【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】複数の検出用導光部材に光を好適に分配し得る光学式センサを提供する。
【解決手段】光学式センサは、光源１０と、光源１０に光学的に結合された光ファイバー２０と、光ファイバー束４０と、光ファイバー２０から光ファイバー束４０に光を分配する光分配部３０と、光ファイバー束４０によって導光された光を分離して検出する光分離検出器５０を有している。光ファイバー束４０は、複数の光ファイバー４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ，４１Ｅ，４１Ｆを有している。光ファイバー４１Ａ〜４１Ｆは、それぞれ、物理化学状態に応じて光学特性が変化する特性検出部４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ，４２Ｅ，４２Ｆを有している。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】位置測定装置における可動部材をできる限り他の部材と機械的に接続せずに成る高精度の位置測定装置を提供すること。
【解決手段】検出ユニット２０と信号ユニット３０を構造的に分離されたユニットとして形成し、検出ユニット２０を測定標準１０に対して少なくとも１つの測定方向ｘに沿って変位可能に配置し、光源から照射されるビームを信号ユニット３０から検出ユニット２０の方向へ照射し、少なくとも１対の部分ビームを検出ユニット２０から信号ユニット３０の方向へ照射し、検出ユニット２０及び信号ユニット３０を互いに平行な平面内に配置し、信号ユニット３０と検出ユニット２０の間におけるビームの少なくとも一部の拡がり方向を前記平面に対して垂直に配向するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】調整の容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】撮像素子が受光した全体領域から第１および第２部分領域を抽出し、抽出された第１および第２各部分領域で受光した干渉光の強度を複数の時刻で取得し、各時刻における前記強度のうちの一方および他方をそれぞれX座標値およびY座標値としたときのY座標値の最大値と最小値との差分を第１差分Aとして算出し、X座標値およびY座標値の組み合わせのデータを一次関数で近似した場合の傾きαを算出し、この傾きがゼロとなるようにXY座標系を回転し、回転後のXY座標系におけるY座標値の最大値と最小値との差分を第２差分B’として算出し、δ＝asin{(B’/cosα)/A}で表される角度δを算出し、当該角度δを干渉光の位相分布の均一性を示す指標として決定する。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】検出部取付・調整の際の作業性を向上させる。
【解決手段】測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を受光する受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理する信号処理装置と、検出ヘッドと信号処理装置との間で信号の伝送を行う信号伝送手段とを備え、信号処理装置又は信号処理装置に接続された情報処理装置にスケールに対する検出ヘッドの取り付け姿勢を示す情報を表示する表示手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】光増幅器モジュールや基準温度部のペルチェモジュールに放熱用のヒートシンクを取り付けず、また、冷却ファンも使用しないで、光増幅器モジュールの放熱が可能であり、かつ、筐体のコンパクト化と低消費電力化を図ることができる分布型光ファイバ温度センサを提供する。
【解決手段】光源１と、該光源１からの出射光を増幅する光増幅器モジュール２と、該光増幅器モジュール２で増幅されて出射された出射光を伝搬して温度分布を測定するための温度測定用光ファイバ６と、該温度測定用光ファイバ６の一部に設けられた基準温度部４を温めてその温度を制御するためのペルチェモジュール１１と、を有する分布型光ファイバ温度センサであって、前記ペルチェモジュール１１は、前記光増幅器モジュール２からの熱を吸熱すると共に、該吸熱された熱で前記基準温度部４を温めてその温度を制御するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダの専用の発光素子を不要にして部品点数を削減することができるとともに、電気基板のレイアウトの自由度を高めることができるデジタルカメラを提供する。
【解決手段】デジタルカメラは、外装部材に対して回転操作可能なフロントリングと一体に回転が可能に該フロントリングに支持され、回転方向に複数のスリット５１が一定間隔で設けられた回転部材５と、外装部材に形成される表示窓３に向けて光を照射する発光素子と、発光素子が発光した光を導光して回転部材５に向けて照射する導光部材６と、導光部材６の照射端６２から照射されて回転部材５のスリット５１を通過した光を受光する受光素子７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】雑音の大きい広帯域光源を用いてもＡＥ信号を適切に計測する。
