【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストで計測システムを構築可能としつつ、センシングが可能な範囲を広げることを実現したセンサ用光ファイバの製造方法及びセンサ用光ファイバを提供することを目的とする。
【解決手段】移動ステージ３７上の位相マスク３２に光ファイバ３１が保持されている。位相マスク３２は、その一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かって格子周期が漸次長くなる回折格子３４を有しており、回折格子３４を介して紫外線レーザビーム４０を光ファイバ３１に照射可能となっている。移動ステージ３７の移動速度は、紫外線レーザビーム４０の照射位置が位相マスク３２の一端３２ｃ側から他端３２ｄ側に向かうにつれて徐々に遅くなるように制御されており、紫外線レーザビーム４０の照射中に移動ステージ３７を移動させることにより、ＦＢＧ１０を有する光ファイバ１が製造される。 （もっと読む）

【課題】低コストで広い温度範囲に対応させることを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ひずみ量計測システム１０は、計測用ＦＢＧ２１が設けられた第１の光ファイバ１１と基準波長反射用ＦＢＧ２２が設けられた第２の光ファイバ１２とを備えており、第１の光ファイバ１１と第２の光ファイバ１２とは、被計測部Ｗａに固定された計測用ＦＢＧ２１の反射光を、固定用治具部材Ｗｂに固定された基準波長反射用ＦＢＧ２２に入射可能となるように接続されている。計測用ＦＢＧ２１と基準波長反射用ＦＢＧ２２とは同様の格子間隔に加工されており、被計測部Ｗａと固定用治具部材Ｗｂとは、同じ材料から形成されている。また、光源１３は広帯域の光を計測用ＦＢＧ２１に入射し、計測機１５は、基準波長反射用ＦＢＧ２２の反射光の総光量に基づいて被計測部Ｗａのひずみ量を計測する。 （もっと読む）

【課題】ＦＢＧファイバを用いて、物体上の温度と歪の連続的な分布を分離して同時に得ること。
【解決手段】本発明は、擬似ランダム符号で変調された出射光を、ＦＢＧファイバに送出する光源部と、FBGファイバから入射する応答光を、透過波形と反射波形とに分離する傾斜フィルタとダミーファイバとからなる光分離手段と、光分離手段にて分離した透過波形と反射波形を電気信号に変換する変換手段と、擬似ランダム符号と前記応答光との相関処理により、温度分布計測情報乃至歪分布計測情報を出力する解析手段とを備えたインタロゲータを用いた温度及び歪分布計測システムであって、ＦＢＧセンサは、全長に亘って一定ピッチのFBGが連続的、もしくは、所要の距離分解能を得るに十分な間隔で断続的に形成されたロングゲージFBGファイバとし、ダミーファイバの長さLdは、ロングゲージFBGファイバの長さLの2倍以上の長さに設定され、ＦＢＧセンサに沿った温度及び歪分布を計測するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】光学系の高さを低くするとともに、回折格子からの０次光の影響を低減して計測精度を向上する。
【解決手段】Ｘ軸のエンコーダ１０Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする回折格子１２Ｘと、可干渉性のある計測光ＭＸ１及び参照光ＲＸ１を供給するレーザ光源１６と、第２部材７に設けられ、計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに向けてリトロー角から所定角度ずれた角度で反射する傾斜ミラー３２ＸＡと、回折格子１２Ｘからの回折光と参照光ＲＸ１との干渉光を検出する光電センサ４０ＸＡと、光電センサ４０ＸＡの検出信号を用いて第１部材６に対する第２部材７のＸ方向の相対移動量を求める計測演算部４２Ｘと、を備える。 （もっと読む）

【課題】２次元アブソリュートエンコーダの高分解能化に有利な技術を提供する。
【解決手段】互いに直交する第１方向および第２方向に沿って所定のピッチでマークが２次元配列されたスケールと、第１方向に配列された第１個数のマークを検出し、第２方向に配列された第２個数のマークを検出する検出器と、第１及び第２方向におけるスケールの絶対位置を、検出器の出力に基づいて、それぞれ決定する処理部とを備える。各マークは、第１方向における位置を示すための量子化された第１符号の情報と第２方向における位置を示すための量子化された第２符号の情報とを有する。処理部は、第１個数のマークの検出結果から第１符号列を生成し、第１符号列から第１方向におけるスケールの絶対位置を求め、第２個数のマークの検出結果から第２符号列を生成し、第２符号列から第２方向におけるスケールの絶対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）

