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Fターム[2F103EC01]の内容

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【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】迷光/ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源208に対して光検出器212を上方に配置し、光源208と光検出器212との相対的な高さの差により、反射迷光232の影響を阻止し、光学エンコーダ204が、光源208と光検出器212との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器212におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第1手段と、サンプリング毎に前記第1手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第2手段と、第1サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第2サンプリングでの前記組み合わせを予測する第3手段と、前記第1手段により得られた前記第2サンプリングでの位相から、前記第3手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第4手段と、前記第3手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第2サンプリングでの前記組み合わせを得る第5手段とを有する。 (もっと読む)


【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度(明暗)を光学的に検知し、検知した輝度(明暗)に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】一次元のスケール格子に対するスケール光結像系の二次元の変位を検出でき、構造が簡単な変位センサを提供する。
【解決手段】X方向に配置されたスケール格子110から結像系190にZ軸にほぼ平行なスケール光成分OP1A、OP1Bを射出し、Z方向に平行な光路OP1に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部201は、X方向の変位を示す変位信号を出力し、スケール格子110から結像系190にZ軸から傾いた方向にほぼ平行にスケール光成分OP2A、OP2Bを射出し、Z方向から傾いた光路OP2に沿って伝播した当該スケール光成分を受光した検出部202は、X方向の変位とZ方向の変位とを含む変位信号を出力する。 (もっと読む)


【課題】高い回折効率を示し、精度良く位置検出を行える変位検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】台形または矩形のレリーフ形状をした回折格子を用いる。また、可干渉光を出射する光源部と、光源部から出射された光束を二つの光束に分割する光束分割部と、を含み、二つの光束をP偏光として回折格子上に照射させる照射光学系と、二つの光束が回折格子により回折されることによって生じる二つの第1回折光をそれぞれ反射し、回折格子上にP偏光として再入射させる反射光学系を備える。また、回折格子に再入射した二つの第1回折光が回折されて生じる二つの第2回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉光学系により干渉した光を受光する受光部と、受光部において取得した干渉信号に基づいて、回折格子の位置情報を検出する位置検出部を備えるものとする。そして、回折格子のレリーフの周期を、回折格子に入射する可干渉光の波長の1.5倍以下とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、100℃〜130℃程度の高温下で、蒸気・切削油等にも触れる可能性のある環境下でも、安定した検出精度を維持することのできる光学式エンコーダを提供し、かつ、光学式エンコーダに用いられるコード板の製造において、コード板の金型の十分な寿命と、得られる成形品(コード板)の高い信頼性とを確保することを目的とする。
【解決手段】本発明は、投光部と、受光部と、樹脂材料からなるコード板とを備えた光学式エンコーダであって、前記コード板は、V字溝またはV字突起を含むコードパターンを有し、前記樹脂材料は、130℃における検出に用いられる波長の光に対する屈折率が1.6以上であり、かつ、ガラス転位点が190℃以下であることを特徴とする、光学式エンコーダである。 (もっと読む)


【課題】迷光による干渉信号の変動を抑え、位置検出信号の内挿精度を改善し検出精度の向上を図る。
【解決手段】保護層表面の法線と入射光のなす角度をθ、回折格子11で発生する回折光が保護層12の境界面で反射し、迷光となって回折格子に再入射するとき回折格子面の法線のなす角をθ’としたとき、Δ=2L(n/cosθ’+tanθ’・sinθ)にて示される迷光とその迷光と干渉する光線の光路長差Δを、当該光路長差Δが0の場合における干渉信号の干渉強度に対し2%以下の干渉強度の干渉信号となる範囲内とする厚さLを有する屈折率nの保護層12で上記回折格子11の表面を覆う。 (もっと読む)


