【課題】高速で姿勢角度を算出すること。
【解決手段】姿勢角演算装置は、移動体の状態量を検出する状態検出手段と、状態検出手段により検出された移動体の状態量に基づいて、移動体の姿勢を示す四元数を算出する四元数算出手段と、四元数算出手段により算出された四元数におけるヨー軸成分をキャンセルして四元数の修正を行った修正四元数（Ｑｍｏｄ＝ｗ＋ｘｉ＋ｙｊ＋ｚｋ）を算出する修正手段と、修正手段により算出された修正四元数に基づいて、近似式を用いて移動体のロール角α及びピッチ角βを高速に算出する姿勢角計算手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子２は、振動体４、振動体４を支持する第１、第２支持部５１、５２および第１、第２支持部５１、５２と振動体４を連結する４つの梁６１、６２、６３、６４を有する振動片３と、振動体４に設けられた電極７１０〜７４０と、第１、第２支持部５１、５２に設けられ、梁６１、６２、６３、６４に設けられた配線７１２〜７４２を介して電極７１０〜７４０と電気的に接続された端子７１２〜７４２とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝５１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を備え、第５駆動振動腕４５と第１駆動振動腕４１とが逆位相で振動し、第６駆動振動腕４６と第２駆動振動腕４２、第７駆動振動腕４７と第３駆動振動腕４３、および第８駆動振動腕４８と第４駆動振動腕４４、のそれぞれも逆位相で振動し、Ｓ字振動が可能である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷増幅器からの出力信号にどのようなノイズ成分がのっている場合でも、確実にノイズ成分を除去することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７における第１の電荷増幅器３８と第２の電荷増幅器３９とから出力される出力信号の差値を増幅する差動増幅器４０にコンデンサ４５および抵抗４６を並列に接続したローパスフィルタ４７を設け、出力信号からノイズ成分を除去する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】物理量測定素子の感知方向と標準座標系の対応する標準軸とがずれても、標準軸の感度の直交性を有する物理量を求める多軸センサ出力補正装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の多軸センサ出力補正装置は、一つの物理量における特定方向の成分を測定する軸センサを複数組み合わせて構成された多軸センサの軸センサ毎の軸センサ測定物理量を、標準座標系の標準軸に対する軸ずれを補正し、標準軸に対応する軸センサ対応物理量に補正する装置であり、軸センサ各々が測定する軸センサ測定物理量を、標準軸の軸センサ対応物理量に補正する補正係数が記憶された記憶部と、この記憶部の補正係数により、軸センサ測定物理量を軸センサ対応物理量に補正する測定値補正部を有し、標準座標系における方向と強さとが自明の物理量である印加物理量を、軸センサに与えて軸センサ出力値を得て、印加物理量と軸センサ出力値から補正係数が求められている。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増加を抑えながら従来よりも低ノイズ化が可能な信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】Ｉ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）は、振動子１００の発振電流を電圧に変換する。ＲＣフィルター２２０（位相シフト部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号を位相シフトする。全波整流回路２４０（駆動振幅制御部の一部）は、位相シフトされた信号を２値化して切り替え制御信号２７を生成する。コンパレーター２６０（参照信号生成部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号に基づいて、同期検波用の参照信号２６を生成する。排他的論理和回路２７０（クロック信号生成部）は、参照信号２６と切り替え制御信号２７との位相差に基づいて、駆動信号２２の周波数の２倍の周波数を有するスイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）用のクロック信号２８を生成する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低ノイズ化が可能な検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】同期検波回路３２６（同期検波部）は、振動子１００の検出信号３２，３４を含む信号（アンプ３２４の出力信号）に対して同期検波を行う。スイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）回路３３０は、同期検波回路３２６により同期検波された信号（可変ゲインアンプ３２８の出力信号）をフィルター処理する。出力バッファ３３２は、ＳＣＦ回路３３０によりフィルター処理された信号をバッファリングして外部に出力する。ＳＣＦ回路３３０ゲインは１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】移動する物体の角速度及び回転方向を精度良く検出することができる光ジャイロを提供する。
【解決手段】リング形状の導波路を有する光共振器と、一方向に配列された複数の光検出素子を有する光検出器と、光共振器内を時計回り及び反時計回りで伝搬する光を、光共振器から光検出器へ導く検出用導波路と、を同一の基板上に備える。検出用導波路は、時計回りの光用の導波部と反時計周りの光用の導波部を有し、各導波部の出力端から出力される光のなす角が０度よりも大きく１度以下となるように２つの導波部が配置される。光検出器は、各導波部の出力端から出力される光が重なりあう位置であって、２つの導波部の光軸を線対称の関係とする軸と、光検出素子が配列された配列方向とのなす角が、０度よりも大きく４０度以下となるように検出用導波路に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、保持体及び第１枠体の外面にディンプルを形成することによって空気抵抗を低減させると共に、保持体及び第１枠体の回動時のモータの駆動電流を抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明によるジンバル駆動装置は、支持台(4)に回動自在に設けられた保持体(17)と、この保持体(17)の内側に設けられピッチ方向(B)に沿って回動自在とした第１枠体(20)と、前記第１枠体(20)内に設けられた１個又は複数のカメラ(2,28)とを備え、前記保持体(17)及び第１枠体(20)の外面(17a,20a)にはディンプル(40)が形成されている構成である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた検出精度を発揮することのできる物理量センサー素子、また、この物理量センサー素子を備える信頼性に優れた物理量センサーおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子１は、Ｘ軸方向に振動可能な駆動部３１と、駆動部３１と共にＸ軸方向に振動可能で、かつ、駆動部３１に対してＺ軸方向に振動可能な検出部３４と、駆動部３１に設けられたＹ軸方向延在部３１１、３１２と、Ｙ軸方向延在部３１１、３１２とＺ軸方向に配置された駆動用電極４１と、検出部３４とＺ軸方向に離間して配置された検出用電極５１とを有している。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた検出精度を発揮することのできる物理量センサー素子、また、この物理量センサー素子を備える信頼性に優れた物理量センサーおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子１は、Ｘ軸方向に振動可能な駆動部３１と、駆動部３１と共にＸ軸方向に振動可能で、かつ、駆動部３１に対してＹ軸方向に振動可能な検出部３４と、駆動部３１に設けられたＹ軸方向延在部３１１、３１２と、検出部３４に設けられたＸ軸方向延在部３４２と、Ｙ軸方向延在部３１１、３１２とＺ軸方向に配置された駆動用電極４１と、Ｘ軸方向延在部３４２とＺ軸方向に離間して配置された検出用電極５１とを有している。 （もっと読む）