【課題】走査検知光路において構成要素が互いに理想的な方向を向いていない、または使用条件が理想的でない時でも、最大可能な品質を保証する走査検知信号を提供する。
【解決手段】測定方向に延伸するインクリメント目盛を有する基準尺と、光源と一つまたは複数の格子およびディテクタアセンブリを含んだ走査検知ユニットが設けられ、ディテクタアセンブリは検知面に配設された複数グループのディテクタ要素で構成され、測定方向に相対移動する場合に、検知面で生じる周期性縞模様の走査検知結果から、位相のずれた複数の走査検知信号を生成するようにディテクタ要素の前には、同じ位相の走査検知信号を伴うグループでは、ディテクタ要素の面積の合計が、他のグループのディテクタ要素の面積の合計と同一であり、かつ、ディテクタ要素の面重心が、他のグループのディテクタ要素の面重心と同一であるようにグループが形成されるようにブラインド構造を配設する。 （もっと読む）

【課題】大型化を招かずに広範囲で絶対位置信号を高精度に取得可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターンは、｜(ｍ・Ｐ１−ｎ・Ｐ２)｜＜｜(Ｐ１−Ｐ２)｜を満たすように移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。エンコーダの信号処理手段３０は、第１の変調周期Ｐ１の位相である第１の位相Φ１を取得する第１の位相取得手段３２と、第２の変調周期Ｐ２の位相である第２の位相Φ２を取得する第２の位相取得手段３３と、整数ｍ、ｎに対し、Ａ／Ｂ＝ｎ／ｍの関係を満たす２つの係数Ａ、Ｂを用いてＳｖ＝Ａ・Φ１−Ｂ・Φ２を満たすＳｖを前記スケールの位置を表す位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】巻き取り器に巻き取られる用紙が少ない場合でも巻き取り器の回転方向を検出できる回転検出装置、回転検出方法、及びプリンタを提供する。
【解決手段】回転体１２と、回転体に伴って回転する回転板１３と、回転板から透過した光を検出する光検出部１４と、検出した光の強度の増減に基づいて回転体の回転方向を検出する回転方向検出部１５と、を備え、回転板は、一つの回転方向に対して幅が単調に変化するスリット１３１を有する。 （もっと読む）

