【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】基準面側の荷重が変化した場合にも、基準面側のエアベアリングとガイドとの間の隙間を適正な所定値に保つことができるガイド機構およびそのガイド機構を有する３次元測定機を提供する。
【解決手段】第１の側に基準面を有するガイドと、前記基準面に沿ってスライド可能に前記ガイドに設けられる被案内部材と、前記ガイドの前記基準面との間に第１の隙間を有するように前記基準面を押圧し、前記被案内部材に設けられる基準側案内部材と、前記基準面と反対側の前記ガイドの第２の側面との間に第２の隙間を有するように前記第２の側面を与圧し、前記被案内部材に設けられる与圧案内部材と、を有し、前記第１の隙間が所定値になるように、前記予圧との位置が前記被案内部材に対して上下動するように設けられる前記押圧との相対関係が調整可能であることを特徴とするガイド機構である。 （もっと読む）

【課題】 表面形状測定装置を介して工作機械のワークテーブル上の加工ワークの真直度を測定する際に使用する被測定物用位置決め治具の提供。
【解決手段】 位置決め治具７は、案内レール８ａ上をｘ軸方向に移動可能な基台８ｂ上面の一方の端面近くに、ベース８ｃを設け、その上の一方の端にキネマカップリング機構９ａを、他方の端に高さ位置調整機構９ｂとチルト機構９ｃを設けた。 （もっと読む）

【課題】エアー放出量を低減して省エネルギー化を図れる産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、エアーを供給するエアー供給部７と、エアー供給部７から供給されるエアーにより駆動される駆動機構２５と、エアー供給部７から駆動機構２５にエアーを導入するエアーレギュレータセット内に設けられ、エアーレギュレータセット内の空気供給路を開閉する電磁弁と、駆動機構２５が駆動停止してからの時間が予め設定された設定時間になると、電磁弁を制御して、空気供給路を閉塞させるモーションコントローラー３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】ゴム層内に埋設されたスチールコードの位置を非破壊方式で簡便に測定でき、かつ取り扱いも容易で低コスト化が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】基板１２の載置面１２０４をゴム層２の上面に載せ、測定位置基準部１２０６をゴム層２の端面２ａに押し当てた状態で、球体１４を案内部１２０２に沿って測定位置基準部１２０６から離間する方向に転動させ、球体１４が、ゴム層２の端面に最も近接するスチールコードの真上に転動され、スチールコードとの磁気結合によりスチールコードに吸着されて静止した時の位置と測定位置基準部１２０６との間の距離をスケール１８の目盛から読み取る構成にした。 （もっと読む）

【課題】ダイヤルを何回転も回すことなくワンタッチで保持具を操作できるようにすると共に、作業環境の悪い場所であっても該保持具により測長装置を支持体に容易に固定できるようにする。
【解決手段】支持体２に設置された測長装置の両側を保持して該測長装置を固定する保持具１Ａ、１Ｂを備える。これらの保持具１Ａ、１Ｂは、レバー１ｂの回動と共に回動して本体１ａと協働して支持体２を挟んで締め付ける脚部１ｄを有する。この脚部１ｄは、本体１ａと協働して支持体２を挟んで締め付ける第１の位置に回動する。また、支持体２と隙間を有してスライドの方向に測長装置を移送する第２の位置に回動する。また、支持体２の幅に対して該脚部１ｄの幅が狭くなって保持具１Ａ、１Ｂを支持体２から取り外す第３の位置に回動する。この構成によって、何回転もダイヤルを回すことなく、ワンタッチで保持具１Ａ、１Ｂを支持体２に固定、解除及び乖離できる。 （もっと読む）

【課題】スケール、スケールベース、及びベースの熱膨張等による伸縮で生じるスケールベースの変形を防いで、スケールによる高精度な変位測定を可能とする。
【解決手段】スケールベース１１２は、スケール１１６で測定される測定方向（Ｙ方向）の複数箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３でベース１１０に固定され、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３間のスケールベース１１６にスリット１１４が設けられ、前記スケール１１６は該スケールベース１１２の該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の２箇所以上において該スケールベース１１２により支持され、且つ、該スケールベース１１２は、該固定される箇所Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３以外の位置において該ベース１１０との間、及び該支持する箇所以外の位置において該スケール１１６との間、のそれぞれに空隙Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を有する。 （もっと読む）

