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Fターム[2F069MM23]の内容

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【課題】共通基準システム(4)上に振動隔離機構(2、3、5)を介して搭載され、該共通基準システムに対して変動する位置をとる、リソグラフィ・デバイス(1)及びワークステーション・デバイス(6)を含む装置において、両デバイス間の相対位置の変動を監視して該装置が誤動作しないように調整する。
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置(d、7b)が所定の公差範囲内(7a−7c)にあるかどうかを評価する手段を含む装置。 (もっと読む)


【課題】被測定面の形状測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】円形外形の被測定面の形状を測定する測定方法であって、被測定面を保持するステージをステージ回転軸を中心として回転させ被測定面の複数の部分領域のそれぞれを測定装置の視野に位置決めし(S304)、部分領域のそれぞれを測定して形状データを取得する取得ステップ(S306)と、部分領域のそれぞれの形状データから被測定面の形状を算出する算出ステップとを有し、輪郭部分領域のそれぞれについて被測定面の中心の位置を求める第1ステップと、被測定面の複数の中心の位置から回転する被測定面の回転の中心である回転軸の位置を求める第2ステップと、第2ステップで求めた回転軸の位置及び複数の部分領域のそれぞれを位置決めする際のステージの回転角度を用いて、複数の部分領域のそれぞれの形状データをつなぎ合わせて被測定面の形状を求める第3ステップ(S314)とを有する。 (もっと読む)


【課題】精密なワークでも保持可能なワーク保持装置及びこのワーク保持装置を使用した3次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】ワーク保持装置3は、ワークWを保持する回転ヤトイ31と、ベース部材32と、回転昇降機構33と、を有する。回転昇降機構33は、支持部34を上昇させ回転ヤトイ31の背面31Rと接触させ、この回転ヤトイ31をベース部材32から浮かせた状態で回転させる。また、支持部34を下降させ、回転ヤトイ31をベース部材32に着座させた状態でワークWの測定を行う。 (もっと読む)


【課題】検出部を被検物に対して移動させて測定位置毎に停止させて測定する場合の測定速度を向上させることができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被検物に対しての相対位置が変更されて被検物の表面の形状を検出する検出部(20)と、検出部により検出された被検物の表面の形状の変位を示す情報に基づいて、被検物に対して検出部が相対的に静止しているか否かを判定する判定部(静止判定部58)と、判定部により検出部が相対的に静止していると判定された場合の形状に基づいて、被検物の表面の形状データを算出する算出部(座標算出部53)と、を備える。 (もっと読む)


【課題】バックラッシに起因する位置決め精度の低下を抑えることのできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置のコントローラは、正方向用の補正マップと逆方向用の補正マップ、及び、移動台を移動させる際の基準位置を記憶している。コントローラは、以下の処理、即ち、(1)移動台が基準位置から既定の閾値以上離れた位置に移動した場合に移動先の位置を新たな基準位置に設定する更新処理、(2)基準位置と目標位置との間の距離が閾値以上の場合には、現在位置から目標位置への移動方向と同一方向用の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正し、基準位置と目標位置との間の距離が閾値未満であり、かつ、最新の基準位置が設定されてから1回は移動方向が反転している場合には、両方向の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正する補正処理、(3)補正後の位置計測値を目標位置に一致させる制御処理と、を実行する。 (もっと読む)


【課題】比較的大面積の車体部品の寸法測定には、自重による撓みと製造による歪を弁別することが困難であるという課題があった。
【解決手段】車体部品を所定の取付点で固定治具に固定する工程と、前記車体部品の所定部位の寸法を転置前寸法として測定する工程と、前記固定治具を前記車体部品が固定されたままで上下逆さまに転置する工程と、前記所定部位の寸法を転置後寸法として測定する工程と、前記転置前寸法と前記転置後寸法の差に基づいて、自重の影響を受けていない寸法を算出する工程を有することを特徴とする寸法測定方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法
【解決手段】本発明は座標測定装置(10)を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である1つまたは複数のセンサを使用できる。 (もっと読む)