【課題】複数本の線状材を円筒部材の内壁に規則的に並べることで、ロータリーエンコーダとして小型化が可能となる。
【解決手段】ロータリーエンコーダ100で用いられる円筒型スケール102の作製方法であって、屈曲可能な基材108の上に、Y軸の方向に伸びる線材105(線状材)を複数本規則的に設けるパターン形成工程と、基材108を、Y軸を中心に円筒部材104の内壁の曲率に合わせて屈曲させ、線材105を内壁に貼り付ける貼付工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】少なくとも一つの走査検知格子および少なくとも一つの測定目盛を有する目盛板の間の相対移動を検出するための光学式角度測定装置を提供する。
【解決手段】その走査検知格子は直線走査検知格子として構成されており、目盛板には測定目盛として、第一および第二組合せラジアル円環格子を含み、そしてミラーを有している。それにより入射する光束が走査検知格子で、まず二つの分光光束に分割される。その分光光束が、第一組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が、ミラーの方向に進み、そこで第二組合せラジアル円環格子の方向に反射される。その分光光束が、引き続いて第二組合せラジアル円環格子の方向に進み、そこで回折される。その回折された分光光束が走査検知格子の方向に進み、そこで分光光束の重ね合わせが生じる。 (もっと読む)


【課題】スケール上に汚れ等がある場合、およびスケール上のパターンが統合パターンのような場合においても、検出精度の低下を抑制するとともに検出ヘッドをコンパクトに維持でき当該エンコーダが装着される制御機械のエラー止まりを少なくすることが可能となる。
【解決手段】検出ヘッド120は相対変位可能な方向に並ぶ複数の受光アレイ部PDi(i=1〜4)を備え、受光アレイ部PDiから出力される出力信号で検出ヘッド120の位置xを示す位置信号xiがそれぞれ算出され、複数の位置信号xiを合成しスケール110に対する検出ヘッド120の位置xを決定するのに、受光アレイ部PDi毎の位置信号xiに出力信号の大きさに従う重みづけ(信頼性係数Ri)がそれぞれ行われ、重みづけされた位置信号xiの平均が取られる。 (もっと読む)


【課題】回折格子が配置された面の垂直方向の変位のみを容易に検出することができる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置1は、照射光学系2と、干渉光学系3と、受光部4と、変位検出部5とを備えている。照射光学系3は、回折格子100の格子構造が周期的に並んでいるX方向に垂直な面に対して異なる角度でそれぞれ光束を回折格子に入射させる。干渉光学系3は、回折格子100に入射された入射光A1,B1のM次回折光A3,B3どうしを干渉させて干渉光を生じさせる。受光部4は、干渉光を受光して干渉信号を検出する。変位検出部は、干渉信号の変化から回折格子が設けられた面の垂直方向の変位を検出する。 (もっと読む)


【課題】小型であり、且つ回折格子で反射回折された回折光の光量の利用効率が従来よりも高いエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】エンコーダヘッド20は、光源部から照明光がスケール5(回折格子)に照射されてスケール5で反射回折された+1次回折光を反射させて当該+1次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール5に入射させる第1コーナーキューブ21と、スケール5で反射回折された−1次回折光を反射させて当該−1次回折光の回折角と等しい角度で再びスケール5に入射させる第2コーナーキューブ23とを有して構成される。 (もっと読む)


【課題】受光素子に十分な光量を確保させることができ、小型化することができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダ1は、格子状の目盛り21を有するスケール2と、スケール2に光を出射する光源31、スケール2と平行に配設され、スケール2にて反射される光を受光する受光素子32、スケール2にて反射される光を受光素子32に伝達するスケール側レンズ33、及びスケール2にて反射される光を導光するスケール用プリズム34を有するヘッド3とを備える。光源31から出射される光の光軸Lsrcは、目盛り21の直交方向では、スケール側レンズ33の光軸Lsに対して傾斜している。スケール用プリズム34は、目盛り21の直交方向では、スケール2にて反射される光の光軸をスケール側レンズ33の光軸Lsと一致させる。 (もっと読む)


【課題】検出器に設けられたレンズアレイの線膨張係数が検出器の受光部とスケールのうちのいずれかと異なっても、動作温度範囲を拡大しつつ、スケールに対する検出器の位置を正確に求めることが可能となる。
【解決手段】第1レンズアレイ114、第2レンズアレイ122がスケール102と受光部124とは異なる線膨張係数αLAを備え、第1レンズアレイ114、第2レンズアレイ122の特定の一箇所Xstで第1レンズアレイ114、第2レンズアレイ122と受光部124とが一体的に固定され、周期信号Fiから求められる位相信号φiはそれぞれ、異なる線膨張係数αLAに起因する位相ずれが解消されるように補正され、更に、補正された補正位相信号Cφiを平均して平均位相信号φavが求められ、スケール102に対する検出器110の位置が求められる。 (もっと読む)


