【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】位置決め機構により二次元平面内で位置決めされる位置決め対象物の、装置内での可動範囲を拡張できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】墨出し装置１０（位置決め装置）は、スタンプ部１４（位置決め対象物）をｘ´−ｙ´平面（二次元平面）内で位置決めするｘ−ｙ調整機構３０と、ｘ−ｙ調整機構３０を、ｘ´−ｙ´平面と直交する回転支軸４２の周りに回転させる回転角調整機構４０と、を備えることを特徴とする。この墨出し装置１０において、回転支軸４２は、ｘ´−ｙ´平面の中心からずれて配されている。 （もっと読む）

【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置決めを高精度に実行することができる位置決め装置の設計方法、位置決め装置の製造方法、位置決め装置、及び露光装置を提供する。
【解決手段】第１方向に移動可能なＸステージ１００と、結合部により該Ｘステージ１００に結合され、該Ｘステージ１００に対して第２方向に移動可能なＹステージ２００と、Ｘステージ１００を第１方向に移動させるモータ（不図示）と、を備える位置決め装置において、モータ（不図示）がＸステージ１００を移動させる力と、第１方向における該Ｙステージ２００の位置と、の関係を表す伝達関数に基づく、剛体モードと、１次共振と、２次共振と、の関係に基づいて、位置決め装置のＸステージ１００及びＹステージ２００の少なくとも一方の作製上の諸元が定められる。 （もっと読む）

【課題】ステージを移動面に沿って移動させる。
【解決手段】移動面を移動するステージに対して用力を供給する用力供給装置（１５５）が、第１軸部（２３２）、第１支持部（２３４，２３５）、第２軸部（２３８）及び第２支持部（２３９）を備え、第１軸部は第１支持部により第１軸の方向及び第１軸回りに移動可能に支持され、第２軸部は第２支持部により第２軸の方向及び第２軸回りに移動可能に支持されている。このように用力供給装置を少なくとも４自由度を有する機構とすることにより、ステージが２次元面内で、第１、第２軸方向、及び各軸回りの回転方向に移動しても、用力供給装置がその移動の妨げとなることがないので、流体の供給にチューブなどの配管を用いる場合と比較して、チューブを引きずることによるステージの位置制御性の低下を完全に回避することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プラテン上を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージにおいて、光軸調整に高い精度が要求される反射型センサを用いることなく、スライダの接触・衝突を防止できるようにする。
【解決手段】プラテン上の平面を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージであって、スライダに、他物体が前記平面上の所定の基準距離内に存在していることを検出する超音波センサが配置され、超音波センサが、基準距離内に他物体が存在していることを検出すると、超音波センサが配置されているスライダの移動を停止させる制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】浮揚手段から噴出される空気が、スライダ部上方のセンサに悪影響を及ぼすことを抑制し、装置全体の性能低下を低減する。
【解決手段】この位置決め装置には、対象物が載置されるスライダ部と、スライダ部を水平移動させるためのプラテンと、スライダ部をプラテンから浮揚させる浮揚手段と、浮揚手段により浮揚したスライダ部を水平移動させる平面モータと、浮揚手段に空気を供給する空気供給部と、空気供給部から供給された空気を冷却する冷却部と、浮揚手段から噴出された空気の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出結果に基づき冷却部を制御する温度制御部とを備えている。温度制御部は、浮揚手段から噴出する空気の温度が、温度センサの検出結果よりも低くなるように、冷却部を制御する。 （もっと読む）