【課題】補正タイミングを自己判定して角速度センサーのオフセット補正を行うことができるセンサー装置、電子機器及び角速度センサーのオフセット補正方法を提供すること。
【解決手段】初期状態検出部２１０は、加速度センサーの出力に基づいて加速度を算出し、算出した加速度と重力加速度が略一致する状態を初期状態として検出する。角速度算出部２２０は、初期状態における姿勢情報に基づいて初期状態における各検出軸方向の軸ベクトルを算出し、当該軸ベクトルと各検出軸方向の加速度成分と当該加速度成分の時間変化とに基づいて任意の軸回りに回転する角速度を算出する。角速度判定部２３０は、角速度算出部２２０が算出した角速度が略０である場合に、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定する。オフセット補正部４０は、角速度センサーに加わる角速度が０であると判定された時に、角速度センサーの出力のオフセットを補正する。 （もっと読む）

【課題】エッチングパターンの形状または大きさによらずに、正確に制御された深さの凹部を形成することができる半導体基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板３をエッチングするに際し、まず、それぞれ独立に区画されたエッチング領域８７に対向する位置に同一パターンの開口８８を多数有するレジスト５９をマスクとして、異方性の深掘り反応性イオンエッチングする。これにより、半導体基板３の表面部に、深さがほぼ等しく揃った凹部８９が多数形成される。次いで、多数の凹部８９を区画する半導体基板３の側壁９０を、半導体基板３の表面に平行な横方向にエッチングして除去する。 （もっと読む）

【課題】方位角の初期化誤差を小さくする。
【解決手段】ジャイロ１１と、外部ＩＮＳ２０の検出角速度とジャイロ１１の検出角速度を用い、外部ＩＮＳ２０に対する取付けミスアライメントを推定する角速度マッチング部４１と、外部ＩＮＳ２０が出力するロール角、ピッチ角及び方位角とジャイロ１１の検出角速度を用い、外部ＩＮＳ２０に対する取付けミスアライメントを推定する角度マッチング部４２と、慣性航法装置の姿勢角を求める姿勢角演算部と、姿勢角の変動から求められる動揺レベルにより角速度マッチング４１で推定される取付けミスアライメント、角度マッチング部４２で推定される取付けミスアライメント及び取付けミスアライメントの推定値がゼロのうち、いずれかを選択して出力する選択部４３と、外部ＩＮＳ２０から入力される方位角を選択部４３の出力によって補正する補正演算部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサに用いられる角速度センサ素子に関し、出力感度の大きな角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサ素子は、第１の駆動アーム１１ａおよび第２の駆動アーム１１ｂの形状を錘部１０の振動方向と直交する方向に延びるアーム辺の折り返し構造としたものであり、この構成によれば、第１の駆動アームおよび第２の駆動アームの振動方向への変位量が大きくなり、これにより、出力感度が大きな角速度センサ素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）

【課題】リニア加速度計を使用して、３つの軸のうちの任意あるいはすべてに関する回転を含むオブジェクトの位置の変化を測定する方法を提供する。
【解決手段】６次元の情報、すなわち、３つの次元における平行移動と３つの軸に関する回転について測定し、供給するために、２つの他の３Ｄのリニア加速度計２０を積分する１つのリニア加速度計を使用する方法が開示される。２つのリニア加速度計センサは、６自由度における変数のうちの１つ以外のすべてを決定するように使用される。第３の加速度計２３からの出力は、回転６自由度を決定するために必要なデータを生成する。ヘディングにおける変化（すなわち、ヨーあるいは方位）を検出するためのジャイロスコープの必要性は、それゆえに避けられることができる。 （もっと読む）