説明

Fターム[2F078CA08]の内容

器械の細部 (1,105) | 装置 (273) | X−Yテーブル、載置台 (170)

Fターム[2F078CA08]に分類される特許

1 - 20 / 170


【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、XY方向、ヨー回転方向の3自由度に関する長ストローク駆動、およびZ/ピッチ/ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ1に接触するベース2の表面近傍に、ベース2の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ3をXY方向にアレイ状に複数配置し、更にベース2の表面から深いところに、第一層目のヒータ3の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ4をXY方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ4が、第一層目のヒータ3による熱変形突出部をXY方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ1をXYθ方向に駆動する。 (もっと読む)


【課題】X軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるXYステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル20を互いに直交する2方向に移動させるXYステージ機構であって、前記2方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた2つのラックギア30と、2つのラックギアの間に前記2方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材40と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア52,53を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材50とを備えた。 (もっと読む)


【課題】移動部材を予め定められた方向に精度よく移動させることが可能な直進駆動装置およびそれを備えた拡大観察装置を提供する。
【解決手段】x方向駆動機構510の可動部517は、連結板53を介してガイド部531上の摺動部材541,543に連結される。載置板51は、ガイド部531上の摺動部材542およびガイド部532上の摺動部材544,545に固定され、ガイド部531上の摺動部材541,543に固定されない。摺動部材541〜545は、ガイド部531,532に沿ってx方向に摺動可能に設けられる。連結板53の固定部53cに設けられた突起部53xが、載置板51の下面に固定された金属板の貫通孔内に挿入される。 (もっと読む)


【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置1を、1個の正・逆回転可能なモータ100と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ600を保持するX軸方向キャリッジ400X及びX軸方向キャリッジ400Xと、モータ100の回転力をX軸方向キャリッジ400XをX軸方向に移動させる経路に伝達するか、Y軸方向キャリッジ400YをY軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ600の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ100の回転軸の回転運動をX軸方向キャリッジ400Xの直線往復運動又はY軸方向キャリッジ400Yの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、X軸方向キャリッジ案内手段及びY軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ600の移動目標に応じてモータ100の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 (もっと読む)


【課題】直動2軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第1の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第1のレールと、前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第2のレールと、前記一対の第1のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第1のレール間を連結する第1の連結ユニットと、前記一対の第2のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第2のレール間を連結する第2の連結ユニットとからなる平行ずれ吸収機構を備え、各方向における直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 (もっと読む)


【課題】直動2軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第1の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第1のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第1のスライドブロックと、前記第1のレールと前記第1のスライドブロックを相対的に移動させる第1の送り機構と、前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第2のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第2のスライドブロックと、前記第2のレールと前記第2のスライドブロックを相対的に移動させる第2の送り機構と、前記第1の送り機構及び前記第2の送り機構に対して取り付けた振れ取り機構とを備え、前記第1の位置決め手段及び前記第2の位置決め手段の各直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 (もっと読む)


【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台11に設けられたレール12の上にそれぞれ摺動可能に立設された第1のスライド部材21と第2のスライド部材22、但し、第1のスライド部材には、レールとの係合により第1のスライド部材を一時的に固定することのできる第1の仮固定機構31が設けられており、また第2のスライド部材には、斜面22cが設けられている;第1のスライド部材の側面21bと第2のスライド部材の斜面22cとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材23、但し、対象物支持部材23には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第2の仮固定機構32が設けられている;そして、第2のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材41を含む位置決め装置。 (もっと読む)


【課題】信頼性を損なうことなく薄型化を達成可能なステージ装置を提案すること。
【解決手段】XYステージ装置1は、板金製のベース板2の上にX軸方向にスライドする板金製のX軸ステージ板3が搭載され、この上にY軸方向にスライドするY軸ステージ板4が搭載された構造となっている。金属製の薄板材料を用いて精密板金加工により薄型のX軸ステージ板3、Y軸ステージ板4を製造し、その周囲四辺の部分を裏面側および表面側に2回曲げることで、板金製のX軸ステージ板3、Y軸ステージ板4に強度および精度をもたせるようにしている。信頼性を損なうことなく、板金製の部品を用いてXYステージ装置の薄型化を達成できる。 (もっと読む)


