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Fターム[2F069MM02]の内容

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Fターム[2F069MM02]に分類される特許

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【課題】 測定系の特性の影響を低減すると共に測定に要する時間の短縮化が図れ、より高精度に試料の物性を測定すること。
【解決手段】 試料を載置する載置面を有するステージ3と、このステージ3を支持するとともに試料表面に垂直な方向に振動自在に構成された支持手段5と、支持装置5を所定の振動用周波数及び振動用振幅で振動させる加振手段7と、支持装置5における垂直方向の移動を制御する移動制御手段6と、先端が試料表面に接触するように配置されたプローブ10と、プローブ先端が試料表面2aに接触した状態でそのプローブ10の振動状態を測定する第1の振動状態測定手段11と、加振手段7を動作させた時に、載置面3aの振動状態を測定する第2の振動状態測定手段13と、第2の振動状態測定手段13によって測定した振動状態の波形と、第1の振動状態測定手段11によって測定した振動状態の波形とを比較することで試料の物性を測定する測定処理手段12とを備えてなるプローブ顕微鏡を提供する。 (もっと読む)


【課題】原子スケールの空間分解能により元素を同定することを可能にする。
【解決手段】測定対象に対してビーム径が1mmよりも小径な高輝度単色X線を照射するX線照射手段と、上記測定対象に対向して配置される探針と、上記探針を介してトンネル電流を検出して処理する処理手段と、測定対象と上記探針と上記測定対象に対する高輝度単色X線の入射位置とを相対的に移動するための走査手段とを備える走査型プローブ顕微鏡とを有する。 (もっと読む)


【課題】 基板上の位置に応じてスケーリングが異なる場合であっても、基板上の各ショット領域を所定の位置に高精度に位置合わせする。
【解決手段】 ウエハ8上の被露光領域を、ウエハ8の中心を原点とする第1象限Q1〜第4象限Q4の内の2つ含む部分領域px1,px2,py1,py2に分け、各部分領域px1,px2,py1,py2について個別にスケーリング補正値を求める。このスケーリング補正値と、全サンプルショットSA〜SAの計測値とを用いてEGA演算を行って、ウエハ8上のショット領域の設計値を実際に位置合わせすべき座標値に変換する変換行列を求める。 (もっと読む)


【課題】 検査の信頼性が向上し、欠陥有無判定の自動化ができ、更に、検査の高速化が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象であるカム7の回転方向周表面を検査する検査装置1は、カム7の表面3次元情報を取得するセンサを備えたセンサヘッド19を有し、センサがカム7の回転に伴いカム7面に対し常に垂直となるように、Z軸上下駆動モータ16を介しセンサヘッド19が上下動できるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】 検査対象の良否を高速に検査できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象である液晶パネル(ガラス基板)10の上部にセンサ1を固定して、その検査対象10をエアフローにより浮上させて非接触検査を行う際,測長部4によるレーザ測長によりセンサ1と液晶パネル10間の距離を計測し、その結果をもとにセンサ側からも、エアー噴出部11によるエアー噴出を行ってセンサ1と液晶パネル10間の間隔(ギャップ)を制御する。 (もっと読む)


【課題】 垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、安定した作動、測定精度の向上、および測定結果の信頼性の向上を達成することを目的とする。
【解決手段】 基台110上に垂直保持機構120によって保持された薄板100の側縁の外側に立設された垂直駆動手段310と、左右の前記垂直駆動手段310の間に架設された水平駆動手段320と、前記水平駆動手段320に装着され前記薄板100の表面形状を測定する測定部330とを備え、前記垂直駆動手段310は、スライド機構340とこのスライド機構340に平行に前記薄板100側に配設された送り機構350とからなり、前記水平駆動手段320の端部が前記スライド機構340のスライド部360と前記送り機構350の送り部材400とによって支持されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 試料を大気暴露させることなく、試料の設置から測定まで制御された環境下で試料の形状情報や物性情報を計測できる装置を提供すること。
【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバー6と、カンチレバー6を保持するためのプレート2と、試料7を設置するための試料固定台4と、筺体3などからなる気密性が保たれるロードロック室1と、カンチレバー6の変位を検出する変位検出機構8と、試料7を移動させる試料移動機構である微動機構18、XY粗動機構19、Z粗動機構20が設けられた密封容器17と、密封容器17を真空排気する真空排気機構21とガス導入機構22と、密封容器17にロードロック室1を取付けるようにした。 (もっと読む)


