【課題】角度２点法プローブのゼロ点校正を角度２点法の環境に対するロバスト性を維持しながら、迅速に、精度よく、かつ簡便に実現できる校正装置及び真直形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正対象となる２つの角度センサＳＳ１〜ＳＳ２を円板ＣＰ１〜ＣＰ２に対して相対的に固定し、回転角θ＝０度において２つの多面鏡ＣＰ１〜ＣＰ２の傾斜角を、各角度センサセンサＳＳ１〜ＳＳ２を用いて測定して第１の測定値を求め、且つ回転角θ＝１８０度において２つの多面鏡ＣＰ１〜ＣＰ２の傾斜角を、角度センサセンサＳＳ１〜ＳＳ２を用いて測定して第２の測定値を求め、第１の測定値と第２の測定値とに基づいて、前記角度センサのゼロ点誤差を校正できる （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置・姿勢を直接測定して、精度の高い位置・姿勢の測定及び制御を可能にするとともに、測定対象物の位置・姿勢を非接触で測定することでモデル化を簡略にし、モデル化に起因した誤差を小さくすることを可能にした非接触型位置・姿勢測定方法及び非接触型位置・姿勢測定装置並びにこれを備えた半導体実装装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１０の位置検出器１５と距離計１６、１７が取り付けられた測定装置２と、測定対象物９に取り付けられたエンコーダ１０のスケール１１とを備えてなる非接触型位置・姿勢測定装置Ｂを用い、距離計１６、１７によって位置検出器１５とスケール１１の間隔及び平行度を測定し、間隔と平行度が一定となるように測定装置２のマニピュレータ１３を制御し、測定装置２の位置情報と距離計１６、１７の計測値とエンコーダ１０の計測値とを用いて測定対象物９の位置と姿勢を測定する。 （もっと読む）

【課題】水準器やオートコリメータの特性を十分に生かすために静止状態で用いて、基準定規を反転の代わりに走査方向にシフトすることで、改良型反転法と同様の効果を上げ、センサを多くて2本、少なければ一本で測定システムを構成することで3点法のようなセンサのドリフト特性の不整の影響を受けにくい測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面の形状を間隔D毎に測定してその差分を得るために、比較用の補助基準を測定走査方向に間隔Dだけシフトして、更に測定を行うことで、シフト前後の補助基準の変形の影響を最小限に抑えることができる。このシフトを使う方法では、シフト前後の補助基準の姿勢変化が測定形状の放物線誤差になるが、これを水準器やオートコリメータ等の傾きセンサで測定して、補正する手段をとるので、測定結果より放物線誤差を有効に排除できる。 （もっと読む）

【課題】各種装置におけるステージなどが有する平面の平坦度を、容易かつ高精度に測定する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】板状部材２をステージ１の載置面１０の第１位置ＰＯＳ１に載置したときと、第２位置ＰＯＳ２に載置したときとにおける、板状部材２表面の高さ位置をそれぞれ測定する。次に、測定地点（Ｘ1，Ｙi）における測定結果Ｄ１（＝Ａ(i)＋Ｂ(i)）と、測定地点（Ｘ1，Ｙi-1）における測定結果Ｄ２（＝Ａ(i)＋Ｂ(i-1)）の差分をとることによって、板状部材２の厚み成分を相殺し、測定地点（Ｘ1，Ｙi）および（Ｘ1，Ｙi-1）間の載置面１０の高さの変化量（＝Ｂ(i)−Ｂ(i-1)）を算出する。そして、これらの差分演算処理結果を累積加算することによって、各位置における載置面１０の基準高さ位置からの変位量を算出できる。 （もっと読む）

【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの試験を素早くかつ完全に実施可能にする、タイヤを試験するための試験配置並びに装置及び方法を提供する。
【解決手段】２つの側壁１１、１３およびトレッド部分１５を有するタイヤ１０を特に干渉測定法によって試験するための装置１である。この装置には、タイヤ１０がスキャンされて測定結果を生成するための測定ユニット２０と、測定ユニット２０のための位置決め手段３０とが設けられている。測定ユニット２０は、少なくとも３つの測定ヘッド２１、２２、２３を有している。第１測定ヘッド２１および第２測定ヘッド２２は、側壁１１、１３の外側面１２をスキャンするのに用いられ、第３測定ヘッド２３は、少なくともトレッド部分１５の内側面１４をスキャンするのに用いられる。この装置１によって、タイヤ１０は迅速にかつ十分に試験され得る。 （もっと読む）

