【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、ＸＹ方向、ヨー回転方向の３自由度に関する長ストローク駆動、およびＺ／ピッチ／ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ１に接触するベース２の表面近傍に、ベース２の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ３をＸＹ方向にアレイ状に複数配置し、更にベース２の表面から深いところに、第一層目のヒータ３の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ４をＸＹ方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ４が、第一層目のヒータ３による熱変形突出部をＸＹ方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ１をＸＹθ方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】位置決めしようとする部品が薄物部品であっても、位置決めしようとする部品を変形させずに正確に位置決めできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】部品Ｐを位置決めする位置決め装置１は、部品Ｐを載せる基板２と、基板上に配置される基準ゲージ３と、基準ゲージ３を部品Ｐ側に移動させる際にガイドすることで基準ゲージ３を基板２に載せた部品Ｐの側面部に直接押し当てて部品Ｐの位置決めを行う移動ガイド部４と、基準ゲージ３を移動ガイド部４に沿って移動させる駆動部５を備える。 （もっと読む）

【課題】ステージの傾斜を、対象物が載せられる当該ステージの上面での全方位位置で適宜な傾斜角に調整することを可能とし、更に、これを簡便な構造で実現する。
【解決手段】操作レバー８をステージ２の試料台２ａでの適宜な方位位置まで旋回させると、操作レバー８の旋回に伴って可動支持部材７が摺動回転する（この回転に際して台座１２も同時に回転する。）とともに、第２球面軸受４の介在により可動節１１が旋回する。しかる後、操作レバー８を適宜な方向及び量だけ回転させると可動節１１が適宜な方向及び量だけ進退し、この進退に伴って第２球面軸受４においては第２凸部４ａと第２凹部４ｂとの間で、また、第１球面軸受３においては第１凸部３ａと第１凹部３ｂとの間で相対運動が生じてステージ２が適宜な量だけ傾斜する、即ち、当該ステージ２の試料台２ａが適宜な量だけ傾斜する。 （もっと読む）

【課題】
基部に対するステージ面を上下方向とピッチ方向、ロール方向に可動可能で、他の自由度には強く拘束され、かつ、アクチュエータへの力学的な負担が少ないステージの可動機構を、簡素で安価な構造で実現する。
【解決手段】
バネ性を有する素材がもつ弾性変形が許容される方向を活かすよう，板バネまたは曲げ棒バネなどのバネ材を用い、一つの間接部を有するくの字型の支持機構３０〜３３を構成し、これを二つ以上用いてステージ１０と基部２０とを弾性接続することで課題の自由度をもたらすステージ可動機構を構成している。同時に，くの字型を形成することで支持機構が弾性変形する際には，変位増加に対する反力が一定か減少するような逆バイアス特性がもたらされることで，アクチュエータを用いた場合の動作寿命を向上させることができる。また、センサ装置と組み合わせることによって３自由度の動作検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】薄板を傷付けることなく且つ反りを生じることなくセットステージに載置することができると共に、セットステージへの固定および固定解除を瞬時に行うことができる形態測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】帯電性を有する薄板Ｗ上に形成された薄膜の形態および帯電性を有する薄板の表面の形態のいずれかを、非接触で測定する形態測定装置１において、薄板Ｗをセットするセットステージ４と、セットステージ４にセットした薄板Ｗに非接触で臨み、薄膜の形態または薄板の表面の形態を測定する測定器６と、を備え、セットステージ４には、薄板Ｗを静電吸着する静電吸着機構５が組み込まれている。 （もっと読む）