【課題】 駆動軸と回転体との係合を強化して、駆動軸と回転体との間に回転ずれが発生することなく常に一体的に回転することができるようにして検出精度を高めた回転検出装置を提供することを目的する。
【解決手段】 回転体12に規制部12dを形成し、規制部12dの形成位置とは反対側に弾性部材20の弾接部20gを配設して、駆動軸11の平坦面11cのうち中心線A−Aよりも図示Y2側に位置する平坦面11cと規制部12dとを、弾接部20gによって互いに弾圧させる。このようにすると、駆動軸11と回転体12とを一体化することができ、駆動軸11の回転が急停止させられた場合も、駆動軸11と回転体12との間に回転ずれが生じることを防止できる。その結果、回転検出装置10の出力変動を所定の規格範囲内に収めることができ、回転検出装置10の検出精度を高めることができる。 (もっと読む)


本発明は、固定した光センサ(3)を通過する対象物を3次元スキャンするための装置であって、当該装置はスキャンすべき対象物を受容する機能を有し、ヘキサポッドとして構成された6脚の対象物キャリア(2)を有する装置に関する。構成の観点から経済的なだけでなく、スキャンプロセスを実行する際の容易な操作を可能にする装置を作るために、対象物がヘキサポッドに担持されたターンテーブル(5)に位置決めされることが発案される。
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【課題】本発明は、過去に車体損傷を受けた車輌及び修復及び製造過程で左右差がある車輌、また懸架装置に劣化がある車輌等、問題を抱えた車輌に対して、適切なアライメントジオメトリを算出し調整を可能にする。
【解決手段】本発明は、タイヤの片流れ時に発生するタイヤの発熱を利用して、その発熱量を測定することにより、各輪の個別なアライメントジオメトリの誤差を知り、各輪のホイールアライメント調整を容易にする。
このことにより、それまで修復歴のある車輌や懸架装置が劣化した車輌、また修復及び製造過程で左右差が生じてしまった車輌など、調整が不可能とされていた車輌のアライメント調整が可能になり、工場及び個人に広く寄与でき役立つ。 (もっと読む)


【課題】段取り作業の効率化を図ると共に、測定精度を向上させることにある。
【解決手段】モータ1により水平回転駆動される回転テーブル2上にその中心軸に直交する回転平面上で互いに直交するX方向及びY方向に移動可能な移動調整テーブル4を載せ、その上に被測定物10を支持する複数個のジャッキ3が搭載テーブルを載せて構成された回転部と、複数のアームを鉛直方向に移動可能に、且つ水平方向に移動可能にそれぞれ支持し、これら各アームの先端部に被測定物の面や円弧面を計測する測定器8を取付けて構成された測定器移動部と、回転テーブル2の回転軸線上で互いに交差するスリット状の複数のレーザ光を照射するレーザ発生器9と、被測定物の予定角度位置での面の高さや円弧面における半径方向の長さの測定値がそれぞれ取込まれ、被測定物の傾き量や回転テーブルの中心に対する被測定物の中心の偏心量を求める演算処理部20と備える。 (もっと読む)


【課題】車両の設置位置が標準位置から大きくずれている場合であっても確実且つ高精度にトー角度を測定する。
【解決手段】トー角度測定装置10における測定ユニット18は、車両14のハブ16を着座台48に着座させると共に、第2ベース部材36に対して車幅方向及び平面視回転方向に移動自在な着座テーブル46と、該着座テーブル46から外側方に向かって延在する鉛直な測定面68を備える被測定部材70と、第2ベース部材36を基準として測定面68に対向するように設けられ、間隔y1だけ離れた2箇所から測定面68に対する距離x1、x2を計測する非接触距離センサ62a、62bとを有する。測定面68は、車幅方向に対して角度βの鋭角をなす向きに設定されている。 (もっと読む)


【課題】 記録媒体カートリッジの溶接品質検査装置において、溶接品質の検査を効率良く行って記録媒体カートリッジの生産効率を高めるようにする。
【解決手段】 溶接前に、上下シェルハーフ3,4間の位置ずれを測定手段50で測定し、この測定により得られた溶接前測定量を比較手段60が予め定められた溶接前基準量と比較する。判定手段65は、溶接前測定量が溶接前基準量より大きい場合に上下シェルハーフの保持を不良と判定して溶接が中止され、溶接前測定量が予め定められた溶接前基準量以下の場合に上下シェルハーフの保持を良と判定して溶接が実施される。溶接後に、再び測定手段50が位置ずれの測定を行って、比較手段60が、この測定により得られた溶接後測定量を予め定められた溶接後基準量と比較し、判定手段65が溶接後測定量が溶接後基準量より大きい場合に溶接を不良と判定し、溶接後測定量が溶接後基準量以下の場合に溶接を良と判定する。 (もっと読む)


