【課題】 外部からの水の浸入を防ぐことができ、さらに外部の温度変化に起因するセンサユニット内部の熱歪みによるセンサおよび周辺回路への水の浸入を防止し、製品の信頼性が高く、かつ製作コストの低減を図ることができるセンサユニットを提供する。
【解決手段】 表面張力を小さくする被膜ｆｍを、センサアッシ２の各部に形成しておき、絶縁性を有する液体ＬＱを被膜ｆｍを介して隙間等に含浸させてなる。 （もっと読む）