【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム１０は、計測用ＦＢＧ２１が設けられた第１の光ファイバ１１と基準波長反射用ＦＢＧ２２が設けられた第２の光ファイバ１２とを備えており、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１２とは、被計測部Ｗａに固定された計測用ＦＢＧ２１の反射光を、固定用治具部材Ｗｂに固定された基準波長反射用ＦＢＧ２２に入射可能となるように接続されている。計測用ＦＢＧ２１と基準波長反射用ＦＢＧ２２とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Ｗａと固定用治具部材Ｗｂとは、同じ材料から形成されている。また、光源１３は広帯域の光を計測用ＦＢＧ２１に入射し、計測機１５は、基準波長反射用ＦＢＧ２２の反射光の総光量に基づいて被計測部Ｗａのひずみ量を計測する。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能となる。
【解決手段】ガラススケール保持構造において、ガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭い幅Ｗ１で且つガラススケール１１６の測定軸方向（Ｘ方向）の長さＬ２より長く成形されるとともに、ガラススケール１１６の測定軸方向の両端から端部１１２Ａがそれぞれ突出した状態でガラススケール１１６を固定する金属薄板１１２と、端部１１２Ａにそれぞれに設けられるとともに、対象物ＳＪに脱着可能に金属薄板１１２を保持させる貫通孔１１２Ｂ及びねじ１１８と、を備え、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持される際には、ねじ１１８の対象物ＳＪのねじ穴への螺合により金属薄板１１２に対して張力が付与されるとともに、金属薄板１１２の背面の全面が対象物ＳＪに当接される。 （もっと読む）

【課題】センサーと測定対象物との間の接着剤の厚さを均一に保持し、接着剤の接着力を均一に保つと共に、測定対象物と接着剤の間や接着剤とセンサーの間で、熱膨張差による接着剤の剥離現象が生じるのを防止する。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１３に接着剤１４を介して取り付けられるセンサー１０であって、検知部を有するセンサー本体１１と、センサー本体１１をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２と、を備え、ブロック体１２は接着剤１４と同一のセラミック系接着剤から構成され、ブロック体１２の測定対象物１３側には接着剤１４の接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出器に設けられたレンズアレイの線膨張係数が検出器の受光部とスケールのうちのいずれかと異なっても、動作温度範囲を拡大しつつ、スケールに対する検出器の位置を正確に求めることが可能となる。
【解決手段】第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２がスケール１０２と受光部１２４とは異なる線膨張係数α_ＬＡを備え、第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２の特定の一箇所Ｘｓｔで第１レンズアレイ１１４、第２レンズアレイ１２２と受光部１２４とが一体的に固定され、周期信号Ｆｉから求められる位相信号φｉはそれぞれ、異なる線膨張係数α_ＬＡに起因する位相ずれが解消されるように補正され、更に、補正された補正位相信号Ｃφｉを平均して平均位相信号φａｖが求められ、スケール１０２に対する検出器１１０の位置が求められる。 （もっと読む）

【課題】小型であり、かつ構成部材の位置合せが容易なエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド２０は、光源部からの計測光をスケール５（回折格子）に向けて反射させる第１プリズム２１と、第１プリズム２１により反射された計測光を二つの直線偏光に分割する偏光ビームスプリッタ膜２２と、偏光ビームスプリッタ膜２２を透過した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の一方の位置に照射させる第１波長板２３と、偏光ビームスプリッタ膜２２で反射した直線偏光を円偏光に変換してスケール５上の他方の位置に照射させる第２波長板２４と、スケール５で反射回折した±１次回折光を干渉させて光検出器に向けて反射させる第２プリズム２５とを有し、偏光ビームスプリッタ膜２２が第１プリズム２１と第２プリズム２５に挟まれて設けられ第１プリズム２１、第２プリズム２５および偏光ビームスプリッタ膜２２が一体に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサでは、光干渉信号方式としてホモダイン干渉方式があり、センサの構成は簡単であるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度ずらせて、計測光パルスと干渉させることにより、２つの干渉出力ｉ、ｊを得て、その参照光と計測光とから２つの余弦信号ｃｏｓθｉ、ｃｏｓθｊを算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θｉ、θｊを求めることにより、干渉光のレベル、位相変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して出力することにより、センサ信号として変動できる位相範囲が±９０度を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、接着によって互いに接続された複数の部分部材（１０，２０）から構成された基準尺に関する。
【解決手段】 接着が、部分部材（１０，２０）の互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）で行われる。そのために、二つの部分部材（１０，２０）のそれぞれ互いに対向する境界面（１１，２１；１２，２２）が、測定方向（Ｘ）に延びており、それらの間に有る、測定方向（Ｘ）に対して垂直な方向を向いた隙間（３１，３２）を形成し、その隙間内に接着剤（４）が配備される。そのような措置によって、接着剤（４）が、膨張又は収縮して体積を変化させた時に、測定方向（Ｘ）を向いた力が部分部材（１０，２０）に加わることができないという作用効果が実現される。 （もっと読む）

