【課題】スライダとインデックススケールとの間のギャップをより正確に検出できるリニアエンコーダを提供する。
【解決手段】リニアエンコーダは、発光素子１２と、スケール１０と、スケール１０に対して相対変位するインデックススケール１３ａと、スケール１０およびインデックススケール１３ａを透過した光を電気信号に変換する受光素子１４ａと、を備えている。スケール１０には、互いに異なるピッチの主格子目盛１６および補助格子目盛１７が設けられている。リニアエンコーダのギャップ検出部は、補助格子目盛１７から得られる信号振幅に基づいて、主格子目盛１６から得られる信号振幅に対する温度の影響量を取得し、この温度の影響量を除去した信号振幅に基づいてスケール１０とインデックススケール１３ａとの間のギャップ量を求める。 （もっと読む）

【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム１０は、計測用ＦＢＧ２１が設けられた第１の光ファイバ１１と基準波長反射用ＦＢＧ２２が設けられた第２の光ファイバ１２とを備えており、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１２とは、被計測部Ｗａに固定された計測用ＦＢＧ２１の反射光を、固定用治具部材Ｗｂに固定された基準波長反射用ＦＢＧ２２に入射可能となるように接続されている。計測用ＦＢＧ２１と基準波長反射用ＦＢＧ２２とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Ｗａと固定用治具部材Ｗｂとは、同じ材料から形成されている。また、光源１３は広帯域の光を計測用ＦＢＧ２１に入射し、計測機１５は、基準波長反射用ＦＢＧ２２の反射光の総光量に基づいて被計測部Ｗａのひずみ量を計測する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダの利得とオフセットを動的に調整する。
【解決手段】光学エンコーダにおける利得とオフセットを動的に調整する方法は、回折格子を含むエンコーダ・ディスクを提供する段階と、前記エンコーダ・ディスクに光を照射する段階と、前記回折格子から回折された光を検出しかつ第１の細カウント・チャネルを出力するように構成された検出器を提供する段階と、前記第１の細カウント・チャネルの第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットを計算する段階と、前記第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットに基づいて、前記第１の細カウント・チャネルからサンプリングされたデータに補正を適用する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】軸受の複数のパラメータを検出する光ファイバ感知デバイスのための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサシステムは、光ファイバケーブルと、１つまたは複数の分離タブ２１８によって互いに接合された第１の接続端と第２の接続端２０４を含むキャリア２００とを備え、第１の接続端は、光ファイバケーブルの遠位端を第１の接続端に固定するように構成された第１のファイバ取付け点２１０を含み、第２の接続端は、光ファイバケーブルを第２の接続端に固定するように構成された第２のファイバ取付け点２１２を含み、さらに１つまたは複数の分離タブは、キャリアおよび分離タブよりも構造的に弱いブレークエリアを使用して第１の接続端と第２の接続端に接合されている。 （もっと読む）

【課題】光学系の高さを低くするとともに、回折格子からの０次光の影響を低減して計測精度を向上する。
【解決手段】Ｘ軸のエンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする回折格子１２Ｘと、可干渉性のある計測光ＭＸ１及び参照光ＲＸ１を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに向けてリトロー角から所定角度ずれた角度で反射する傾斜ミラー３２ＸＡと、回折格子１２Ｘからの回折光と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、光電センサ４０ＸＡの検出信号を用いて第１部材６に対する第２部材７のＸ方向の相対移動量を求める計測演算部４２Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能となる。
【解決手段】ガラススケール保持構造において、ガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭い幅Ｗ１で且つガラススケール１１６の測定軸方向（Ｘ方向）の長さＬ２より長く成形されるとともに、ガラススケール１１６の測定軸方向の両端から端部１１２Ａがそれぞれ突出した状態でガラススケール１１６を固定する金属薄板１１２と、端部１１２Ａにそれぞれに設けられるとともに、対象物ＳＪに脱着可能に金属薄板１１２を保持させる貫通孔１１２Ｂ及びねじ１１８と、を備え、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持される際には、ねじ１１８の対象物ＳＪのねじ穴への螺合により金属薄板１１２に対して張力が付与されるとともに、金属薄板１１２の背面の全面が対象物ＳＪに当接される。 （もっと読む）

【課題】カバーガラスを目盛部に接着する接着剤の厚さむらに起因するエンコーダの出力変動を防止できるようにする。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたカバーガラス１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部３０を介して、前記スケール基板上に支持され、前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の周囲に対応するパターンに予め形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されている。 （もっと読む）

