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Fターム[2F069MM03]の内容

Fターム[2F069MM03]に分類される特許

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【課題】用紙が搬送される際のバタツキを抑えた状態で用紙の通過を検出することで、シート長の計測精度を高める。
【解決手段】搬送されるシートPの搬送量を計測する搬送量計測手段15と、前記シートの搬送をガイドするガイド部材31a,31b,32a,32bと、前記シートの搬送方向における下流側で、前記ガイド部材に沿って搬送される前記シートの先端部通過を検知する先端検知手段11と、前記シートの搬送方向における上流側で、前記ガイド部材に沿って搬送される前記シートの後端部通過を検知する後端検知手段12と、を有し、前記先端検知手段、前記後端検知手段及び前記搬送量計測手段の出力に基づいて、前記シートの搬送方向の長さを算出するシート長計測装置100であって、前記先端検知手段及び前記後端検知手段が前記シートの端部通過を検知する領域において、前記シートを前記ガイド部材に密着させるエア吐出手段又はエア吸引手段を備える。 (もっと読む)


【課題】対向配置された対象物同士の相対的な傾きをを高精度にかつ容易に調整することができる傾き調整の技術を提供することを目的とする。
【解決手段】基板55には第1検出部である電極が形成され、基板56には第2検出部である電極が基板55の電極と対を構成する位置に形成されている。そして、基板55および基板56をステージ部15の保持部29およびヘッド部39の保持部44にそれぞれ保持し、基板55および基板56の電極の対の間の静電容量を検出部50により検出する。そして、検出された静電容量が所定の値になるように、X−Yテーブル制御部52によってX−Yステージ機構11を移動させ、基板55および基板56の相対的な傾きを調整する。 (もっと読む)


【課題】基板の走査中に生じるヨーイング等の誤差を補正することができると共に、基板処理手段が基板の所定位置に精度よく処理を施すことができる基板処理装置等の提供。
【解決手段】基板Pを固定する基板保持部11を載置する、Y軸方向に離れた基板搬送部22a及び22cのベース構造体2上の位置を測定することによって、間接的に基板P上のY軸方向に離れた2箇所の位置のそれぞれと、ガントリ3とのX軸方向の距離を測定する位置測定ユニット13a及び13bと、位置測定ユニット13a及び13bが測定した2つの距離が異なる場合に、該2つの距離が同じになるように基板搬送部22a〜22dを制御する走査制御部5と、基板Pとガントリ3とのX軸方向の距離を測定する相対位置測定部29とを備え、ガントリ3に搭載されたヘッドユニット25は、相対位置測定部29が測定した距離に基づくタイミングで、基板Pにインク塗布を行う。 (もっと読む)


【課題】1軸方向にのみ移動可能なワークステージを備える簡素な機構の近接露光装置において、ワークステージに搭載された基板の平坦度を2次元で精度よく測定することができる近接露光装置を提供する。
【解決手段】基板Wを保持して一軸方向(例えば、X方向)に移動可能なワークステージ1と、マスクステージ2上に配置されてセンサ駆動機構47によりワークステージ1の移動方向と直交する方向(例えば、Y方向)に移動されるギャップセンサ40とを備え、ワークステージ1及びギャップセンサ40を互いに直交する方向に移動させて基板Wの平坦度を2次元で測定する。 (もっと読む)


【課題】支持ピン3の位置再現性を向上させること、及び載置板2と支持ピン3間の移載において基板Wの水平方向のずれを防止することである。
【解決手段】基板Wの反りを測定する反り測定系7、及び当該基板Wの反り以外の物理量又は化学量を測定する通常測定系6に用いられる基板測定用ステージ1であって、前記通常測定系6の通常測定位置P1、及びその通常測定位置P1から下方に離間した退避位置P2の間を移動可能な載置板2と、前記載置板2に設けられた貫通孔21に挿通可能であり、前記反り測定系7の反り測定位置P3に固定された複数の支持ピン3と、前記載置板2を前記通常測定位置P1及び前記退避位置P2の間で昇降移動させる駆動機構と、を備え、前記反り測定位置P3が、前記通常測定位置P1及び退避位置P2の間に設定されている。 (もっと読む)


【課題】 磁気テープのカッピングの影響を排除して正確なテープ寸法を容易に測定することができる磁気テープの測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】 磁気テープの測定装置は、磁気テープを置く支持部材と、少なくとも一部に透明部が設けられ、支持部材に置かれた磁気テープを覆うように該支持部材に取り付けられる蓋部材と、支持部材に対向配置された非接触式測定器と、を備える。蓋部材は、蓋部材を支持部材に取り付ける取付部と、磁気テープを視認するための透明部と、該透明部を取付部に対して伸縮可能に取り付ける伸縮部と、を有する。蓋部材を支持部材に取り付けた状態で、該支持部材の空気を引くことで伸縮部が伸縮し、透明部が支持部材側に変形して磁気テープを挟み込んで固定する。 (もっと読む)


【課題】容易に姿勢調整が可能であり、迅速に測定できる非球面偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】非球面レンズ101を保持するレンズホルダ110と、保持する吸着力を制御する吸着力可変機構114と、レンズホルダ100を回転軸120の周りに回転させるモータ112等と、その回転角を検出するエンコーダ113と、非球面102、103からの反射光によるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部115と、非球面102、103の形状を測定する形状測定部117、118と、スポット軌跡検出部115と形状測定部117等とエンコーダ113との各検出結果に基づいて、非球面偏心を演算する演算部119とを有し、吸着力可変機構114は、レンズホルダ110上で非球面レンズ101の姿勢調整が可能な第1の吸着力と、第1の吸着力よりも大きな第2の吸着力とに制御する。 (もっと読む)


【課題】 各ノズルから吐出する液滴の量が不均一であっても、基板に均一なパターンを形成する。
【解決手段】 パターン形成装置は、複数のノズル(N1〜Nn)が一体となったノズルユニットと基板との相対的な位置を移動しつつ、各ノズル(N1〜Nn)から基板に対して複数の液滴を吐出することにより基板にパターンを形成するものであり、各ノズル(N1〜Nn)から基板に対して吐出する液滴の吐出量データを蓄積するデータ蓄積手段(35)と、前記基板のノズルユニットに対する相対的な移動位置を計測する移動位置計測手段(31,32)と、各ノズル(N1〜Nn)の吐出量データ及び基板の移動位置データに基づいて各ノズル(N1〜Nn)から基板に対して複数の液滴を吐出するか否かの吐出可否を制御する制御手段(34)と、を備える。 (もっと読む)


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