【課題】信号の復調を可能とする位相変化速度を向上する。
【解決手段】パルス光を出力するパルス光源１と、物理量を検知するセンシングファイバ１１ａ、およびセンシングファイバ１１ａと伝搬遅延時間（τｄ）が等しい遅延補償ファイバ３０ａを有し、パルス光源１からのパルス光を干渉させる干渉計５と、干渉計５からの干渉光をサンプリングして物理量に対応する信号φを検出する検出部と、を備え、パルス光源１は、センシングファイバ１１ａにパルス光が入力してから出力されるまでの伝搬遅延時間（τｄ）より短い周期で、パルス光を出力し、検出部は、センシングファイバ１１ａの伝搬遅延時間（τｄ）より短い周期で、干渉光をサンプリングする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、回転体の相対回転角および絶対回転角を検出することができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】相対回転角検出部２２は、相対回転角検出用受光部２０からの出力信号を受けて、コードホイール１の透過領域としての光オン部１１ａ，１１ｂおよび遮断領域としての光オフ部１２からの光量の相違に基づいて、コードホイール１の相対回転角を検出する。一方、絶対回転角検出部２３は、絶対回転角検出用受光部２１からの出力信号を受けて、コードホイール１の第１の領域としての第１光オン部１１ａおよび第２の領域としての第２光オン部１１ｂからの光量の相違に基づいて、コードホイール１の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】経済的で頑丈であるとともに設置しやすく高分解能な光学式エンコーダおよびその読取ヘッドを提供すること。
【解決手段】２つの部材間の相対位置を測定する光学式エンコーダは、スケール格子と、この格子を照らす第１波長光源を備える読取ヘッドとを備える。格子はスケール光を出力し、変位する周期的強度パターンを第１波長で形成する。読取ヘッドは複数の空間位相検出器を備え、空間位相検出器は、周期的な空間フィルタと、第１波長周期的強度パターンから生じる光を受光し、第２波長光を出力する蛍光体層と、この第２波長光を受光・感知する光検出素子とを備える。光検出素子は、第１波長周期的強度パターンの空間フィルタ処理後のパターンに対応する第２波長光を受光し、当該空間位相検出器に対する空間位相を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】交差する二つの基準尺を備えた光学式位置測定装置を、二つの基準尺間の走査検知間隔を追加して測定できるようにする。
【解決手段】走査検知尺が二つの方向Ｘ，Ｙの第一または第二方向で、基準尺が両方向のそれぞれ別の方向で延伸しており、基準尺が第一および第二方向に対して直角な第三方向Ｚで、走査検知尺に対し走査検知間隔ｄだけオフセットして配設され、さらに光源ＬＱを備え、その光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの交点で走査検知尺Ａを通過し基準尺Ｍに当たって、走査検知尺Ａに向かって戻りディテクタに到達し、光が走査検知尺Ａと基準尺Ｍの光学的機能構造において回折により異なった分光に分割されて再び一緒にされ、第一方向Ｘで走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間が移動する時に、分光の干渉によりディテクタで周期的な信号を発生する。そこで、走査検知尺Ａと基準尺Ｍ間の走査検知間隔ｄが変化する時に同じく、ディテクタで周期的な信号が発生する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの走査検知格子および少なくとも一つの測定目盛を有する目盛板の間の相対移動を検出するための光学式角度測定装置を提供する。
【解決手段】その走査検知格子は直線走査検知格子として構成されており、目盛板には測定目盛として、第一および第二組合せラジアル円環格子を含み、そしてミラーを有している。それにより入射する光束が走査検知格子で、まず二つの分光光束に分割される。その分光光束が、第一組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が、ミラーの方向に進み、そこで第二組合せラジアル円環格子の方向に反射される。その分光光束が、引き続いて第二組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が走査検知格子の方向に進み、そこで分光光束の重ね合わせが生じる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単かつ小型な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、また高い分解能の検出が可能となるようにする。
【解決手段】発光素子９と受光素子１０を有する反射型フォトセンサ７、移動方向に対し上り傾斜Ｋａ及び下り傾斜Ｋｂを有する形状が形成された反射板８を備え、上記受光素子１０では、検出出力が反射板８の移動量に応じて直線的に変化するように、移動方向の中心部から両端へ向かう程、単位長さ当りの面積が広くなる受光領域を設け、上記反射板８をフォトセンサ７の発光／受光面Ｓ_Ｌに略平行で、かつ発光素子９と受光素子１０を結ぶ方向に略垂直となる方向に移動するように配置する。これにより、長い距離でリニアリティがあり、高分解能の検出ができる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成でターゲット面と垂直な成分を含む方向の変位量を測定することができる画像相関変位センサを提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる画像相関変位センサは、照射光を出射する照射部１３０'と、ターゲット面３００で生成したスペックルフィールドを複数回に亘って撮像するために用いられ、ターゲット面近傍においてターゲット面の法線方向から傾斜した光線路Ａと、光線路Ｂ'と、光線路Ａ，Ｂ'の少なくとも一方を偏向する素子１１０'と、を有する撮像部２４０と、光線路Ａにおいて撮像することにより得られた複数画像と光線路Ｂ'において撮像することにより得られた複数画像とに基づいて、ターゲット面３００の法線成分を含む方向の変位を計算する処理部２００と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】センシングファイバの数を多くしてもクロストークを抑え、繰り返し周期、高周波等の自由度が高い構成を有する光ファイバセンサアレイ等を得る。
【解決手段】往路伝送ファイバ２を介して伝送したパルス光源１の光を通過させ、また、物理量に基づいて伸縮する複数のセンシングファイバ１１１と、各センシングファイバ１１１の通過前後の光から任意の波長の光を反射する複数のＦＢＧ１１２と、センシングファイバ１１１及びＦＢＧ１１２をグループ分けして構成した複数のセンサグループ１１０毎に設けられ、パルス光源１側からの光を対応するセンサグループ１１０のセンシングファイバ１１１に通過させ、対応するセンサグループ１１０側からのＦＢＧ１１２による反射光を復路伝送ファイバ３側に通過させる複数の光サーキュレータ１２０と、反射光を合波して復路伝送ファイバ３に通過させる複数の光カプラ１３０とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ひとつのセンシングシステムで、多様な物理量のセンサがサポートでき、且つ、複数地点での多様な物理量が同時に観測できるシステムを提供すること。
【解決手段】本発明では、ＰＮ符号で変調された出射光を、光源部から異なる光路長の地点にそれぞれ配設された複数の光ファイバセンサから構成されたセンサ群に出射し、反射応答光とＰＮ符号との相互相関処理によって複数の光ファイバセンサ毎の反射応答信号を得るように構成される光ファイバセンシングシステムにおいて、センサ群は、異なる物理量を検出し得る少なくとも１つ以上の方式に対応した光ファイバセンサを含み、光源部は、異なる遅延時間の遅延ＰＮ符号で変調され、光ファイバセンサに適合した複数種類の出射光を送出する複数の光源を備え、処理部は、センサ群からの反射応答光のデジタル信号と遅延ＰＮ符号との相互相関処理によってセンサ群の反射応答信号を得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】雑音の大きい広帯域光源を用いてもＡＥ信号を適切に計測する。
【解決手段】ＦＢＧセンサ部２１を含む構成で片持ちハリもしくは両持ちハリ状態に配置される光ファイバ２２と、ＦＢＧセンサ部２１のブラッグ波長を含む広帯域光源２と、ＦＢＧセンサ部２１から反射した光を分離する光サーキュレータ３と、反射光が入射するファブリペローフィルタ５，６と、光を電気信号に変換する光電変換器７，８と、光電変換器７，８から出力される光強度変化を集録する信号集録装置２３と、信号集録装置２３により集録された電圧信号を連続ウェーブレット変換で処理する信号処理装置２４と、連続ウェーブレット変換された信号から特定の周波数に相当する信号を抽出し且つ閾値を設けてＡＥ信号かどうかを判別する信号判別装置２５と、を備える。 （もっと読む）