【課題】大きな推力を必要とするアライメント装置を小型化出来、ステージが傾いた場合でも自重による移動がないアライメントステージを提供する。
【解決手段】支持機構を設けた直動ガイド１０３を回転機構１０２が載置し、その回転機構１０２をリニアモータ装置１０１が載置することにより、支持機構を回転・二方向に移動可能とする回転・二方向移動装置Ｉを構成し、この回転・二方向移動装置Ｉを２台備えて、その各リニアモータ装置１０１の固定子駆動軸１０１ｂを共通とし、この固定子駆動軸１０１ｂに各可動子１０１ａを直列配置し、可動子側１０１ａにマグネットＭ、固定子駆動軸１０１ｂ側に電機子Ｃを配置し、かつブレーキをそのブレーキシューがレールの側面に押圧可能となるように可動子１０１ａに配設した。 （もっと読む）