【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子2と、格子干渉計4,5と、相対位置情報出力手段6,7とを備えている。格子干渉計4,5は、光源3と、反射手段12,13と、ビームスプリッタ17と、受光手段18,19とを有している。反射手段12,13は、回折格子2によって回折された1回回折光L,Lを反射させて、光源3からの光Lが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段12,13は、光源3から複合回折格子2への入射角度及び、1回回折光L,Lが回折格子2を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子2に1回回折光L,Lを入射させている。 (もっと読む)


【課題】走査ユニットとこのために湾曲された測定方向に可動で大きな据付け公差を備える尺度具体化部との相対運動を検出する高解像度光学位置測定装置を提供する。
【解決手段】走査ユニット20が少なくとも一つの反射器ユニットと一つの検出器ユニットを有し、反射器ユニットが一つの第一波面補正器、一つの光線方向インバーターと一つの第二波面補正器から成る。反射器ユニットは、走査ユニット20内で、光束が尺度具体化部10と第一波面補正器との第一組合せを通過し、引き続いて光線方向インバーターを介して尺度具体化部10への方向へ後方反射が行われ、次に検出器ユニットに衝突する前に、尺度具体化部10と第二波面補正器とから成る第二組合せを通過するようにされ、尺度具体化部10における第一回折によって生じる部分光束の波面変形は、尺度具体化部10における第一回折の際に部分光束の生じる波面変形を補償する波面変形に変換される。 (もっと読む)


【課題】受光素子が十分な光量を得ることができる小型光学式エンコーダを提供すること。
【解決手段】光学式エンコーダ1はスケールトラック2’を有するスケール2と、スケールトラック2’に光を出射する光源31と、光源31からスケールトラック2’に出射される光を透過するスケール側レンズ32と、スケール側レンズ32を介してスケールトラック2’によって反射された光を受光する受光素子33とを有する読取ヘッド3とを有する。光源31は、スケール側レンズ32と受光素子33との間に配設される。光源31の光軸Lsrcは、スケール2の読取方向においてスケール側レンズ32の光軸と一致し、スケール2の読取方向に直交する方向において、スケール側レンズ32の光軸Lsから所定距離Dだけ離隔されている。 (もっと読む)


【課題】従来に比べて高精度検出が可能で光利用効率が高い光学式エンコーダ用センサ、及び光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】発光素子1と、発光素子の出射光が通過する第1回折格子3と、第1回折格子を通過し光学式スケール30にて反射した特定の周波数の反射光が透過する第2回折格子4と、第2回折格子を通過した光を受光する受光素子2と、上記発光素子、上記受光素子、上記第1回折格子、及び上記第2回折格子を一体的に形成するセンサユニット6と、を備え、センサユニットは、発光素子と第1回折格子との光路間に発光素子の出射光を偏向する光偏向素子5を一体に有する。 (もっと読む)


本発明は、光学式の回転角センサないし回転検出器のための改良されたコーディングディスク、改良されたコーディングディスクを備える光学式の回転角センサないし回転検出器、ならびに回転検出器の角度測定誤差を、特に、特にコーディングディスクの変位ないし偏心によって生じる角度測定誤差を、光学式に修正ないし補正する方法に関する。コーディングディスク(20)は、少なくとも1つの目盛トラック(22)と少なくとも1つの補正トラック(24)とを含んでおり、目盛トラック(22)はコーディングディスク(20)の第1の半径方向領域に配置されており、補正トラック(24)は目盛トラック(22)に対してセンタリングされて、コーディングディスク(20)の第2の半径方向領域に配置されており、それにより目盛トラック(22)の中心は補正トラック(24)の中心と一致している。補正トラック(24)は、補正トラックの一領域に入射する光の少なくとも一部分が、補正トラック(24)により、補正トラックと目盛トラック(22,24)の共通の中心を通る軸の方向へ半径方向に偏向されるように設計されるのが好ましい。補正トラックにより偏向される読取り光の方向は、補正トラックと目盛トラックの共通の中心を通る軸との交点を有しているのが好ましく、補正トラックと当該交点との間隔は、補正トラックと目盛トラックの間の光路の長さに相当している。読取り光は、コヒーレントまたはインコヒーレントであってよい。補正トラックの半径は、目盛トラックの半径よりも小さいか、またはこれより大きいか、またはこれと等しくてよい。補正トラック(24)は回折構造を有しているのが好ましい。
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