【課題】操作性及びデザイン性を向上させると共に、超音波モータ駆動時に発生する磨耗粉による変位センサの誤作動を防止する。
【解決手段】超音波電動ステージは、ベース部１と、Ｙテーブル２と、Ｘテーブル３と、Ｙテーブル２を駆動するリニア式超音波モータ６と、Ｙテーブル２の移動量を検出する光学式リニアセンサ７と、Ｘテーブル３を駆動するリニア式超音波モータ４と、Ｘテーブル３の移動量を検出する光学式リニアセンサ５とを備える。ここで、リニア式超音波モータ６、光学式リニアセンサ７、リニア式超音波モータ４、及び光学式リニアセンサ５は、Ｘテーブル３の上面よりも上方に迫り出すことなく、当該超音波電動ステージの前面以外の位置であって、且つ、リニア式超音波モータ６及び又は４の駆動時に発生する磨耗粉が光学式リニアセンサ７及び５に悪影響を及ぼさない位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】可動プレートのＸＹ並進方向の可動範囲から独立してθ方向の可動範囲を制限することを可能とする位置決め装置を提供する。
【解決手段】ＸＹθステージ１は、可動プレート３に載置される半導体ウエハＷのＸＹθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート３を、ＸＹθ方向に駆動するアクチュエータ４１ｘ，４３ｘ，４１ｙ〜４４ｙと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部２０と、を備えている。前記回転制限部２０は、前記可動プレート３に対するＸ方向の並進移動とＹ方向の並進移動とが許容され、かつθ方向の回転移動が規制されるように前記可動プレート３にリンクされた円筒部材２５と、前記基台フレーム５に対して固定され、前記円筒部材２５の内壁面との間に間隙をもって円筒部材２５に挿通された丸棒部材２７と、を有している。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

ＸＹテーブルは、固定基準部分（Ｂ）と、該基準部分（Ｂ）に対して相対的に第１の方向（Ｙ）に移動可能に保持されている中間部分（Ｆ）と、該中間部分（Ｆ）に対して相対的に第２の方向（Ｘ）に移動可能に保持されている物体（Ｏ）とを含む。この場合、処理されるべき部品（Ｗ）が物体（Ｏ）又は基準部分（Ｂ）上に配置される。さらに、第１の方向（Ｙ）に対して、基準部分（Ｂ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２）と、第２の方向（Ｘ）に対して、物体（Ｏ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_３、Ｍ_４）とを含む。これにより、部品（Ｗ）又は物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の位置（Ｘｏ、Ｙｏ）が測定可能である。１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３、Ｍ_４）は、第１及び第２（Ｙ、Ｘ）の方向に広がる平面であってツール中心点（ＴＣＰ）を含む平面内へのそれらの投影が、ＸＹテーブルの全走行領域内で部品（Ｗ）の外側に存在するように配置されている。これにより、アッベ（Ａｂｂｅ）条件が満足されるので、簡単な１Ｄプラスエンコーダを用いて物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の正確な測定を可能にする。
（もっと読む）

【課題】ステージにかかる偏荷重による位置ずれを補正できるステージの昇降装置を実現する。
【解決手段】ステージをＺ軸方向に移動させる昇降機構と、位置指令値に基づいてステージをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めする位置決め部とを有するステージの昇降装置において、ステージに加わる偏荷重の大きさと、この偏荷重がステージに加わることによって生じたステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブルを格納し、この補正テーブルは補正テーブル用メモリと、荷重センサと、ステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を検出する位置センサと、位置指令値に基づいて偏荷重が加わっているステージの位置を求め、位置に応じた補正テーブルを選択し、荷重センサの検出荷重から位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、このずれ量算出手段で読み出した位置ずれ量で補正した位置指令値と、荷重による位置ずれを補正する位置制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】一の水平方向に移動可能な第１のテーブル上にて支持された第２のテーブルの振動を制振する。
【解決手段】装置１は、Ｘ方向に移動可能なＸＹ軸テーブル２と、ＸＹ軸テーブル２上にて支持部３で支持されたＺ軸テーブル４と、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４のＺ方向速度を検出する一対のスケール１０ａ，１０ｂと、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４を鉛直方向に駆動する一対のモータ１１ａ，１１ｂと、検出されたＺ方向速度に基づいてモータ１１ａ，１１ｂの駆動を制御するコントローラ１２と、を備え、スケール１０ａ，１０ｂでＺ方向速度を検出することでＺ軸テーブル４のピッチング振動挙動を求め、モータ１１ａ，１１ｂを駆動し、ピッチング振動が相殺されるようにＺ軸テーブル４をピッチング方向Ｐに回転する。 （もっと読む）