【課題】物差しが保持体に安定且つ偏差なしに保持され、保持体に固定された物差しを備える配列装置を提供すること。
【解決手段】この発明によると、物差し（１）が球（３）の二次元的配列によって保持体（２）に固定される。球（３）が一方で直接に保持体（２）に載置し、他方で物差し（１）が直接に球（３）上に載置する。保持体（２）と物差し（１）の間の保持力は、保持体（２）に球（３）の固定式保持によって或いは物差し（１）に球（３）の固定式保持によって保証される。球（３）の配列は、それらの球の間に自由空間（４）が残留し、その自由空間が外方に案内する通路を形成するようになる。 （もっと読む）

【課題】主信号および副信号を検出可能で、かつ使用温度範囲を拡大できる光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】第１受光素子３は、基板５を介して筐体４に固定される。基板５は、筐体４に前記所定方向に移動可能に支持されるので、使用温度変化に対する第１受光素子３の所定方向の移動量は、基板５の線膨張係数に基づく。第２受光素子２は、筐体４に直接固定されるので、使用温度変化に対する所定方向の移動量は、筐体４の線膨張係数に基づく。よって、筐体４に固定される基板５の固定部５３から第１受光素子３までの所定方向に沿った距離Ａと、固定部５３から第２受光素子２までの所定方向に沿った距離Ｂとの比を、筐体４の線膨張係数と、基板５の線膨張係数との比と等しくすることで、使用温度変化による第１、第２受光素子３、２の位置関係の変化を抑制でき、測定精度を向上できる。従って、使用温度範囲を拡大できる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により位相格子を保護できるエンコーダ用スケール、及びエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】位相格子５１が形成された基板５０と、位相格子５１を保護する保護部６０と、位相格子５１の周囲のうち少なくとも一部に配置され、基板５０と保護部６０とを貼り合せる接着部５５と、を備えたエンコーダ用スケール１００である。 （もっと読む）

【課題】
走査ユニット１０が、光源１３を有する。この光源１３の損失熱が、熱伝導路を経由してヒートシンク１１に向かって伝導される。この熱伝導路は、導体基板１４によって形成される。当該光源１３が、この導体基板１４に固定されていて且つ当該ヒートシンクとして機能するベース本体１１に向かってさらに延在している。
【解決手段】
導体基板１４からベース本体１１に向かう熱伝導を最適にするため、半田材４１，４２が、この導体基板１４上に被覆されている。中間構成要素６１，６２が、押圧構成要素７１，７２によってこの半田材４１，４２に対して押圧される。半田材４１，４２と中間構成要素６１，６２との間の密接する接触が、当該押圧によって得られる。当該密接する接触は、小さい熱伝導抵抗を保証する。また、中間構成要素６１，６２は、ベース本体１１に接合されている。
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【課題】小型の検出器ユニットを可能とすると共に、光源による検出器ユニットの熱ひずみを回避して、ロバストで高精度な測定を可能とする。
【解決手段】第１の光学格子１３２が設けられたスケール１１０と、該スケール１１０に対峙して配置される検出器ユニット１４０と、を有する光電式エンコーダ１００において、前記スケール１１０に、前記第１の光学格子１３２で変調されて前記検出器ユニット１４０で受光される光を発光する面状光源１２０を一体的に備える。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、空気の吸引によってキャリア２に保持されるスケール１に関する。
【解決手段】
スケール１は、同一平面上に分散して配置され且つ互いに間隔をあけた支持部１２によってキャリア２に保持される。この場合、これらの支持部１２は、スケール１の厚さＤより小さい相互の中心距離Ａを有する。
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【課題】温度変化が生じても、マークの位置を正確に検出することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】回転移動方向に所定間隔で検出用マークを有した無端回転体のマーク形成領域に対向配置されるべき位置検出装置であって、移動する上記マークを所定の検出位置で検出する複数の検出手段と、当該複数の検出手段を収容固定する収容保持部材と、上記複数の検出手段の夫々の検出部位の間の回転移動方向間隔を検知する検知手段とを備えるよう、構成する。 （もっと読む）

