【課題】複数台の測定機間での振動の影響を排除した上で高い操作性と測定精度を実現した新たな形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物５０を挟んで対向配置される少なくとも２台の駆動機構付き測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２と、これらの測定機ごとにそれぞれ対応して接続される少なくとも２台の制御装置４１，４２と、を備えるものであって、前記制御装置４１，４２は、測定機ＣＭＭ１，ＣＭＭ２の動作状態を検出自在であるとともに、制御装置４１，４２ごとで連携を取り合うことにより、一の測定機ＣＭＭ１の動作状態の検出結果に応じて他の測定機ＣＭＭ２に対する動作指令を発信自在である。 （もっと読む）

【課題】短時間で確実に車両を正対することが可能な車両正対装置および車両正対方法を提供する。
【解決手段】車両正対装置１に、正対位置に進入する乗用車７の車輪（右前輪８Ｒ、左前輪８Ｌ、右後輪９Ｒ、左後輪９Ｌ）をガイドするとともに、正対位置に到達した乗用車７の車輪の両側面を規制するガイド式正対装置２と、正対位置に到達した乗用車７の車輪を回転駆動するランナウト式正対装置４と、ガイド式正対装置２およびランナウト式正対装置４の動作を制御する制御装置６と、を具備し、制御装置６は、ランナウト式正対装置４による乗用車７の車輪の回転駆動が開始されてから車輪の回転速度が所定のランナウト速度となるまでの間にガイド式正対装置２による車輪の規制を解除する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置に関し、探針先端と試料表面が接触せず、高速でアプローチする、走査型プローブ顕微鏡の探針と試料表面との距離測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 探針６を使用して試料１表面を走査し、試料１表面の凹凸を原子分解能で測定を行なう原子間力顕微鏡であって、探針６と試料１表面の距離を近づけるための第１段階の高速アプローチと第２段階の精密アプローチを組み合わせるようにした。この結果、全体として試料表面と探針間のアプローチ時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 作業効率が高く、構成が簡単な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 この位置決め装置では、２つの可動テーブル４，５の移動範囲ＸＡ，ＸＢはオーバラップ部ＸＯを有し、２つの可動テーブル４，５のうちのいずれか１つの可動テーブル４または５がオーバラップ部ＸＯに進入したことに応じて、他の可動テーブル５または４がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４，５がオーバラップ部ＸＯで衝突することを防止することができ、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】高抵抗率のウェーハをプレートに張付けた状態で高精度に測定できるウェーハ厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】本ウェーハ厚さ測定装置は、平板状のセンサー較正用マスターワーク及びウェーハ貼付け用プレートが載置されるインデックステーブルと、センサーヘッドを備えた厚み測定センサー及び基準ピンが設けられたセンサー部と、センサーヘッドの先端をマスターワークあるいはウェーハに当接させ、基準ピンの先端を前記マスターワークあるいはプレートに当接させるセンサー当接機構を有し、センサーヘッド及び基準ピンの先端をマスターワークに当てて厚み測定センサーの較正を行い、厚み測定センサーの先端をウェーハに当接させ、基準ピンの先端をプレートに当接させて、両先端の後退量により、ウェーハの厚さを測定する。 （もっと読む）

関節プローブヘッドを較正する方法であって、関節プローブヘッドに取り付けられたワークピース検出プローブによって、既知の寸法を有する疑似品を測定するステップを備え、前記関節プローブヘッドがアンロックされている方法。疑似品の測定された寸法と既知の寸法との差に応じて、誤差関数又はマップが発生される。アンロックされた関節プローブヘッドによって以降のワークピースが測定され、対応する修正が適用される。疑似品の真の寸法は、関節プローブヘッドに取り付けられたプローブによって疑似品を測定することにより決定されてもよく、この場合、関節プローブヘッドの軸はロックされる。機械式ロック手段が、関節プローブヘッドの軸をロックするために設けられる。

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