【課題】内部の空気が攪拌されて熱を持った回路基板周辺の空気を循環でき、粉塵による検出精度の劣化を防止でき、回転時の応力によって回転符号板が面振れや変形を起こして検出精度を悪化させることを防止できるロータリエンコーダおよびロータリエンコーダ付モータを提供する。
【解決手段】回転符号板への送風を行う送風手段であって、回転符号板から離間した位置にあって回転軸によって回転される送風手段を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招来することなく、建設機械への搭載した場合にも高精度の計測が可能なロータリエンコーダを提供すること。
【解決手段】金属製の薄板によってパルスコードホイール７０を成形するとともに、所定の耐熱性及び剛性を備えた透光性を有する合成樹脂材によって２枚の板状を成す挟持板８０を成形し、これら２枚の挟持板８０の間にパルスコードホイール７０を挟持させ、かつパルスコードホイール７０の両面のスリット７３をそれぞれ挟持板８０によって覆った。 （もっと読む）

【課題】相対移動可能な２つの物体の位置を測定する光学式位置測定装置において、基準信号を適切に発生させる。
【解決手段】一方の物体と結合された目盛本体が、基準位置に、鏡像対称に配置された２つの部分区域を含む基準マークを含み、該区域はそれぞれ、目盛周期が変化し移動方向に配列する格子構造パターンで構成されている。他方の物体には走査ユニットが結合され、該ユニットは光源と、１又は複数の格子と、基準信号検出装置と備えている。基準信号検出装置は、検出器アレイ２２．１〜２２．４を有し、基準マークを走査して検出器アレイで検出して、第１の対の逆相関係にある部分基準信号、該部分基準信号からオフセットされている第２の対の逆相関係にある部分基準信号を形成する。検出器アレイに接続された後段の処理回路において、第１及び第２の対の部分基準信号を処理して、基準信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】センサ全体を大型化することなく、簡単な構成で温度補償を行うことを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧひずみセンサ１は、ＦＢＧ３が形成された光ファイバ２と、光ファイバ２を被測定部Ｗに固定するための温度補償部材１１とを備えている。光ファイバ２と温度補償部材１１とは、これらが当接する全面において接着剤１２によって固定されている。一方、温度補償部材１１と被測定部Ｗとは、温度補償部材１１の両端部において接着剤１３によって固定されている。温度補償部材１１は、熱膨張係数がゼロである材料から形成されており、ＦＢＧ３の伸縮が温度補償部材１１によって拘束されている。したがって、雰囲気温度に応じたＦＢＧ３の熱膨張は温度補償部材１１によって抑制された状態となっており、被測定部Ｗに生じるひずみのみがＦＢＧ３に印加される。 （もっと読む）

【課題】センサーと測定対象物との間の接着剤の厚さを均一に保持し、接着剤の接着力を均一に保つと共に、測定対象物と接着剤の間や接着剤とセンサーの間で、熱膨張差による接着剤の剥離現象が生じるのを防止する。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１３に接着剤１４を介して取り付けられるセンサー１０であって、検知部を有するセンサー本体１１と、センサー本体１１をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２と、を備え、ブロック体１２は接着剤１４と同一のセラミック系接着剤から構成され、ブロック体１２の測定対象物１３側には接着剤１４の接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定精度の悪化や安定性・再現性の悪化を招くことなく、空間分解能の向上及びコストの低減を図ることができる光ファイバ特性測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ特性測定装置１は、所定の変調周波数で変調したレーザ光を射出する光源１１と、光源１１からのレーザ光をプローブ光Ｌ１及びポンプ光Ｌ２として光ファイバ１４の一端及び他端からそれぞれ入射させる入射手段（光分岐器１２、光変調器１３、パルス変調器１５、方向性結合器１６）と、光ファイバ１４から射出される光を検出する光検出器１７と、光検出器１７から出力される検出信号Ｄ１のうち、光ファイバ１４に設定された測定点近傍の光を検出して得られた検出信号を通過させることによって切り出しを行うタイミング調整器１８ａと、タイミング調整器１８ａを通過した検出信号Ｄ２を同期検波するロックインアンプ１８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】光検出器からの発生する熱を良好に放熱する光学式エンコーダーを提供する。
【解決手段】反射型光学式エンコーダー１００は光源１１０とスケール１２０と光検出器１３０と支持基板１４０と光源スリット１５０とを備えている。光源１１０はスケール１２０に向けて光ビームを射出し、スケール１２０は光源１１０に対して移動する。スケール１２０は周期的な光学パターン１２４を有し、照射される光ビームを反射・変調する。光検出器１３０はフォトディテクターアレイ１３２を有し、スケール１２０によって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する。光源１１０と光検出器１３０は共に支持基板１４０に取り付けられている。光源スリット１５０はスリットパターン１５４を有し、スリットパターン１５４が光源１１０の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ１３２が形成された光検出器１３０の面に取り付けられている。 （もっと読む）