【課題】 座標測定装置の多座標測定テーブル用前進手段およびそのような前進手段の制御方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、座標軸（ｘ、ｙ）毎に摩擦ロッド（１０、１２）とモータとを有する駆動ユニット（２２）を備える多座標測定テーブル用前進手段に関する。モータは、そのモータシャフト（１９）で摩擦ロッド（１０、１２）の一方側と接触し、少なくとも１つの押圧ローラ（２０）が、摩擦ロッド（１０、１２）の他方側と接触する。押圧ローラ（２０）と、摩擦ロッド（１０、１２）と、モータシャフト（１９）とを互いに対して押圧力で付勢することにより、モータシャフト（１９）を摩擦ロッド（１０、１２）と摩擦係合させ、モータの回転運動を摩擦ロッド（１０、１２）の直線運動に変換する少なくとも１つの押圧手段（２５）が設けられている。そのような前進手段を制御する方法も開示されている。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダボアの真円度等を測定する際、シリンダヘッドとベアリングキャップ部材とをシリンダブロックに締結し、実際のエンジンの作動状態に近似させた状態で測定を行って、エンジンの作動状態における正確な真円度の測定データを得る。
【解決手段】測定するエンジンのシリンダブロック１に、シリンダヘッド３とベアリングキャップ部材とをボルトにより組み付けてシリンダ組立体９とする。これをベアリングキャップ部材８が上側となるように設置し、ウォータージャケットに高温の流体を送り込む。この状態で測定装置２０を組立体９の上方からシリンダボア２に挿入して測定することにより、エンジンの作動時の状態を再現し、内部応力や熱膨張の影響を反映した真円度を測定することができる。測定装置２０を設置するため、主軸受部には載置ブロック２１が掛け渡され、位置決めのため、シリンダボア２と合致する基準部材２２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える運動誤差測定基準、運動誤差測定装置を提供する。
【解決手段】運動誤差測定基準は、例えばベースに対して所定の方向に移動可能に支持されたステージの運動誤差を求める測定装置で利用することが出来るものであり、前記母線に沿って前記原点からの距離が既知である所定点において、実際の物体面と、母線が構成すべき数学的理想面との差が、面外への微小変位と、面法線の方向の微小角変位に関して校正されており、その校正値が記憶されて演算に供しうる数値データとして付与されているものである。 （もっと読む）

【課題】小型で測定精度の高い回転角度測定装置を提供する。
【解決手段】回転盤１に第一、第二案内溝２，３を形成して第一、第二移動体４，５を各案内溝に案内させて移動させる。第一、第二移動体４，５の回転角度を検出して両移動体の回転角度から回転盤１の絶対回転角度を演算部８で演算する。 （もっと読む）

【課題】複雑なオートフォーカス機能を必要としない簡単な光学系によって、形状測定の基準となる位置マーク球の位置を高精度で検出する。
【解決手段】被測定物Ｗ₁ を保持するジグ２は３個の位置マーク球３を有し、被測定物Ｗ₁ の表面をトレースするプローブ１０とは別に、各位置マーク球３の反射光から位置マーク球３の光学像の２次元位置を互いに異なる光軸方向から検出する２つの光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂを、Ｚスライダ７に保持させる。各光点位置測定光学系１２ａ、１２ｂのポジションセンサーから得られる２組の２次元位置情報を用いた演算によって、各位置マーク球３の位置を３次元的に求める。 （もっと読む）

【課題】ビデオレート以上の高速での画像取得を可能にする走査型プローブ顕微鏡用走査機構を提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用走査機構は、可動部４とＸＹ弾性部材とＺ弾性部材７Ａと７Ｂと固定部５とからなるＸＹステージと、ＸＹステージが固定される固定台１と、可動部４をＸ方向に移動させるためのＸ圧電体２Ａと、可動部４をＹ方向に移動させるためのＹ圧電体と、可動部４の上面に固定された基板１１と、基板１１の上面に固定された、移動対象物をＺ方向に移動させるＺ圧電体３と、可動部４とＸ圧電体２ＡとＹ圧電体のほとんどを覆うカバー９と、Ｚ圧電体３の周囲の可動部４とカバー９の間に設けられたダンピング部材１０とを備え、Ｚ圧電体３の上端がカバー９の上面よりも高い位置に位置している。 （もっと読む）