【課題】複数の測定プローブを備えたフレーム部に起因する回転誤差を短時間且つ精度良く算出できる、誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物が載置される載置部と、被検物の形状を測定する複数の測定プローブの各々が所定のオフセットだけ離間して取り付けられた測定部と、測定部を互いに直交する2方向に前記載置部上を移動させる移動部と、を備えた形状測定装置における移動部による回転誤差分布を算出する誤差分布算出方法である。載置部上と所定の関係を持った位置に基準部材を配置する配置工程と、測定プローブの少なくとも2つが、基準部材の座標値をそれぞれ測定する測定工程と、各々の測定座標値の差分に基づいて移動部による回転誤差分布を算出する算出工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム(12)は、被加工物Wの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブPからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ(24)に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム(20)から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 (もっと読む)


【課題】 汎用性が大で簡単な構造で球体を満遍なく回転させることができるようにする。
【解決手段】 球体1を回転自在に受持する一対のローラ3,4と、この一対のローラ3,4をそれぞれ回転駆動するサーボモータ27,28と、前記両サーボモータ27,28を制御して前記球体1の1回転中に一対のローラ3,4の角速度を高低変化させながら一方のローラ3,4が高角速度のときに他方が低角速度となるように回転させる制御手段7とを備えている。また、前記制御手段7は、一対のローラ3,4を角速度高低変化させながら回転する途中に、球体1の少なくとも1回転における高角速度の時間長さを長短変更する回動制御機能43を有している。 (もっと読む)


【課題】外乱に基づいて不適切な幾何誤差が計測された場合であっても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差の計測方法を提供する。
【解決手段】幾何誤差の計測においては外乱誤差有無確認ステップを実行し、幾何誤差を同定する前に、A軸およびC軸を複数の条件で割り出して、ターゲット球12の直径を計測し、それらの計測値のバラツキを算出し、それらのバラツキが予め設定された直径変動量許容値Daを超えた場合には、計測ミスと判断する。 (もっと読む)


【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機1は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル2と、スピンドル2の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置3とを備えるものであって、スピンドル2の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ11を備える。このため、三次元測定機1による測定を短時間で開始できる。 (もっと読む)


【課題】測定物を保持する際に測定物が自重の撓みにより変形されることのない測定物保持装置を提供する。
【解決手段】測定物11の平面度測定に用いられる測定物保持装置20であって、測定物11が載置される載置面11aを有する載置台40と、載置台40に、載置面4002から突出して測定物11を下方から複数箇所で支持し載置面4002からの高さが変更可能に設けられた複数の測定物支持部材60と、各測定物支持部材60が測定物11に対して均一な接触圧力で接するように各測定物支持部材60の載置面4002からの高さを変更する制御手段80とを備える構成にした。 (もっと読む)


【課題】形状や厚みが異なる種々の被検レンズのレンズ中心厚を、被検レンズの外観品質を低下させることなく正確に測定することが容易なレンズ中心厚測定器を提供すること。
【解決手段】測距用のセンサヘッド22a,22bを有する2台の非接触型測長計2a,2bと、これら2台の非接触型測長計それぞれのセンサヘッドを互いに対向させ、各センサヘッドの測定軸MA1,MA2を互いに一致させて支持する測長計支持部3Aと、センサヘッド間に設けられ、被検レンズL1の少なくとも光学中心Lc,Ldを露出させて且つ該被検レンズの光軸Lxを測定軸に一致させて該被検レンズを保持するレンズ保持部4Aとを用いてレンズ中心厚測定器1Aを構成する。 (もっと読む)


