【課題】Ｘ軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるＸＹステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル２０を互いに直交する２方向に移動させるＸＹステージ機構であって、前記２方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた２つのラックギア３０と、２つのラックギアの間に前記２方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材４０と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア５２，５３を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】移動部材を予め定められた方向に精度よく移動させることが可能な直進駆動装置およびそれを備えた拡大観察装置を提供する。
【解決手段】ｘ方向駆動機構５１０の可動部５１７は、連結板５３を介してガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に連結される。載置板５１は、ガイド部５３１上の摺動部材５４２およびガイド部５３２上の摺動部材５４４，５４５に固定され、ガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に固定されない。摺動部材５４１〜５４５は、ガイド部５３１，５３２に沿ってｘ方向に摺動可能に設けられる。連結板５３の固定部５３ｃに設けられた突起部５３ｘが、載置板５１の下面に固定された金属板の貫通孔内に挿入される。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】真空容器内に設置する駆動用モータ、潤滑油や樹脂製ベルトなどから発生するアウトガスによって真空度が悪化するため分析精度が低下する。またピニオンとラック間のバックラッシュによって位置決め精度が悪化し、ピニオンやベルトの使用によりテーブル移動の分解能が低下する。
【解決手段】Ｙ軸方向に移動可能なスプライン軸受１４を使用することにより、Ｙモータ２とともにＸモータ７を真空容器３０の外に設置することができる。また、直交する２軸間のトルクおよび回転運動の伝達機構として、ラック＆ピニオンの代わりに、非接触でバックラッシュのない磁気カップリング２４を使用することにより、位置決め精度が改良される。さらにラック＆ピニオンやベルトに代えてＸ送りねじ１０を使用することにより分解能が改善される。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、摺動部品の任意の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供する。
【解決手段】ハンドル４の回転操作部６と、環状のクランプ部材９と、クランプ部材９の内側の雌ネジ孔１２ａと係合する雄ネジ部１１と、第１第１ブロック５ａに係止して雄ネジ棒７のハンドル方向への移動を拘束する係止部１３とを備え、クランプ部材９の雌ネジ孔１２ａが雄ネジ部１１から離間するようにハンドル４の回転操作部６を回転させ、クランプ部材９を第１第１ブロック５ａに圧着させて雄ネジ棒７の回転を拘束し、摺動部品２を固定部品３に対して任意の位置で固定させる。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上にテーブル板１３を複数の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット２１が、基台に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を持つ滑動支持板２５とを含み、そして上記開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記開口２２ａの領域内に球体２７が移動しないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】重心位置が低く、高剛性のステージ装置を提供する。
【解決手段】
第一の可動部材１３を一の平面内で所望の方向に移動させることができるように構成されたステージ装置１０であって、第一の可動部材１３に設けられた第二の駆動部と、第二の駆動部に設けられた第二の可動部材１５とを有し、第二の駆動部は、第一の動力伝達部３２と、第一の動力伝達部３２を移動させることができる動力部３１と、第一の動力伝達部３２の移動に伴って前記一の平面に対して垂直な方向に移動する第二の動力伝達部３３とを有し、第一の駆動部と動力部３１は、台座１１と第一の可動部材１３との間に配置され、動力部３１は第一の可動部材１３に固定され、第二の動力伝達部３３は第二の可動部材１５に固定され、動力部３１は第一、第二の動力伝達部３２、３３を介して第二の可動部材１５を前記一の平面に対して垂直な方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】カスタマイズ性を高め、且つ安定してシャフトモータを冷却することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｙ軸移動体４と、Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有しＸ軸移動体６を駆動するためのＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有しＹ軸移動体４を駆動するためのＹ軸シャフトモータ３と、Ｘ軸可動子５２及びＹ軸可動子３２における外周面の一又は複数の領域に対して選択的に着脱可能な冷却ジャケット８Ａ，９Ａと、チューブｔとを備えている。これにより、周囲に配置された部品が干渉しない領域に選択的に冷却ジャケット８Ａ，９Ａを着脱することができる。