【課題】 物品の表面の筋目の存在を容易かつ精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 第１工程で、物品の表面の位置に対する高さの関係を示す第１の曲線（粗さ曲線）を相互に平行な複数の測定ラインに沿って測定し、第２工程で、第１の曲線をフーリエ変換することで物品の表面の凹凸の周波数に対する振幅の関係を示す第２の曲線に変換し、第３工程で、複数の第２の曲線のピークの重なり状態に基づいて物品の表面に測定ラインに交差する方向の筋目が存在するか否かを判定するので、複数の測定ラインに沿って第１の曲線を求める始点位置がずれても筋目の存在を確実に判定することができ、しかも第２の曲線のピークの高さから筋目の深さあるいは高さを求めることができる。 （もっと読む）

本発明は、レール車両の、少なくとも一つの輪軸（４）を有している台車（３）の状態を監視するための方法に関する。本方法では、輪軸（４）の車輪（８）は軸（６）によって固く結合されており、且つ、ほぼ円錐形の車輪輪郭を有しており、台車に配置されているセンサ手段（１０）から供給される信号から、車輪（８）の円錐形の車輪輪郭を基礎としている、台車（３）の輪軸（４）の蛇行動に対応する信号がフィルタリングされて取り出され、蛇行動の周波数（ｆ）が、その都度存在している車両速度（ｖ）のような周囲条件を基準にして求められ、蛇行動の周波数（ｆ）に関して記憶されている、存在している周囲条件に対して典型的な値又は値領域と比較され、測定された前記周波数（ｆ）の、該周波数（ｆ）に関して記憶されている値又は値領域からの偏差が監視される。
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【課題】出力データの精度評価を、理論的で、簡単な計算で行え、計算量が少なく、収束計算を行う必要が無く、データ処理を行う多くのソフトウェアに適用可能であり、誤差の要因の分析、要因毎の大きさの比較等の多くの解析が可能となるようにする。
【解決手段】データ処理を入力データによって数値微分することで、データ処理のヤコビ行列Ｊを求める手順（ステップ１１０）と、入力データの持つ誤差の分散共分散を推定して、入力データの誤差行列Ｄを求める手順（ステップ１２０）と、前記ヤコビ行列Ｊ及び入力データの誤差行列Ｄより、出力データの持つ誤差の分散共分散を表す誤差行列Ｒを計算する手順（ステップ１３０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度でワークを加工できる非真円形穴加工方法を提供すること。
【解決手段】非真円形穴加工方法は、シリンダブロックに既に形成された断面非真円形状のボアと同一形状のボアを、シリンダブロックに形成する。すなわち、既に形成されたボア軸線上に複数の測定点を設定し、これら複数の測定点それぞれでのボアの内径形状を測定して、内径形状データとして取得する内径形状データ取得工程と、内径形状データを周波数解析し、０次からｎ次（ｎは自然数）までの周波数成分の振幅値および位相値を分析内径形状パラメータとして算出する分析内径形状パラメータ算出工程と、前記内径形状パラメータを、加工装置の電子記憶媒体に記憶させる分析内径形状パラメータ記憶工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ドライビングシミュレーションにおいて、操舵円滑度指標をしきい値と比較し、円滑度の低い受験者に対して警告を発することで年齢による運転技術の低下を自覚させる。
【解決手段】本発明の運転年齢計測システムは、操舵角センサ３の操舵角信号を時間微分して角速度データを得、曲り角の入点から出点までの期間内に属する角速度データ群をフーリエ変換し、かつ、変換値を２乗して周波数軸上のエネルギ分布を算出し、このエネルギ分布から操舵円滑度指標Ｒを求め、安全運転指標しきい値と比較し、当該操舵円滑度指標が安全運転指標しきい値を超えるときに警告出力することで、ドライビングシミュレーションによって特に高齢ドライバに顕著な指標としての曲り角での操舵にぎこちなさが現われることを警告し、運転年齢の衰えを自覚させる。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状測定中に発生する触針子の接触異常を迅速かつ的確に検知することができる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】触針子２を被検物１３に接触させた状態で相対的に水平走査させて、前記被検物１３の表面形状を測定する表面形状測定装置１であって、所定時間内の前記触針子２の変位量の変動に相当する周波数を求める演算部と、前記周波数の相対的時間変化量に基づいて、前記触針子２と前記被検物１３の接触状態を判定する判定部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定された凹凸のデータをフーリエ変換して得られるパワースペクトルのグラフを、低波数側と高波数側の境界を設定することなく近似して評価することができる方法を提供する。
【解決手段】 測定された凹凸のデータをフーリエ変換して得られるパワースペクトルのグラフを、式（１）により近似し、

