【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】所望位置へ簡単に配設でき安価に実施できるうえ、配管など被測定物の歪や温度等を長期にわたって正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバセンサ(１)は、光ファイバ(２)と、その周囲に配置された連続繊維(３)と、連続繊維(３)に含浸された結合剤とを備える。光ファイバ(２)は、中間部を連続繊維(３)で製紐された筒状の紐体(５)内に収容してある。紐体(５)の内周長は光ファイバ(２)の外周長よりも長く、一部が光ファイバ(２)の外周面に当接され、残部が紐体(５)の内周面同士で互いに当接してある。紐体(５)の外周面に、紐体(５)の長さ方向に延びた着座面(16)が形成してある。着座面(16)を被測定物(14)の表面へ当接した状態で、固定部材(17)で光ファイバセンサ(１)を被測定物(14)側へ押圧して固定する。光ファイバ(２)の端部に測定器(15)を接続して、被測定物(14)の歪や温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール、及び、それを備えた光学ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 光透過性を有する樹脂基板２と、該樹脂基板２面上に所定のパターンにて積層形成されているアルミニウム金属膜３とからなる積層構造体４を備え、該積層構造体４におけるアルミニウム金属膜形成面側の表面を覆って光透過性を有する粘着層５が積層されており、且つ、粘着層５面上にアルミニウム金属膜３よりも正反射率の低い低反射層６が積層されている光学スケール１により、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール１、及び、それを備えた光学ユニット１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】光学エンコーダの利得とオフセットを動的に調整する。
【解決手段】光学エンコーダにおける利得とオフセットを動的に調整する方法は、回折格子を含むエンコーダ・ディスクを提供する段階と、前記エンコーダ・ディスクに光を照射する段階と、前記回折格子から回折された光を検出しかつ第１の細カウント・チャネルを出力するように構成された検出器を提供する段階と、前記第１の細カウント・チャネルの第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットを計算する段階と、前記第１のターゲット利得と第１のターゲット・オフセットに基づいて、前記第１の細カウント・チャネルからサンプリングされたデータに補正を適用する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】スケール基板上に形成された目盛部が、その上面側を保護するスケールカバーで保護されたスケールの目盛保護構造において、目盛部が水分等の目盛劣化成分により経時的に劣化することを抑制する。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたスケールカバー１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記スケール基板と前記スケールカバーの間の前記目盛部の側方全周囲を、目盛劣化成分の浸透を阻害するガラス粉末（粉末材料）３２が混合された接着剤で封止し、周囲接着層３０を形成した。 （もっと読む）

