【課題】多層構造において層間ギャップを含む層を評価するための装置を提供する。
【解決手段】軸を横切って略整列した複数の縁部を呈する多層構造において、層間ギャップを含む層を評価するための装置１０は、少なくとも１つのパラメータを検知するように構成された検知ユニット１２、検知ユニットと結合されて、検知ユニットを軸に略沿って移動させるように構成された位置決めユニット１４、ならびに位置決めユニット１４および検知ユニット１２の少なくとも１つと結合された制御ユニット１６を含む。制御ユニット１６は、検知ユニット１２に電気信号を供給する。制御ユニットは１６、検知ユニットが複数の縁部を過ぎて移動するとき、少なくとも１つのパラメータの変化を監視する。制御ユニット１６は、少なくとも１つのパラメータの変化を使用して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の揺動を抑えて移動機構を移動させることができ、制御対象物による測定誤差を低減できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、被測定物を載置するテーブル１１と、テーブル１１に対して移動可能な支持部２１３を有し、支持部２１３で支持されて所定の軸方向へ移動可能に設けられ、プローブ１２を所定の軸方向へ移動させる移動機構２と、移動機構２を制御する制御装置と、門型フレーム２１に取り付けられ、移動機構２と制御装置とを接続するケーブルを案内して収納するケーブルベア３とを備えるものであって、ケーブルベア３の重心を通ってＺ軸方向に延びる重心軸線Ｏ−Ｏが、Ｘ軸方向において、支持部２１３の中心を通ってＺ軸方向に延びる支持案内軸Ｐ−Ｐと一致している。 （もっと読む）

【課題】駆動軸のズレやガタツキ、偏心にも拘わらず回転角度を高精度に検出することができる角度検出装置を得る。
【解決手段】駆動軸４と、回転センサ５と、駆動軸４と回転センサ５のロータ５３との間に介在させた回転体３とからなる角度検出装置。回転体３は弾性部１５を備えかつピボット軸部１６を有し、回転軸Ｌを中心として回転する。弾性部１５は、横断面中央部に貫通孔３ｂを有し、相互に直交する中実部３ｃの積み重ね構造となっている。ピボット軸部１６はカバー部２ｂのピボット軸受け３２に回転自在に支持され、軸受け部５８によってロータ５３を介して回転軸Ｌ上に位置決めされている。 （もっと読む）

【課題】オイルミストや塵などの付着から不使用時にある検出手段を保護して測定精度の悪化を防止する保管装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状情報を採取するための検出手段（非接触センサ２０ａ、タッチプローブ２０ｂ）をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段（プローブボックス３０，エアーポンプ４０）を備える。 （もっと読む）

【課題】ケース体の部品コストを低減すると共に、回転に伴って発生する静電気が回転検出に影響を及ぼさない回転検出センサを提供する。
【解決手段】ケース体１に回転軸に追従して回転する回転体２と、回転体２の回転角度を検出する角度検出部３とを納めてなるものであって、ケース体１は上方開放状で周縁部に耳部１４を有した下ケース体１０と、下ケース体１０の上面を覆うカバー体１１とからなり、下ケース体１０の耳部１４には貫通孔１５が形成されると共に、貫通孔１５にはその内周面に略適合する金属カラー４が挿入され、カバー体１１は金属材からなると共に、耳部１４の貫通孔１５に挿入された金属カラー４の上面を含めて下ケース体１０の上面を覆ってなる。 （もっと読む）

【課題】回転角検出機構が破損しにくい構造の回転角検出センサを提供することである。
【解決手段】一端が開放された筒状のハウジング１に、その蓋部１ａを貫通する回転軸２の一端の大径部２ａを収納し、ハウジング１の一端を塞ぐ蓋部材４の内面と回転軸大径部２ａの端面との間に回転角検出機構５を設けるとともに、ハウジング蓋部１ａの内面に回転軸２と同心に円弧状の溝１ｂを設け、回転軸大径部２ａの段差面２ｂにハウジング蓋部１ａの溝１ｂ内を移動するストッパピン１２を取り付けることにより、ストッパピン１２が折損しても回転角検出機構５の破損にはつながらないようにしたのである。 （もっと読む）

【課題】塗膜の膜厚やその乾燥／湿潤状態に関わらず、塗膜の厚さを簡便にかつ高精度に計測する。
【解決手段】非接触式膜厚計１０において、本体１１の底面１３に渦流変位計のための中空管状のプローブ１２を取り付ける。プローブ１２の先端にコイル１４を設ける。底面１３において、中空管状のプローブ１２の内側にレーザ変位計のレーザ照射部１５とレーザ受光部１６とを設ける。コイル１４により交流磁界を生成し、金属板Ｓに渦電流を誘導する。誘導された渦電流によるコイル１４のインダクタンス変化を検出し、プローブ１２と金属板Ｓまでの距離Ｌ２を算出する。一方、レーザ照射部１５からレーザ光線を照射し、塗膜Ｆの表面で反射されたレーザ光線をレーザ受光部１６において検出する。三角測距の原理に基づいて、レーザ変位計と塗膜表面との間の距離Ｌ１を算出する。距離Ｌ１、Ｌ２に基づいて塗膜Ｆの厚さδを算出する。 （もっと読む）

