【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】位置決め機構により二次元平面内で位置決めされる位置決め対象物の、装置内での可動範囲を拡張できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】墨出し装置１０（位置決め装置）は、スタンプ部１４（位置決め対象物）をｘ´−ｙ´平面（二次元平面）内で位置決めするｘ−ｙ調整機構３０と、ｘ−ｙ調整機構３０を、ｘ´−ｙ´平面と直交する回転支軸４２の周りに回転させる回転角調整機構４０と、を備えることを特徴とする。この墨出し装置１０において、回転支軸４２は、ｘ´−ｙ´平面の中心からずれて配されている。 （もっと読む）

【課題】ステージを移動面に沿って移動させる。
【解決手段】移動面を移動するステージに対して用力を供給する用力供給装置（１５５）が、第１軸部（２３２）、第１支持部（２３４，２３５）、第２軸部（２３８）及び第２支持部（２３９）を備え、第１軸部は第１支持部により第１軸の方向及び第１軸回りに移動可能に支持され、第２軸部は第２支持部により第２軸の方向及び第２軸回りに移動可能に支持されている。このように用力供給装置を少なくとも４自由度を有する機構とすることにより、ステージが２次元面内で、第１、第２軸方向、及び各軸回りの回転方向に移動しても、用力供給装置がその移動の妨げとなることがないので、流体の供給にチューブなどの配管を用いる場合と比較して、チューブを引きずることによるステージの位置制御性の低下を完全に回避することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、両端部にハンドル８との連結部を有する雄ネジ棒７と、固定部品２の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒７を回転自在に保持する第１支持台９及び第２支持台１０と、連結部を介して雄ネジ棒７と着脱自在に連結して雄ネジ棒７を回転させるハンドル８と、を備え、摺動部品３は、固定部品２と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。 （もっと読む）

【課題】プラテン上を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージにおいて、光軸調整に高い精度が要求される反射型センサを用いることなく、スライダの接触・衝突を防止できるようにする。
【解決手段】プラテン上の平面を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージであって、スライダに、他物体が前記平面上の所定の基準距離内に存在していることを検出する超音波センサが配置され、超音波センサが、基準距離内に他物体が存在していることを検出すると、超音波センサが配置されているスライダの移動を停止させる制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】小さな倣い力で高精度の倣いを実現できる倣い機構を安価に提供する。
【解決手段】この発明による倣い機構は、摺動保持部２２と摺動部２１を備えて２次元に摺動可能なスライダ機構２の下面中心から下方に突出する中空の吸排気部３を設け、この吸排気部３に吸着した倣い対象物７を倣い基準物１０に押し当て、倣い対象物７と倣い基準物１０の接点Ｃ１と、吸排気部３と倣い対象物７の接点が共に摺動しないように吸排気部３の吸排気エアの流量を制御して倣い対象物７を倣い基準物１０に倣わせるものである。 （もっと読む）

【課題】直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供する。
【解決手段】手動ステージ２００のベース板２０６を支持する支持板５と、球状の球体８とを有する屈析部２と、球体８を側方から屈析自在に保持する球体保持部９と、球体８と共に回転する回転板とを有する回転部３と、球体８を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛２１が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部１１と、土台に固定されるベース部１５とを有する台座部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
使い勝手が良く汎用性の高い手動ステージを提供する。
【解決手段】
手動ステージ１は、摺動部品４及び固定部品５が透明な樹脂であり、着色されることも可能であり、摺動部品４に設けられるバーニア目盛１０ａ、及び固定部品５に設けられるバーニア目盛１０ｂは、摺動部品４及び固定部品５のそれぞれの樹脂部品の側面に直接印字され、摺動部品４と固定部品５との側面に印字されるバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字は、裏面から読み取れるように裏返しに印字され、操作者は、透明な摺動部品４及び固定部品５を通してバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字を読取る。 （もっと読む）

【課題】浮揚手段から噴出される空気が、スライダ部上方のセンサに悪影響を及ぼすことを抑制し、装置全体の性能低下を低減する。
【解決手段】この位置決め装置には、対象物が載置されるスライダ部と、スライダ部を水平移動させるためのプラテンと、スライダ部をプラテンから浮揚させる浮揚手段と、浮揚手段により浮揚したスライダ部を水平移動させる平面モータと、浮揚手段に空気を供給する空気供給部と、空気供給部から供給された空気を冷却する冷却部と、浮揚手段から噴出された空気の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出結果に基づき冷却部を制御する温度制御部とを備えている。温度制御部は、浮揚手段から噴出する空気の温度が、温度センサの検出結果よりも低くなるように、冷却部を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板テーブルと、この基板テーブルに対して基板を装荷および除荷するために移動可能であるエジェクタ素子との間の、リソグラフィ装置における基板の最適テイクオーバー高さを較正するための較正方法を提供する。
【解決手段】基板テーブルおよびエジェクタ素子のうちの１つの上に基板をクランプすること、基板が基板テーブルによって支持される除荷状態と、基板がエジェクタ素子によって少なくとも部分的に支持される装荷状態との間で、エジェクタ素子を移動すること、基板テーブルとエジェクタ素子との間で基板の重さが少なくとも部分的にテイクオーバーされる瞬間のエジェクタ素子の基準高さを求めること、求めた基準高さからエジェクタ素子についての最適テイクオーバー高さを求めることを含む方法。 （もっと読む）

【課題】操作性及びデザイン性を向上させると共に、超音波モータ駆動時に発生する磨耗粉による変位センサの誤作動を防止する。
【解決手段】超音波電動ステージは、ベース部１と、Ｙテーブル２と、Ｘテーブル３と、Ｙテーブル２を駆動するリニア式超音波モータ６と、Ｙテーブル２の移動量を検出する光学式リニアセンサ７と、Ｘテーブル３を駆動するリニア式超音波モータ４と、Ｘテーブル３の移動量を検出する光学式リニアセンサ５とを備える。ここで、リニア式超音波モータ６、光学式リニアセンサ７、リニア式超音波モータ４、及び光学式リニアセンサ５は、Ｘテーブル３の上面よりも上方に迫り出すことなく、当該超音波電動ステージの前面以外の位置であって、且つ、リニア式超音波モータ６及び又は４の駆動時に発生する磨耗粉が光学式リニアセンサ７及び５に悪影響を及ぼさない位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２のスライダ１の進行方向側に隣接して配置されたレゾルバ２ａ，２ｂと、
このレゾルバ２ａ，２ｂの出力に基づいてレゾルバ２の出力を補正する補正部と、
この補正部からの出力に基づいてスライダ１の位置を算出する位置算出部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）