Fターム[2F105AA00]の内容
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慣性センサおよび慣性測定装置
【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高精度な慣性センサおよび慣性測定装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上方の圧電膜をパターニングして形成され、基板上に固定されるアンカー部と、圧電膜をパターニングして形成された重錘と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極を含む第1の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定され他端が重錘に固定される第1の梁と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極と同一形状の櫛型電極を含む第2の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定される第2の梁とを備え、第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の共振周波数の差を検出することで重錘に加わる加速度を測定可能とすることを特徴とする慣性センサおよびこれを用いた慣性測定装置。
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