【課題】標識検出器と組み合わせて用いられる標識の、検出原理上の回転対称性の程度を評価するための標識検定装置を、提供する。
【解決手段】標識検定装置は、装着部により検定対象の標識を回転軸部材に装着して、駆動部によって回転軸部材に所定の周期運動を与えた場合に、標識検出器から得られた標識の検出データを、処理部に入力し、処理部のデータ処理によって標識の検出原理上の軸対称性の指標データを検定データとして得る。 (もっと読む)


【課題】被測定物の重心位置を正確に把握することができる重心測定システムおよび重心測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物を載置する載置台、プローブ12およびこれらを三次元方向へ相対移動させる相対移動機構13を有し、被測定物の形状を測定する三次元測定機10と、載置台の重心位置を測定する重心測定装置20と、三次元測定機の座標系と重心測定装置の座標系とを一致させるとともに、三次元測定機によって測定された被測定物の形状データに、重心測定装置で測定された重心位置を合成するデータ処理装置30とを備える。 (もっと読む)


本発明は、例えばキルンやドラムなどの円筒形又は他の回転対称形の回転装置を測定して位置合わせするための方法に関する。測定及び位置合わせの対象となる装置は、シェルと、少なくとも1つの支持リングとを有する。本発明による方法に関して重要なのは、回転装置が作動状態で回転しているときに、回転物体のシェルの表面上測定点が、同じ円周ライン上において、各支持リングの軸線方向両側で測定されることである。測定された点から回帰円が計算され、計算された円の中心点が決定され、各支持リングの両側で計算された円の中心点の間の直線とその中心点が決定される。シェルの中心線の基準直線が計算され、決定されたシェルの中心点を、計算された基準線へ移動させることによって、物体のシェルが真直ぐになるように位置合わせされる。
(もっと読む)


【課題】プローブを用いて、容易かつ高精度に被検物の表面形状を測定することができる表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】プローブと被検物とを相対移動させることにより、被検物の表面形状を測定する表面形状測定方法は、被検物の第1の領域の第1表面形状データを取得する第1取得工程と、第1表面形状データと少なくとも一部が重複する被検物の第2の領域の第2表面形状データを取得する第2取得工程と、第1表面形状データのうち、第2表面形状データと重複する領域のデータに対して、近似関数による当てはめを行って近似曲線を取得する近似曲線取得工程S20と、近似曲線を用いて第2表面形状データの補正量を算出する補正量算出工程S30と、算出された補正量に基づいて、第2表面形状データ全体を座標変換する座標変換工程S40と、第1表面形状データと、座標変換が行われた第2表面形状データとを統合する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】製造コストが安価で、長年の使用においても終始、盤面が高精密な平面度を維持確保しうる定盤の製造方法および定盤を提供する。
【解決手段】平坦面を有する親定盤7の盤面7aに、薄板状の小板3を複数枚並べて敷設することにより互いに隣接する小板3の集合体4を形成し、この小板集合体4の最外周を型枠で囲み、該型枠に所定高さまでコンクリート材を打ち込み、凝固したコンクリート材を基台とし、該基台2に小板集合体4を一体に設けた状態の子定盤を、小板集合体4を境にして親定盤7から分離して反転させ、表側に現れた小板集合体4表面にラッピング加工を施して平坦な盤面に形成することにより、親定盤7から子定盤を定盤として製造する。 (もっと読む)


【課題】凹状のゲージを用いた形状測定装置の校正の精度の低下を防止する。
【解決手段】形状測定装置のステージの上面に設けられているゲージは、形状測定装置の校正に用いる凹球面状の凹部と、凹部の底から垂直に突出するように設けられている送風部材52により構成される。送風部材52の送風部52Aの下面には、下面の外周に沿って、送風口61−1乃至61−nが所定の間隔で配置されている。形状測定装置の電源が投入されている間、常にこの送風口61−1乃至61−nから凹部の表面に向かって風が吹き出され、凹部の表面の埃などの異物が吹き飛ばされる。本発明は、例えば、被検物の3次元形状を測定する形状測定装置に適用できる。 (もっと読む)


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