【課題】相対移動可能な２つの物体の位置を測定する光学式位置測定装置において、基準信号を適切に発生させる。
【解決手段】一方の物体と結合された目盛本体が、基準位置に、鏡像対称に配置された２つの部分区域を含む基準マークを含み、該区域はそれぞれ、目盛周期が変化し移動方向に配列する格子構造パターンで構成されている。他方の物体には走査ユニットが結合され、該ユニットは光源と、１又は複数の格子と、基準信号検出装置と備えている。基準信号検出装置は、検出器アレイ２２．１〜２２．４を有し、基準マークを走査して検出器アレイで検出して、第１の対の逆相関係にある部分基準信号、該部分基準信号からオフセットされている第２の対の逆相関係にある部分基準信号を形成する。検出器アレイに接続された後段の処理回路において、第１及び第２の対の部分基準信号を処理して、基準信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】パターンが経年劣化等の変化することにより、位置検知用のセンサからの出力信号が変化したとしても、行程位置を把握することができるアクチュエータの行程位置検知装置を提供する。
【解決手段】油圧シリンダ１（アクチュエータ）のロッド４に、ストローク方向の範囲内において変化がない基準部とストローク位置を特定できるように変化させる符号化部とを有するパターンＸを描画して、基準部を検知する基準センサ（基準検知部）が出力する基準信号に基づき位置検知センサ（位置検知部）が出力する位置信号を判断して、ストローク位置を把握する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】紫外光より長波長の光を照射した場合にも、結露制御機能部材あるいはクリーニング機能部材として機能させる信頼性保持機能部材を提供する。
【解決手段】ＰＤ１３およびＶＣＳＥＬ１２のうちの少なくとも一方の機能を含む光機能素子を内部に収納すると共に、外部と光機能素子（ＰＤ１３、ＶＣＳＥＬ１２）との間で光を透過可能とするための光透過構造（ガラス部材１４）を有するセラミックパッケージ１１と、このパッケージの光透過構造の表面に薄膜状に形成され、可視光の波長以上の波長を吸収する材料からなる、結露防止機能部材および清浄化機能部材の少なくともいずれか一方の機能を含む透過性の信頼性保持機能部材１５を有し、この信頼性保持機能部材１５は、ＴｉＯ２にＣｕもしくはＦｅのいずれかを担持してもの、あるいは、Ｎ２ドープを行ったＴｉＯ２、あるいは、Ｗ０３にＣｕもしくはＰｄのいずれかを担持してもの、を構成成分として有する。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】測定精度の悪化や安定性・再現性の悪化を招くことなく、空間分解能の向上及びコストの低減を図ることができる光ファイバ特性測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ特性測定装置１は、所定の変調周波数で変調したレーザ光を射出する光源１１と、光源１１からのレーザ光をプローブ光Ｌ１及びポンプ光Ｌ２として光ファイバ１４の一端及び他端からそれぞれ入射させる入射手段（光分岐器１２、光変調器１３、パルス変調器１５、方向性結合器１６）と、光ファイバ１４から射出される光を検出する光検出器１７と、光検出器１７から出力される検出信号Ｄ１のうち、光ファイバ１４に設定された測定点近傍の光を検出して得られた検出信号を通過させることによって切り出しを行うタイミング調整器１８ａと、タイミング調整器１８ａを通過した検出信号Ｄ２を同期検波するロックインアンプ１８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】測定目盛面に対して直角な軸を中心にして、測定目盛を備えた基準尺体に対して相対的な走査検知ユニットの傾斜に対して鈍感な高分解能の光学式位置測定装置を提供する。
【解決手段】光源２１により発せられた光束が測定目盛１１に当たり、そこで少なくとも二つの分光光束への分割が行われる。走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が、第一走査検知目盛２４を介してリフレクタ要素２５に当たり、そして測定目盛１１の方向への反射を受け、そのとき測定目盛１１へ向かう経路で第一走査検知目盛２４を通過する。再び測定目盛１１に当たった後に、走査検知ユニット２０の方向に進む分光光束が重ね合わされて、分光器要素２２を介して検知ユニット２６方向へ方向転換される。そこで位置に関係すると共に位相のずれた複数の走査検知信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】検出部から出力される原点パターンの関与を受けた出力電圧信号のＤＣ成分の変動があっても、確実に原点信号の検出位置の再現性の向上が可能となる。
【解決手段】原点を示す原点パターン１１２が設けられたスケール１１０と、スケール１１０に対して相対変位可能である検出ヘッド１２０と、を備えるエンコーダ１００で、検出ヘッド１２０の受光部１２６から出力される原点パターン１１２の関与を受けた出力電圧信号φＺから原点の位置を示す原点信号ＰＺを生成するためのコンパレータ１３２を有する原点位置検出回路であって、出力電圧信号φＺを平滑化するＤＣ電圧検出回路１２８と、出力電圧信号φＺとＤＣ電圧検出回路１２８から出力されるＤＣ電圧信号Ｚｄｃとの差動増幅を行う差動増幅回路１３０と、を備え、差動増幅回路１３０の差動増幅信号Ｚｏｕｔがコンパレータ１３２に入力される。 （もっと読む）

【課題】発光素子に過大な電流が流れることを防ぎ、角度変換精度を最大限維持したままエンコーダの長寿命化を図れる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】アナログ原信号を生成する光学回路と、発光素子の駆動電流を制御する光量制御部と、前記アナログ原信号を増幅しアナログ正弦波信号を生成する信号増幅部と、前記アナログ正弦波信号を２相ディジタル正弦波信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、前記２相ディジタル正弦波信号を補正して変換用２相正弦波信号を生成する信号補正部と、前記アナログ原信号をディジタルパルス信号に変換するパルス変換部と、前記変換用２相正弦波信号の角度変換値と前記ディジタルパルス信号から位置情報を生成する位置情報生成部とを備え、前記光量制御部は前記発光素子の光量を一定量に維持し、且つ駆動電流が許容電流値を許容電流値で制限すると共に許容電流到達信号を出力し、前記許容電流到達信号で信号補正動作を切替える。 （もっと読む）

【課題】発光素子に過大な電流が流れることを防ぎ、角度変換精度を最大限維持したままエンコーダの長寿命化を図ることができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】アナログ原信号を生成する光学回路と、発光素子の駆動電流を制御する光量制御部と、前記アナログ原信号を増幅しアナログ正弦波信号を生成する信号増幅部と、前記アナログ正弦波信号を２相ディジタル正弦波信号に変換するＡ／Ｄ変換部と、前記２相ディジタル正弦波信号を補正して変換用２相正弦波信号を生成する信号補正部と、前記アナログ原信号をディジタルパルス信号に変換するパルス変換部と、前記変換用２相正弦波信号の角度変換値と前記ディジタルパルス信号から位置情報を生成する位置情報生成部とを備え、前記光量制御部は前記発光素子の光量を一定量に維持し、且つ駆動電流が許容電流値を許容電流値で制限すると共に許容電流到達信号を出力し、前記信号増幅部の増幅率を制御する。 （もっと読む）

【課題】光反射特性の低下を低減することのできる光学式エンコーダ用反射板、エンコーダ及び光学式エンコーダ用反射板の製造方法を提供する。
【解決手段】硝材を用いて形成された基板Ｇと、当該基板の表面の一部に設けられ、光を反射可能な光反射部Ｍと、基板に設けられ、基板のうち光反射部から外れた領域に入射する光を吸収する光吸収部Ｓとを備える光学式エンコーダ用反射板、及び、それを使用した光学式エンコーダ用反射板を提供する。 （もっと読む）