試料Ｓを溶液Ｗ内に浸した状態で固定するものであって、試料を載置する載置面１０ａを有する底板１０と、載置された試料の周囲を囲むように底板上に設けられ、囲んだ内側に溶液を貯留可能な壁部１１とを有する下部マウント２と、壁部の上面に接する上板２０と、該上板の外縁から略９０度折曲されるように形成され、壁部の外周面に接するフランジ部２１とを有し、下部マウントに対して上方から嵌合可能な上部マウント３と、該上部マウントが嵌合したときに、試料の外縁に接触して該試料を上方から載置面に押し付ける押さえ部材４とを備え、壁部の外周面及びフランジ部の内周面には、下部マウントに対して上部マウントを捩じ込みながら嵌合させる嵌合手段５が設けられている液中セル１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 プーリの真円度誤差等に影響されることなく良好な周長の測定精度を得られるようにした周長測定装置及び周長測定方法を提供する。
【解決手段】 駆動側プーリ（１４）と従動側プーリ（１５）は、各々所定の回転角毎にマーキングされたｎ個の位相指標（Ａ〜Ｈ）を有し、前記駆動側プーリ（１４）のｎ個の位相指標（Ａ〜Ｈ）と前記従動側プーリ（１５）のｎ個の位相指標（Ａ〜Ｈ）とのｎ² 通りの組み合わせの中から任意の組み合わせを選択し、その組み合わせを用いてリング状ワーク（２０）の周長測定を行う。
前記任意の組み合わせは、リング状ワーク（２０）の周回間、駆動側プーリ（１４）と従動側プーリ（１５）との間の対向距離の最大値と最小値の幅が最も少なくなる組み合わせである。 （もっと読む）

【課題】 ローラ等に撓みが生じてもその撓みに影響されずに良好な測定精度を得られるようにした周長測定装置及び周長測定方法を提供する。
【解決手段】 周長測定装置（１０）は、一方が駆動側となり他方が従動側となる一対のローラ（１４、１５）、前記駆動側ローラと従動側ローラとにリング状ワークを掛け渡した状態で前記駆動側ローラと従動側ローラとの間の対向距離を拡大して前記リング状ワークに所定の張力を付与する張力付与手段（２７）、前記張力の付与方向への前記駆動側ローラの変位を検出する第１検出手段（１８）、前記張力の付与方向への前記従動側ローラの変位を検出する第２検出手段（１９）、前記第１及び第２検出手段の検出結果に基づいて前記リング状ワークの周長を演算する演算手段（２２）を備える。 （もっと読む）

【課題】 観察等を行う箇所を容易に再現良く探し出すことが可能な顕微鏡用サンプル板を提供すること。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡や光学顕微鏡での試料の観察，測定又は加工に用いるための顕微鏡用サンプル板７であって、当該サンプル板７が透明材料からなり、低い拡大倍率で視認可能な低倍率用マーキング２ａと、当該低倍率用マーキング４ａの内側又は周縁に形成されていて、高い拡大倍率で判別可能な高倍率用マーキング４ｃとを有し、当該高倍率用マーキング４ｃの内側又は周縁に試料等５を有していることを特徴とする顕微鏡用サンプル板７である。 （もっと読む）

【課題】 例えば前輪のト−角測定および調整に好適で、車両のステアリング機構によるヒステリシス情報を基にアライメント測定し、実際のアライメント状態に合致した正確なアライメント情報を得られるとともに、簡単な構成によって測定値のバラツキを低減し、測定値の再現性の向上を図れる、ホイ−ルアライメント測定方法およびその測定装置を提供すること。
【解決手段】 水平面と平行に回動可能な複数のロ−ラ２０に車輪２１を載置する。
前記車輪２０のアライメントを測定するホイ−ルアライメント測定方法であること。
前記車輪２０に連係するステアリングホイ−ル２８を、そのステアリング機構のヒステリシス位置情報を基に所定角度回動する。
前記ステアリングホイ−ル２８の所定角度回動位置でアライメント測定する。 （もっと読む）

【課題】 例えば前輪のト−角測定および調整に好適で、車両のステアリング機構によるヒステリシス情報を基にアライメントを測定し、実際のアライメント状態に合致した正確なアライメント情報を得られるとともに、測定値のバラツキを低減し、測定値の再現性の向上を図れる、ホイ−ルアライメント測定方法およびその測定装置を提供すること。
【解決手段】 水平面と平行に回動可能なロ−ラフレ−ム３２に設けた複数のロ−ラ３３に車輪３４を載置する。
前記車輪３４のアライメントを測定するアライメント測定方法であること。
前記ロ−ラフレ−ム３２を、被検車両のステアリング機構のヒステリシス位置情報を基に所定角度回動する。
ロ−ラフレ−ム３２の前記回動位置でアライメントを測定する。 （もっと読む）