【課題】 比較的構造が簡単で、加工精度の管理が簡単で、比較的長い寿命が得られる長さ測定機を得るにある。
【解決手段】 被測定物に接触できる検出子を一方向に伸びたガイドに沿って移動できるスライダに取付け、前記ガイドに平行な送りねじで駆動されるボールナットにより前記スライダをガイドの長さ方向に移動させて測定を行う長さ測定機において、矩形断面の剛性ガイドを前記送りねじ及びガイドが支持される機体フレームに固定して同剛性ガイドに沿い移動できるコ字リテーナに前記ボールナットを固定し、前記前記ガイドをヤング率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成し、前記ガイドに略平行な状態に保った直線状ピアノ線片の両端部を前記スライダの前記コ字リテーナに面した部分に固定し、前記コ字リテーナに基端部を固定した連結ピンの先端部を前記ピアノ線片の略中間部に固定した表面性状測定機。 （もっと読む）

【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 物品の形状測定装置における載置テーブル上に、物品を効果的に且つ確実に保持、固定することの出来る物品保持装置を設けてなる構造の装置を提供すること。
【解決手段】 物品の形状乃至は寸法を接触方式又は非接触方式にて測定するようにした装置において、該物品の形状乃至は寸法を測定するためのテーブル上に位置するように、固定的に又は着脱可能若しくは回動可能に取り付けられる矩形の枠体２０を有すると共に、該矩形枠体を構成する各辺部材が少なくともその上側の面と該矩形の内側の面にそれぞれその長手方向の全長に亘って延びる逆Ｔ字型乃至は十字型断面形状の取付溝２２を有し、且つ該取付溝内に、前記物品を固定するための治具乃至は該治具を保持するための保持部材の基部を取り付けて、該取付溝の所定の位置に配置せしめ得るように構成された物品保持装置を設けた。 （もっと読む）

【課題】被測定物の測定面と測定機の測定方向との平行出しを、効率よく行うことのできる平行出し装置、および、平行出し方法を提供すること。
【解決手段】被測定物に並列した移動案内体と、移動案内体に沿って移動するスライダとを備える。スライダの移動位置におけるスライダ移動位置、および、測定物の測定面位置を、スライダに備えられた光電式リニアスケール５、および、センサ６によって検出し、これらを基に、ＣＰＵ７１は、スライダの移動方向を基準とする測定面の傾き直線を演算し、傾き直線から揺動支点の調整基準値を設定し、調整基準値をメモリ７２に記憶させ、記憶させた調整基準値、および、センサ６によって検出される測定面位置の差を調整量として算出する。調整量はモニタ８に表示され、作業者は、表示された調整量に従って移動案内体の姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】小型で適用範囲の広い車両用角度センサを提供する。
【解決手段】パネル２４上で回転させるために搭載してあるレバーを有し、このレバーは、回転軸Ａ１の周りで周辺に広がる読み取りトラックと協働する少なくとも１つの読み取りカーソル３４，３６を備える。前記カーソル３４，３６は、参照角度位置Ｐｒに対して、前記レバー２２の瞬間角度位置Ｐｉを、トラック３０，３２上で読むことができる。出力信号を生じるように、前記２つのカーソル３４，３６をレバー２２を設け、かつ２つの連動する出力信号を生じさせるとともに、カーソル３４，３６の２つの独特な角度位置Ｐｉは、それらに連動する読み取りトラック３０，３２に対する、レバー２２の角度位置Ｐｉに対応している。 （もっと読む）

【課題】複数の糸条の外径を測定する場合にも、大型の走査機構を必要とせず、安いコストで測定できる測定方法および装置を提供する。
【解決手段】形状測定手段と信号処理手段と走査手段と測定ロールとを用い、測定ロール上にある複数の糸条に対し、走査手段により走査させつつ形状測定手段で所定の糸条の表面形状を測定し、得られた表面形状から信号処理手段により測定ロール表面と糸条頂部を認識し、これらの高さの差から糸条の外径を測定することを特徴とする糸条外径測定方法、および糸条外径測定装置。 （もっと読む）