【課題】 プローブ等の測定系に対する被測定物の基準平面及び座標を短時間で検出することができる被測定物保持装置を提供すること。
【解決手段】 保持治具1は、測定系に対してレンズ等の光学部品(被測定物)15を保持するものであって、保持治具本体16と、測定光学系に対する保持治具本体16の傾きを表すオプティカルパラレル(角度基準部)17と、保持治具本体16の原点位置を表す位置基準部18とを備え、オプティカルパラレル17と位置基準部18とが保持治具本体16に別々に配されている。 (もっと読む)


【課題】 構造を簡易にして、測定精度を向上させるワークの位置決め具及びその位置決め方法を提供する。
【解決手段】 測定台上に配置された6個の位相ガイド7に、内周面の6個の縦ボール溝10のそれぞれを嵌合させてセットされたワーク10の上端部W1に、内側クランパー61を装着する。次に、クランパー11が内側クランパー61に挿入されると、クランパー11の傾斜部62が、内側クランパー61のピン64に当接しながら下降するため、ピン64が周方向にスライドすると共に、内側クランパー61及びワークWが回転する。そして、各縦ボール溝10の一端が対応する位相ガイド7の一端に接触して、ワークWが周方向に位置決めされて固定されるので、測定中にワークWが周方向に揺動することなく、測定精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】 記録材の厚さを検出する装置を用いて、記録材の先端、後端、重送、重送発生時における画像形成対象の記録材位置を検出する。
【解決手段】 記録材を給紙する給紙手段と、給紙された記録材を搬送する搬送手段と、搬送された記録材の厚さを検出する検出手段と、前記記録材厚さ検出手段により検出した記録材の厚さに基づき画像形成条件を設定する設定手段と、副走査基準信号を生成する手段によって構成される。 (もっと読む)


【課題】低コストでしかも作業効率に優れた車輌用ドア形状検査装置を提供する。
【解決手段】車輌用ドア形状検査装置1は、検査対象である被検査ドアDの下部を、当該被検査ドアDの前後方向に沿って移動可能に支持する第1の支持機構11、及び、被検査ドアDの内側主面を、当該被検査ドアDの前後方向に沿って移動可能に支持する第2の支持機構12、を有するゲージ10と、ゲージ10により起立状態で支持された被検査ドアDの形状を検査する基準位置計測センサ20、形状計測センサ30及びコンピュータ40と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】キャリブレーション用具の抜き差し等の作業を必要とせず、かつレンズの画像を遮ることがなくキャリブレーションを行うこと。
【解決手段】レンズ10の外周縁に押し付けてレンズ10を保持する各押え用ピン7、8、9を設け、これら押え用ピン7、8、9の各頂部に例えば十字ライン等の目盛を表示する各目盛表示部17、18、19を設けた。 (もっと読む)


磁気ディスク用サスペンションの捩れ角測定において、磁気ディスク用サスペンションの基準面を、既知の捩れ角が設定された平滑な基準平面を有する治具上に加圧して固定する取付け手順と、前記治具に固定した前記サスペンションにおけるスライダ搭載面の前記基準面に対するロール方向及びピッチ方向の捩れ角を測定する測定手順とから構成される。
(もっと読む)


【課題】 走査型プローブ顕微鏡の試料台の上に試料の被観察部である中心部がプローブの深針に近接するように設置し、試料の両端部を対向する一対の把持具で把持し、対向位置にある一対の把持具が反対方向に移動可能であり、試料の被観察部である中心部が静止状態を保つように試料に歪みを与えることができる走査型プローブ顕微鏡用試料延伸ホルダーおよび該試料延伸ホルダーを用いた試料の表面状態の観察方法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡に設置された試料10を延伸させる試料延伸ホルダー1であって、試料10の両端部を把持する一対の把持具9と、一対の把持具9を移動可能に支持する支持部材4と、対向位置にある一対の把持具9を互いに離間する方向に移動させる移動機構7とを備えた。 (もっと読む)


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