【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークWを支持するワークテーブル25と、ワークテーブル25の移動を案内する第1ガイド部81と、第1ガイド部81につなぎ合わされており、ワークテーブル25の移動経路を延長する第2ガイド部82と、つなぎ合わされた第1ガイド部81と第2ガイド部82との間の精度を監視する監視装置87と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 (もっと読む)


【課題】簡易な駆動手段にすることで操作性が良くコンパクトな構造が可能となるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】スライド操作式アリ溝摺動ステージ1は、摺動方向(X)と略平行な固定部品3の側面壁に設けられ、固定部品3に連結する逆三角形の突出部10をネジ6で当接して摺動部品2のアリ5に接触させ、ネジ6を締め込むことで摺動部品2の摺動を固定する摺動固定ネジ6を備え、摺動固定ネジ6は、前記突出部10に当接して摺動部品2のアリ5に接触させたネジ6の回転量を調節することで固定部品3に対する摺動部品2の摺動の程度を微調整する摺動調節ネジ、及び、操作者が摺動部品2を所望の位置にスライド操作するために把持する駆動手段、として兼用される。 (もっと読む)


【課題】真空容器内に設置する駆動用モータ、潤滑油や樹脂製ベルトなどから発生するアウトガスによって真空度が悪化するため分析精度が低下する。またピニオンとラック間のバックラッシュによって位置決め精度が悪化し、ピニオンやベルトの使用によりテーブル移動の分解能が低下する。
【解決手段】Y軸方向に移動可能なスプライン軸受14を使用することにより、Yモータ2とともにXモータ7を真空容器30の外に設置することができる。また、直交する2軸間のトルクおよび回転運動の伝達機構として、ラック&ピニオンの代わりに、非接触でバックラッシュのない磁気カップリング24を使用することにより、位置決め精度が改良される。さらにラック&ピニオンやベルトに代えてX送りねじ10を使用することにより分解能が改善される。 (もっと読む)


【課題】送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、摺動部品の任意の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供する。
【解決手段】ハンドル4の回転操作部6と、環状のクランプ部材9と、クランプ部材9の内側の雌ネジ孔12aと係合する雄ネジ部11と、第1第1ブロック5aに係止して雄ネジ棒7のハンドル方向への移動を拘束する係止部13とを備え、クランプ部材9の雌ネジ孔12aが雄ネジ部11から離間するようにハンドル4の回転操作部6を回転させ、クランプ部材9を第1第1ブロック5aに圧着させて雄ネジ棒7の回転を拘束し、摺動部品2を固定部品3に対して任意の位置で固定させる。 (もっと読む)


【課題】テーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台11の上にテーブル板13を複数の支持ユニット21を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット21が、基台に固定された中央に開口22aを備える固定支持板22と、固定支持板の上面に複数の球体27が保持された中央に開口23aを備える球体保持板23を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口22aの内部に延びる滑動制限軸28を持つ滑動支持板25とを含み、そして上記開口22a、23aが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線13cに沿うように配設され、そして上記開口22aの領域内に球体27が移動しないよう、球体保持板23と固定支持板22とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段33が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。 (もっと読む)


【課題】重心位置が低く、高剛性のステージ装置を提供する。
【解決手段】
第一の可動部材13を一の平面内で所望の方向に移動させることができるように構成されたステージ装置10であって、第一の可動部材13に設けられた第二の駆動部と、第二の駆動部に設けられた第二の可動部材15とを有し、第二の駆動部は、第一の動力伝達部32と、第一の動力伝達部32を移動させることができる動力部31と、第一の動力伝達部32の移動に伴って前記一の平面に対して垂直な方向に移動する第二の動力伝達部33とを有し、第一の駆動部と動力部31は、台座11と第一の可動部材13との間に配置され、動力部31は第一の可動部材13に固定され、第二の動力伝達部33は第二の可動部材15に固定され、動力部31は第一、第二の動力伝達部32、33を介して第二の可動部材15を前記一の平面に対して垂直な方向に移動させることができる。 (もっと読む)