さらに、Ｘ軸シャフトモータ５及びＹ軸シャフトモータ３の発熱量に合わせて冷却ジャケット８Ａ，９Ａを取り付ける領域を適宜選択し、冷却量を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板２２と、その上下の各表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板２４及び下側可動板と、複数個の球体２３を保持する球体保持板４７とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット２１、および基台に固定された支持板４２と、支持板の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、複数個の球体４３を保持する球体保持板４７と、球体保持板の移動距離を制限する手段４８とを有する、主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個の副支持ユニット４１からなる滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】 上面に試料が載置される設置テーブルを秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０に対し、上面に試料が載置される設置テーブル２０を揺動自在に組み付ける位置決めステージであって、固定ベース体１０に、ボールネジ３１を設置テーブル２０の揺動軸に直交する方向に沿って貫通架設すると共に、ボールネジ３１に前進後退動自在且つ回動不能にナット体３４を螺合組み付けし、弾性変形自在なプレート状の連結体４０の一端をナット体３４に固定すると共に他端を設置テーブル２０に固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】位置決め機構により二次元平面内で位置決めされる位置決め対象物の、装置内での可動範囲を拡張できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】墨出し装置１０（位置決め装置）は、スタンプ部１４（位置決め対象物）をｘ´−ｙ´平面（二次元平面）内で位置決めするｘ−ｙ調整機構３０と、ｘ−ｙ調整機構３０を、ｘ´−ｙ´平面と直交する回転支軸４２の周りに回転させる回転角調整機構４０と、を備えることを特徴とする。この墨出し装置１０において、回転支軸４２は、ｘ´−ｙ´平面の中心からずれて配されている。 （もっと読む）

【課題】モータの発熱による位置決め精度の低下をより効果的に抑制することができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】ベース２上に設けられたモータ３と、モータ３によって回転されるねじ軸４と、複数のボールを介してねじ軸４に連結され、ねじ軸の回転によってベース２上を移動可能なステージ５と、を備える位置決め装置１において、モータケースに取り付けられ、装置１全体の温度を略均一にすべくモータ３の温度を調節可能な伝熱素子を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な２軸直交案内装置、３軸直交案内装置、３軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供する。
【解決手段】一対の第１移動体１０ａ、１０ｂと、互いに直交する２軸を想定した場合に、該２軸のうちの第１の軸方向に一対の第１移動体１０ａ、１０ｂをそれぞれ独立して移動自在に案内する第１案内機構と、第２移動体２０と、該第２移動体２０を支持し、一対の第１移動体１０ａ、１０ｂにおける第１の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第２移動体２０における２軸のうちの第２の軸方向の運動に変換し、第２移動体２０を第２の軸方向に沿って移動自在に案内する第２案内機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板のパラメータを測定する高速メトロロジーツールを提供する。
【解決手段】メトロロジーツールは、リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板９のパラメータを測定するように構成されている。メトロロジーツールは、ベースフレーム５と、基板を保持するように構成された基板テーブル６と、基板のパラメータを測定するように構成された少なくとも１つのセンサと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方を他方に対して、少なくとも第１方向において変位させるための変位システム２５と、第１バランスマスと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方の第１方向における変位を相殺するため、第１方向の反対方向へ実質的に自由に移動するように第１バランスマス２０を移動可能に支持する第１ベアリング２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】真空容器への適用が可能で、設計自由度及び設置の自由度が高く、メンテナンス性の良い２軸ステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る２軸ステージ装置は、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブル４と、Ｙテーブル４上に載置された中間テーブル１５と、中間テーブル１５上に載置され、該中間テーブル１５上に設けられたＸ方向ガイド１１によってＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸテーブル９を有している。Ｙ送りねじ５はＹモータ２の回転をＹ軸方向への直線運動に変換し、Ｙテーブル４をＹ軸方向に移動させる。一方、ボールスプライン軸１４はＸモータ７によりＹ軸方向を回転中心として回転する。スプラインナット１４１には歯車１３が固定されており、この歯車１３とＸテーブル９に固定されたラック１２によってボールスプライン軸１４の回転がＸ軸方向への直線運動に変換され、Ｘテーブル９をＸ軸方向に移動させることができる。 （もっと読む）