Ｐ＝Ｂ×（Ａ^1/(1+f/fc) ） （１）

（Ｐは波数頻度、ｆは波数、Ａ、Ｂ、ｆｃはそれぞれ定数を表す。）
式（１）の係数の値を求めることを特徴とする微細な凹凸の評価方法。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体用基体等の画像形成装置用部品の表面粗さの測定において、測定対象面の局所的な変化や変異を感度良くかつ正確に把握可能にする。
【解決手段】電子写真感光体用基体等の画像形成装置用部品の表面の状態について、ＪＩＳ Ｂ０６０１に定める断面曲線が求められ、その断面曲線上の等間隔位置における表面粗さ方向の位置データー列のウェーブレット変換等の多重解像度解析が行われ、その結果に基づいて表面粗さの状態が評価される。 （もっと読む）

【課題】高次の次数ｋを考えた場合でも、正しく計算できない次数ｋが出てくるということがなく、回転体の形状ｒ（θ）、ひいては回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を正しく求めることができる回転体測定装置２０および方法を提供する。
【解決手段】４本以上の検出器を用いて、（２２）式および（２３）式の分母にくる倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等が均一になる検出器の角度配置を複数組選択する。（２２）式および（２３）式の分母が０となる部分は複数組の間で補完しあうように倍率Ｈ_１ｋ、Ｈ_２ｋ（結果的に倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等）を選択する。この補完しあう倍率係数α_１ｋ、β_１ｋ等（結果的にＡ_ａｋ、Ｂ_ａｋ）を用いて形状ｒ（θ）と回転振れ量ｘ（θ）、ｙ（θ）を求める。 （もっと読む）

【課題】 圧延設備等の駆動軸の損傷を診断するに際して、変位センサから出力された生波形から駆動軸のクロスの剥離および摩耗の両方ともの判別を可能とした駆動軸損傷診断装置を提供する。
【解決手段】 変位センサの出力から駆動軸の損傷状態を検出する処理手段は、変位センサの出力波形に対して移動平均によるスムージングを行うスムージング手段と、スムージングされた変位センサの出力波形をＦＦＴ変換するＦＦＴ変換手段と、ＦＦＴ変換で得られたスペクトルから回転同期成分を除去して逆ＦＦＴにより時間軸波形に変換する逆ＦＦＴ変換手段と、逆ＦＦＴ変換で得られた波形の平均値から摩耗状態を判定する摩耗判定手段と、逆ＦＦＴ変換で得られた波形の振幅から剥離状態を判定する剥離判定手段とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】差分法で測定された走行路面データから、ある基準弦に対する走行路面の絶対形状及びその補修量を算出する車両走行路実形状の算出方法およびその車両走行路の補修量算出方法を提供する。
【解決手段】車両走行路実形状の算出方法において、差分法により、連続的に測定された車両の走行路形状データを得て、前記車両の走行路形状データを任意の弦と車両走行路との離れの値に変換し、さらに前記弦を基準とする車両走行路実形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】
３個の変位計間の相対角度が正確であるかどうかを評価することができ、回転軸の回転ムラを補正することができ、変位計の中心位置が回転軸上の同じ測定部位を指しているかどうかを評価することができ、ひいては３点法の特性を有効にかつ容易に活用して回転軸の回転精度を測定することができる回転精度測定方法を提供する
【解決手段】
それぞれの中心位置が回転する測定対象物の外周面上の同一回転軌跡上にあるように配置した３個の非接触型の変位計のプローブによって前記測定対象物の回転運動を測定し、前記測定対象物の回転精度成分と前記測定対象物の形状成分とを含む前記変位計の出力信号を処理して前記形状成分を分離して前記測定対象物の回転精度を測定する方法であって、前記処理の前に前記変位計の出力信号における前記回転の回転速度のムラを補正する （もっと読む）