本発明は、第一線膨張係数（α１．３）を有する第一材料で作られている目盛板（１．３）および第二線膨張係数（α１．４）を有する第二材料で作られているキャリア要素（１．４，１．４’）を含む角度測定装置用構成ユニットに関するものである。第二線膨張係数（α１．４）と第一線膨張係数（α１．３）間の差異が、少なくとも３×１０^−６Ｋ^−１である。キャリア要素（１．４，１．４’）には、目盛板（１．３）が接着接続を使って固定されており、その接着接続が、アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）を有している。アキシャル方向接着剤層（１．１，１．１’）およびラジアル方向接着剤層（１．２）が、キャリア要素（１．４，１．４’）と目盛板（１．３）の間で、アキシャル方向間隙（Ｓａ，Ｓａ’）ないしラジアル方向間隙（Ｓｒ）にそれぞれ配設されている。両方の接着剤層（１．１，１．２）には異なった接着剤を含んでいる。更に本発明は、この構成ユニットを備えた角度測定装置に関するものでもある。 （もっと読む）

【課題】 スケールの基材の裏面に反射防止膜を設けたり、乱反射面を形成しなくても基材の裏面での反射を抑えることができる変位検出装置用のスケールを提供する。
【解決手段】 基材２１と、基材の上に形成されている格子状の反射層２２と、を有し、発光波長が１０００ｎｍ以下である発光素子１と発光素子から発し反射層で反射した光を受光する受光素子３に対して相対的に変位可能な部材として用いられる変位検出装置用のスケール２において、基材はシリコンで構成されている。 （もっと読む）

【解決手段】長さ測定装置は、ハウジング（２２）内部に配置された物差し（２０）と走査ユニット（１０）の物差し（２０）を走査するセンサーチップ（１３）とから成る。走査ユニット（１０）のセンサーチップ（１３）により発生された熱が適切にハウジング（２２）の方向に案内される。このために、センサーチップ（１３）には熱伝導要素（１９）が連結されていて、この熱伝導要素はハウジング（２２）に案内され、熱が僅かな隙間（Ｌ）を介してハウジング（２２）にまで伝送する。
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【課題】安定した目盛り精度を有する光学格子を提供する。
【解決手段】光学格子の製造方法は、ガラス基板１０の少なくとも一方の表面に光によりフリーラジカルとなって脱離可能な芳香族環を有する物質からなる第１の膜１２を形成する第１の膜形成工程（Ｓ１００）と、芳香族環をフリーラジカルとして脱離可能な波長を用いて第１の膜１２上に格子状に露光する露光工程（Ｓ１０２）と、露光された第１の膜１２表面を水洗し露光された部分に水酸基１６を露出させる水洗工程（Ｓ１０４）と、水洗によって第１の膜１２上に格子状に露出した水酸基と結合可能なアミノ基を有する物質を塗布し反応させて第２の膜１８を形成する第２の膜形成工程（１０６）と、第２の膜１８に触媒核を付与して触媒核層を形成する触媒核付与工程と、触媒核上に無電解めっきにより光反射層を形成する光反射層形成工程（Ｓ１１０）とを有する。 （もっと読む）