【課題】
新規に演算処理能力の高い大容量のメインコントローラを開発することなく、多数の油圧シリンダのストローク位置を高精度に計測出来るようにする。
【解決手段】
制御用コントローラ２０とは独立して計測用コントローラ３０が設けられ、この計測用コントローラ３０に回転センサ１００、リセットセンサ３００の検出信号を入力させてストローク位置の計測処理を行わせ、計測結果を制御用コントローラ２０に送るようにする。計測用コントローラ３０の記憶テーブル３６には、予め回転センサ１００の出力電圧値と回転角度との対応関係が記憶されており、回転センサ１００の検出信号が入力されると、記憶テーブル３６の対応関係を参照して対応する回転角度が求められ、求められた回転角度に基づいて油圧シリンダ２００のストローク位置が計測される。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減することができる回転角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングシャフト１２と一体的に回転する主動歯車１４には同一の軸を中心として回転する歯数の異なる第１及び第２の主動歯車部６１，６２を設けるようにした。一方、第１及び第２の従動歯車１５，１６の歯数をそれぞれ同じとし、それら第１及び第２の従動歯車１５，１６を第１及び第２の主動歯車部６１，６２にそれぞれ噛合させるようにした。このため例えば歯数の異なる二種類の従動歯車をそれぞれ同一の主動歯車に噛合させることで減速比を異ならせるようにした場合と異なり、単一種類の主動歯車１４と単一種類の第１及び第２の従動歯車１５，１６を用意すればよいので、回転角度検出装置１１の製造コストを低減することができる。また、第１及び第２の従動歯車１５，１６の主動歯車１４に対する組み付け間違いもない。 （もっと読む）

【課題】 回転部材が配設される内部空間に水分が侵入することを抑制する。
【解決手段】 圧力緩衝孔１２を介して大気開放される内部空間１４を有するケーシング１６と、内部空間１４に配設され、クランク軸の回転に伴って一体的に回転する回転部材（図示せず）と、回転部材の回転状態を検出するセンサ（図示せず）と、クランク軸又はこれと同期して回転する回転軸に連結され、その回転駆動力を回転部材へと伝達させる駆動軸１８と、を含んで構成され、センサにより検出された回転部材の回転状態からクランク角度を検出するクランク角度検出装置１０において、圧力緩衝孔１２に、鉛直下方へと延びる部位を有する通気用チューブ２２を接続する。そして、通気用チューブ２２の内部に存在する空気により、内部空間１４の圧力低下を抑制するための空気量を賄うようにする。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 長距離の計測においても精度の高い線形計測が可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 パイプラインの始点及び終点におけるピグ本体の姿勢を予め取得しておき、始点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して始点から終点までの順方向の姿勢データを求めるとともに、終点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して終点から始点までの逆方向の姿勢データを求め、順方向の姿勢データと逆方向の姿勢データとを用いて姿勢誤差を低減した姿勢データを再計算し、再計算後の姿勢データを用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】 重力鉛直偏差による重力誤差を極力抑え、長距離の測定でも十分な精度を確保することの可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 ピグ本体を静止状態として静止状態における加速度計の加速度データを取得し、その加速度データから重力方向を求め、この重力方向と地上の現在地点における緯度とから、パイプラインの線形形状の計測を開始する際に必要なピグ本体の初期姿勢角を算出し、この初期姿勢角を、加速度データから求められる重力方向と地球を密度一様な楕円体と仮定した場合の重力方向との偏差に基づく補正角によって補正し、その補正後の初期姿勢角を用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】保持治具にワークを装着する時や、保持治具にワークを装着した状態で搬送する時にはワークに疵を付けず、又、加工時や測定時には剛性の高い３点支持で振動や変形を抑えることができ、ワークを着脱しても位置の再現性が良好であるワークの保持方法及びワーク保持治具を提供すること。
【解決手段】ワークを保持する保持方法において、該ワークの周辺部における３点で該ワークを点接触状に支持するとともに、該３点支持の支持剛性を切り替える。又、ワークを保持するワーク保持治具において、該ワークの周辺部における３点で該ワークを点接触状に支持するとともに、該３点支持の支持剛性を切り替える。 （もっと読む）

【課題】 測定用プローブの個体差を低減し、メンテナンス性を向上させる分離型のプローブ構成を提供する。
【解決手段】 先端に被測定面２ａに接触するスタイラス１２と他端部にレーザ光を反射する反射面１３を形成した可動部材１１と、可動部材を軸の中心部に保持する空気軸受１７と、空気軸受を保持する第１ハウジング部４０と、反射面１３にレーザ光を集光するレンズ２２と、このレンズを保持する第２ハウジング部５０とを備え、第１ハウジング部４０と第２ハウジング部５０をそれぞれ両者を前記レンズ及び前記反射面が前記レーザ光の光軸と一致するように着脱自在に装着可能としているので、レーザ光を集光するレンズ２２を生産時に装着した後は、点検時などにレンズ２２の取り外しを行う必要がない。 （もっと読む）

【課題】 加えられる回転変位（角度変位）の大きさに係わらず、回転検出対象の回転状態を確実に検出することができるようにする。
【解決手段】 回転センサは、円環状の環状容器１１を有する。この環状容器１１は、円環状の液体流路１１１を形成する。この液体流路１１１には、液体が封入されている。また、この液体流路１１１には、梁１２が設けられている。この梁１２は、環状容器１１の回転に伴って生じる液体の流動によって変位させられる。この梁１２には、歪みゲージ１３が設けられている。この歪みゲージ１３は、梁１２の変位を検出する。この歪みゲージ１２には、角加速度検出部２０が接続されている。この角速度検出部２０は、歪みゲージ１２の検出出力に基づいて、回転検出対象の角加速度を検出する。 （もっと読む）