【解決手段】ＦＢＧセンサ部２１を含む構成で片持ちハリもしくは両持ちハリ状態に配置される光ファイバ２２と、ＦＢＧセンサ部２１のブラッグ波長を含む広帯域光源２と、ＦＢＧセンサ部２１から反射した光を分離する光サーキュレータ３と、反射光が入射するファブリペローフィルタ５，６と、光を電気信号に変換する光電変換器７，８と、光電変換器７，８から出力される光強度変化を集録する信号集録装置２３と、信号集録装置２３により集録された電圧信号を連続ウェーブレット変換で処理する信号処理装置２４と、連続ウェーブレット変換された信号から特定の周波数に相当する信号を抽出し且つ閾値を設けてＡＥ信号かどうかを判別する信号判別装置２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ等の線状動力伝達部材の長手方向への変位を検出可能とすること。
【解決手段】マニピュレータの挿入部１は、先端に動作部１２を有する。動作部１２は、駆動部２１が駆動するワイヤ１３の変位によって作動する。ワイヤ１３には、ポテンショメータ部３３が設けられている。ワイヤ１３のポテンショメータ部を貫通する部分にはワイヤ１３の長手方向に連続的に光反射率が異なる反射面４２が固定されている。光学部３５が輻射する光はポテンショメータ部３３にその一端が固定された光ファイバ３１により導かれ反射面４２に照射される。反射面４２により反射される反射光強度は、ワイヤ１３の変位により異なる。前記反射光は光ファイバ３１により光学部３５へ導かれ、光学部３５に受光され信号処理部３６で信号処理されて、ワイヤ１３の変位が求められる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低価格で高効率なヘテロダイン干渉変位計測装置を提供する。
【解決手段】レーザ光束を一定速度で回転させる回折格子に照射し、互いに異なる次数を有し、かつ、第一の周波数差を有する２つの回折光束を生成し、得られた前記２つの回折光束を同一方向に同軸、かつ、偏光面が互いに直交するような合成光を生成し出力することで、所謂２周波レーザ光源に相当する機能を実現する部分と、前記合成光束を第一の周波数差のままで干渉させて第一の周波数差信号を生成する第１の干渉光学系と、光路長差が零近傍になるように構成された干渉光学系に入射させ、被計測物の変位量に応じて第二の周波数差を有する２つの光束を生成し、それらを干渉させることで第二の周波数差信号を生成し、第１周波数差信号と前記基準周波数差信号との差の情報から前記被計測物の前記変位に関する情報を算出し出力する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出器を複雑化することなく、原点マークでの光の回折による原点の誤検出を回避して正確な原点検出を可能とする。
【解決手段】測長方向で点光源２４に対して対称に配置される原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂと、原点マーク１４の位置に対応する原点検出信号を発生させることで原点信号を出力する原点信号処理部６０を有する信号処理部４０と、を備え、原点信号処理部６０は、原点マーク１４で反射されることにより生じるサイドローブ光により原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂから出力される信号レベルの最大値を規定値Ｖｔとして設け、原点信号受光部３２ｚの出力が規定値Ｖｔよりも大きな信号レベルとなる最初の位置から、原点信号受光部３２ｚｂの出力が規定値Ｖｔを超えてから規定値Ｖｔよりも小さな信号レベルとなる最初の位置の間に、原点検出の有効領域を設け、有効領域内で原点検出信号を発生させる。 （もっと読む）

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。
【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバＦ１のコアＣＲ１の端面（射出端面）と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバＦ２のコアＣＲ２の端面（受光端面）とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度変化や歪変化等の環境の変化があっても、測定精度を向上させることができる波長検波型ファイバセンサシステムの提供。
【解決手段】ファブリペローエタロンを構成する互いに近接配置された一対のファイバブラッググレーティングＦＢＧからなる測定用センサ素子２Ａと、この測定用センサ素子２Ａの反射帯域中にある1本の透過線スペクトルの中心波長を含む波長帯域を反射波長として有する帯域反射フィルタ２Ｂとを備えて構成した。一対の測定用センサ素子２Ａがファブリペローエタロンを構成することになるため測定用センサ素子から透過される光の透過スペクトルの半値全幅を従来の反射スペクトルの半値全幅より狭くできる。半値全幅を従来のＦＢＧよりも狭くすることによって、測定分解能を向上させることができる。 （もっと読む）