【課題】 固定触針の先端と移動触針の先端とがずれた場合でも、被測定物の厚みを高精度で測定できる厚み測定装置を提供すること。
【解決手段】 厚み測定装置１は、固定触針１４１を有するベース部１０と、このベース部１０の固定触針１４１に対向配置されたスピンドル２２１と、ベース部１０に設けられスピンドル２２１を固定触針１４１に接近、離隔させるダイヤルゲージ本体２２２と、このスピンドル２２１の移動距離を測定する表示部２２３と、を備える。ベース部１０は、ステージ１４と、スピンドル２２１の移動方向に対して交差する方向にステージ１４を移動可能なステージ移動装置１２と、を有する。 （もっと読む）