【課題】ユーザの使い勝手を向上させることができる測定方法、測定装置、測定プログラムおよび測定プログラム生成プログラムを提供する。
【解決手段】予め設定された測定プログラムに基づき、少なくとも測定前に入力された測定要件に沿って被測定物の寸法や形状を測定する測定方法。測定要件の入力指示を行うとともに、この入力指示に基づいて入力された測定要件を要件記憶手段７１に記憶させる要件処理工程と、要件記憶手段に記憶された測定要件を読み出し、この測定要件に沿って測定を実行する測定処理工程と、測定プログラムまたは測定プログラム起動時に入力されたモード情報から、準備モードおよび測定モードのいずれかのモードに決定するモード決定工程とを備える。モード決定工程によって準備モードに決定された場合には要件処理工程を実行し、測定モードに決定された場合には測定処理工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】測定条件を簡易に変更できるようにすることにより、最適な測定条件で測定を行え、ひいては、測定精度の向上が可能な測定方法、パートプログラム、パートプログラム生成プログラムを提供する。
【解決手段】被測定物データおよび予め設定された測定条件を参照しながら、予め設定された測定手順に基づいて、被測定物の寸法や形状を測定する測定方法。被測定物データおよび測定条件に従って測定を実行する測定工程と、この測定工程において、測定開始時から測定終了時までの任意の時点において、前記測定条件を表示する測定条件表示工程と、この測定条件表示工程によって前記測定条件が表示された状態において、前記測定条件の変更があった際、変更された測定条件に書き換えたのち、前記測定工程を継続する測定条件書換工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来における不都合を低減もしくは完全に回避できる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１回の測定を行うために、工作機械におけるスピンドルの移動によって、測定器（３）をスピンドルマウントとは異なる工作機械上の測定位置に一時的に配置させる。 （もっと読む）

【課題】長さが長い水圧鉄管の厚み測定に適しており、その厚み測定を経済的かつ安全に行うことが可能な水圧鉄管の厚み測定装置及びその厚み測定方法を提供する。
【解決手段】水圧鉄管１１の内面１２に吸着する複数の車輪１３及び走行距離計１８を備えた台車１４と、水圧鉄管１１の塗膜厚み及び総厚みの測定に使用する各センサー２２、２３を備える計装部１９とを有し、計装部１９は台車１４と分離可能になって、計装部１９には更に、台車１４の前方、後方、及び各センサー２２、２３を撮像するカメラ２７、２８、３２と、水圧鉄管１１の清掃手段２１と、台車１４の傾きを検知する角度センサーと、計装部１９の送電及び信号通信を行うケーブル３１と、その巻取手段４２が設けられている。その測定方法は、上流側から下流側へかけて下方へ傾斜又は垂直に配置された水圧鉄管１１の上流側に厚み測定装置１０を配置した後、下流側へ向けて走行させる。 （もっと読む）

【課題】各軸リニアリティと直角度の補正係数を、少ない測定回数で一括推定することを可能にする。
【解決手段】三軸ＸＹＺで規定される直方体の対角４方向及び三軸方向の計７方向について長さが既知である長さ基準器を用いた長さ測定を行って測定値データＭを取得する（Ｓ１）。測定データＭから各方向についての誤差εを求める（Ｓ２）。求められた各方向についての誤差から最小二乗法により各軸のリニアリティおよび各軸間の直角度の補正係数を一括推定する（Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】 組立て誤差、作動誤差の影響を最小限とする測定部の支持機構およびそれを備えた薄板の表面形状測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 基台１１０の両端に立設された垂直移動手段３１０に対して、水平移動手段３２０との連結支持として、片側を固定支持し、他方側を水平移動手段３２０の長手方向あるいは、長手方向と長手方向と直角方向とにフリーとした支持としたことで、離れて平行に立設する垂直移動手段３１０に組立て上の誤差があっても、その影響を受けずに水平移動手段３２０を作動させることができ、組立て上の誤差等が測定結果に悪影響を与えることを抑制できる。 （もっと読む）