【課題】 正確なエネルギー散逸像を得ることのできる原子間力顕微鏡及び原子間力顕微鏡を用いたエネルギー散逸像の形成方法を提供すること。
【解決手段】 原子間力顕微鏡は、試料２１と接触するための探針２０を有するカンチレバー１と、カンチレバー１に振動を加えるための加振手段と、設定された振幅設定値に基づいて加振手段を制御するための加振制御手段と、カンチレバー１の振動の振幅を検出する振幅検出手段１７と、カンチレバー１の振動に基づくエネルギーの散逸像を形成する像作成手段１９とを具備し、当該振幅設定値と振幅検出手段により検出された振幅検出値との差異に基づく差異情報を加振手段にフィードバックすることにより、カンチレバー１が共振状態となるように加振手段がカンチレバー１を振動させるとともに、当該差異情報に基づいて像作成手段１９がエネルギーの散逸像を形成する。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ加硫成形装置のプレスで型閉しめされた実際の稼働状態における金型内周面の真円度を測定できる装置を提供する。
【解決手段】 タイヤ加硫成形装置１０のプレス１１、１２で型閉じされるコンテナ１３内に、割り金型の上部サイドプレート１４、下部サイドプレート１５、トレッドセグメント１６が組み込まれ、該割り金型に囲まれた内部空間の中央部に、環状に整列されたトレッドセグメント１６からなる金型内周面の真円度測定装置２０がセットされ、真円度測定装置２０は、下端開口の筒状本体２１と、該筒状本体２１の下端外周面より突出して下部サイドプレート１５の中央開口周縁の嵌合部１５ａに嵌合保持される取付部２２と、筒状本体２１の空洞に装備される駆動手段２５と、該駆動手段２５により筒状本体２１の外周面に沿って回転移動される非接触変位測定器２６を備えている。
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【課題】半導体ウエーハ表面のマイクロラフネス（表面粗さ）を正確に評価する半導体ウエーハの評価方法及び評価装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハの表面形状を少なくとも異なる２つの測定条件で測定し、該測定した各表面形状のデータをパワースペクトルにそれぞれ変換し、該各パワースペクトルに現れるピークのうちピーク空間周波数が一致しないものをノイズ成分と判別し、該判別したノイズ成分を前記パワースペクトルの少なくとも一方から除去してから評価を行なう半導体ウエーハの評価方法及び少なくとも、表面形状測定手段と、パワースペクトル変換手段と、ノイズ成分判別除去手段とを具備する半導体ウエーハの評価装置。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハの製造時における研磨や洗浄を効果的に行なうために半導体ウエーハ表面のマイクロラフネスを定量的に評価する半導体ウエーハの評価方法及び前記評価方法を用いた半導体ウエーハの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハの評価方法であって、少なくとも、半導体ウエーハの表面形状を測定し、該測定したウエーハの表面形状をパワースペクトルに変換し、該パワースペクトルにおいて、空間波長１μｍでのパワースペクトル密度及び／又は空間波長０．１μｍでのパワースペクトル密度を求め、該求めたパワースペクトル密度によって前記半導体ウエーハ表面のマイクロラフネスを評価することを特徴とする半導体ウエーハの評価方法及び前記方法により前記ウエーハ表面のマイクロラフネスを評価し、該評価結果に応じて、研磨条件及び／又は洗浄条件を調整することを特徴とする半導体ウエーハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエーハの製造時における研磨や洗浄を効果的に行なうために半導体ウエーハ表面のマイクロラフネスを短時間で簡易的に評価する半導体ウエーハの評価方法及び前記評価方法を用いた半導体ウエーハの製造方法を提供する。
【解決手段】予め半導体ウエーハ表面の垂直照射・高角度受光のヘイズ値及び／又は斜角照射・低角度受光のヘイズ値を測定すると共に、該ウエーハの表面形状を測定し、該測定したウエーハの表面形状のデータをパワースペクトルに変換し、該パワースペクトルにおいて、空間波長１μｍでのパワースペクトル密度と垂直照射・高角度受光ヘイズ値との相関関係及び／又は空間波長０．１μｍでのパワースペクトル密度と斜角照射・低角度受光ヘイズ値との相関関係を求めておく半導体ウエーハの評価方法、及び前記方法によりウエーハの表面形状を評価し、該評価結果に応じて研磨条件及び／又は洗浄条件を調整する半導体ウエーハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】波長が混在した塗膜に対して、需要者の嗜好性に原点を置いた新規で簡便な塗膜外観の評価方法を見出し、その評価方法により需要者満足度の高い塗装レベルとは何かを明らかにし、更に、需要者満足度の高い塗装を有する塗装物品、塗装物品の製造方法、塗膜外観の評価装置を提供する。
【解決手段】塗膜の表面うねりのうち、波長１ｍｍ〜１０ｍｍのうねりの振幅の大きさを選択的に測定し、この測定結果の大小によって前記塗膜の表面の塗膜外観を評価する塗膜外観の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 機械的な物体（7）の公称寸法上円形の表面の軌道、および、公称寸法上円形の表面からの偏差の少なくとも一つを示す装置、方法を提供する。
【解決手段】 公称寸法上円形の表面をカバーする距離データセットに基づいて偏差プロファイル（21）を生成し、各距離データセットは、回転方向で測定された、表面までの、かつ、角度に関係付けられた少なくとも３つの距離を含み、該少なくとも３つの距離は、距離測定角度で測定されたものであり、かつ、距離測定角度に関係付けられた重みを含んでいる。本発明は、表面／機械的な物体の品質を示すのに、あるいは、製造機器の状態を示すのに使用できる。本発明はまた、方法を含むコンピュータプログラム製品、コンピュータプログラム製品を含むキャリヤ、距離データを含む記憶手段、および装置への入力として使用される距離データセットを測定するための装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ表面の凹凸やパターン段差が大きかった場合でもステージが十分に追従できるようなステージ制御を実現する。
【解決手段】基板を載置して移動可能なステージを制御するステージ制御装置は、基板の表面の凹凸形状に対応する基板面位置情報に基づいてステージの鉛直方向に関する目標値を生成し、生成された目標値とステージの計測位置との偏差信号に基づいて該ステージの駆動指令信号を生成する。ここで、基板の表面の凹凸形状が有する空間周波数に基づいて目標周波数が決定され、駆動指令信号の生成には、上記偏差信号の目標周波数の成分を増幅して得られた信号が用いられる。 （もっと読む）