【課題】雌ネジ筒と雄ネジ棒とが係合する摺動機構にこじれや応力集中が発生することなく、摺動部品を固定部品に対して高精度に摺動させ、ハンドルの使い勝手の良い送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】送りネジ式アリ溝ステージ1は、連結されたハンドル4の心棒17及び雄ネジ棒7は、固定部品3の端部に固定されたブロック5を貫通することにより回転自在に支持される第1支持手段18と、雌ネジ筒8に取り付けられた凸部11が、摺動部品2の雌ネジ筒8側において凸部11に対向する位置に設けられた凹部12に対して凸部11と凹部12との間隙に緩衝材16が充填されて着脱自在の状態で収納される第2支持手段19と、により支持されて動作する。 (もっと読む)


【課題】カスタマイズ性を高め、且つ安定してシャフトモータを冷却することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置1Aは、X軸移動体6と、Y軸移動体4と、X軸固定子51及びX軸可動子52を有しX軸移動体6を駆動するためのX軸シャフトモータ5と、Y軸固定子31及びY軸可動子32を有しY軸移動体4を駆動するためのY軸シャフトモータ3と、X軸可動子52及びY軸可動子32における外周面の一又は複数の領域に対して選択的に着脱可能な冷却ジャケット8A,9Aと、チューブtとを備えている。これにより、周囲に配置された部品が干渉しない領域に選択的に冷却ジャケット8A,9Aを着脱することができる。さらに、X軸シャフトモータ5及びY軸シャフトモータ3の発熱量に合わせて冷却ジャケット8A,9Aを取り付ける領域を適宜選択し、冷却量を調整することができる。 (もっと読む)


【課題】安定してY軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置1Aは、X軸移動体6と、X軸固定子51、及びX軸可動子52を有するX軸シャフトモータ5と、Y軸移動体4と、Y軸固定子、及びY軸可動子を有するY軸シャフトモータ3とを備え、X軸固定子51の一端部51aが第1Y軸移動体4aに固定され、X軸固定子51の他端部51bが第2Y軸移動体4bにX軸固定子51のX軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、X軸移動体6の駆動に伴いX軸固定子51が熱膨張した場合に、X軸固定子51の伸長が他端部51b側で解放される。 (もっと読む)


【課題】載物台の粗動および微動の切換時に測定対象物が位置ずれを起こすことがなく、載物台の移動が滑らかな載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】載物台および固定部材のいずれか一方に回転可能かつ載物台の移動方向に対して平行に支持された送り軸21と、この送り軸21を回転させる微動送りハンドルと、載物台および固定部材のいずれか他方に回転可能かつ送り軸21と回転軸線が交差するように設けられた複数のころ74とを有する摩擦移動機構と、ころ74を送り軸21に対して当接および離脱させる切換手段を設けた。 (もっと読む)


【課題】ステージの送り方式(微動⇔粗動)を切り換えるときの操作性を向上させたステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置1は、移動機構30が運動変換機構を用いて送り軸15の回転を受けて送り軸15上を移動する微動状態と、移動機構30の運動変換機能を解除して移動機構30が送り軸15の回転によらず送り軸15上を自由に移動する粗動状態とを切り換える切換機構50を備え、切換機構50は、外部から作用させた送り軸15に沿った方向の力を用いて微動状態と粗動状態とを切り換えるように構成される。 (もっと読む)


【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台11の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板13を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板22と、その上下の各表面に複数個の球体23を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板24及び下側可動板と、複数個の球体23を保持する球体保持板47とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット21、および基台に固定された支持板42と、支持板の上面に複数個の球体43を介して接触配置された可動板44と、複数個の球体43を保持する球体保持板47と、球体保持板の移動距離を制限する手段48とを有する、主支持ユニット21の周囲に配置された複数個の副支持ユニット41からなる滑動テーブル。 (もっと読む)


1 - 20 / 170