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Fターム[2F105AA02]の内容

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Fターム[2F105AA02]に分類される特許

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【課題】振動子に対し共振角周波数に等しい角周波数を持つ駆動信号を出力できないデジタル回路構成であっても、検出精度を低下させることなく角速度を検出する。
【解決手段】駆動回路3は、振動子1の共振角周波数を中心として、検出しようとする角速度の最大値よりも高い周波数で変化する角周波数を持つ駆動信号により振動子1を励振する。この変化周波数に対するPLL回路7の開ループ伝達関数の利得を1、位相を−180°に設定することにより駆動角周波数を持続的に変化させる。検出回路4は、センス信号を同期検波して得られる検波信号を、検出しようとする角速度の最大値よりも高く且つ駆動信号の角周波数の変化周波数よりも低い遮断角周波数を持つローパスフィルタ18に通過させる。 (もっと読む)


【課題】外部からの外乱振動の影響を抑制し、かつ外乱振動によって生じる不要な回転力に起因するオフセットドリフトを低減する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度検出素子11を収納するパッケージ10と、パッケージ10に接続されたリード端子17と、を有し、リード端子17は、パッケージ10に接続された第1の端部と、外部と接続するための第2の端部13を有し、第1の端部と第2の端部13の間に、所定の延在方向に伸びる延在面を有する板状の延長部16を有し、リード端子17の延在面は、第1の軸を含み、且つ、基部に対して直交する面に対して、直交している。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出レベルを安定させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ1内に下蓋5上で振動可能に懸架された振動型センサ素子2と、振動型センサ素子2を制御する制御回路素子3を収納した振動型センサ装置において、振動型センサ素子2の接続部6と支持部7の境界部分、あるいは、この境界部分と対峙する下蓋5部分に拡開部19を設け、この拡開部19を接着剤20の非流入部分とした。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動子から検出した信号に含まれる不正振動ノイズの影響を抑え、予め定められた値以上のSN比を確保して歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コリオリ力に応じた電気信号SR,SLと、コリオリ力に応じて変化しない基準信号FBとを検出することが可能な振動子と、振動子を駆動する駆動回路2と、振動子から検出した電気信号SR,SLに対して予め定められた処理を行ない角速度を検出する検出回路1とを備える角速度検出装置である。検出回路1は、振動子から検出した電気信号SR,SLと基準信号FBとの差分演算を行ない、電気信号SR,SLから振動子に生じている不正振動によるノイズを除去する駆動ノイズキャンセル回路12を有している。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動子の不正振動を抑え、不正振動によるノイズを小さくし、SN比の劣化を抑えて歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、音叉型の振動子100と、振動子100の腕部を振動方向に駆動する駆動回路200と、振動子100に角速度が加わることで生じる電気信号を検出する検出回路300とを備える角速度検出装置である。振動子100は、腕部の振動方向を制御する制御電極150,170をさらに有し、検出電極148,168は、腕部の中立面に対して対称の位置に形成した第1の検出電極部148a,168aと、第2の検出電極部148b,168bとを有し、一方の腕部に形成した第1の検出電極部および第2の検出電極部の合成電圧を、他方の制御電極に印加し、他方の腕部に形成した第1の検出電極部および第2の検出電極部の合成電圧を、一方の腕部の制御電極に印加する。 (もっと読む)


【課題】クワドラチャーエラーを補正してバイアス出力を低減できる構造を備えた振動型ジャイロの提供。
【解決手段】駆動振動にY方向成分が含まれる場合、駆動質量体6と固定電極24との間の静電容量が変化するので、Y方向成分をクワドラチャーエラーとして電気的に検出することができる。駆動質量体6と固定電極24との間の初期容量は、角速度検出用の電極の初期容量とは異なる大きさであり、クワドラチャーエラーの大きさも異なるので、それぞれの容量変化をC−V変換回路で電圧に変換し、電圧の振幅が一致するように可変アンプで調整し、位相を一致させて差分を出力すれば、クワドラチャーエラーが差し引かれた出力信号を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子100と、振動子100が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置1である。振動子100は、半導体基板上に形成した下部電極194と、下部電極194上に形成した圧電体(強誘電体層)142と、圧電体142上に形成した上部電極(第1駆動電極144など)とを有する。電子回路は、振動子100の上部電極と接続して、振動子100に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子100の下部電極194と接続し、圧電体142に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子44とを有する。 (もっと読む)


【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ40の内部で弾性材からなる支持部材20により振動子10が支持された振動子デバイス1であり、振動子10と異なる部材で形成した錘50を振動子10上に設けることで、支持部材20による振動子10の支持の中心位置P2と、錘50が設けられた振動子10の重心調整位置P3とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 (もっと読む)


【課題】角速度センサの有するクロック周波数とマスタコンピュータの持つクロック周波数とが異なる場合においても、正確な出力信号を出力することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】INT出力制御回路76から出力されるデータ更新信号に同期させて、角速度信号からなる応答信号を通信制御回路63における出力端子66からマスタコンピュータ68における入力端子71に入力する構成としたものである。 (もっと読む)


【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子2は、振動体4、振動体4を支持する第1、第2支持部51、52および第1、第2支持部51、52と振動体4を連結する4つの梁61、62、63、64を有する振動片3と、振動体4に設けられた電極710〜740と、第1、第2支持部51、52に設けられ、梁61、62、63、64に設けられた配線712〜742を介して電極710〜740と電気的に接続された端子712〜742とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝512が設けられている。 (もっと読む)


【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子1は、Y軸方向及びY軸方向と直交するX軸方向に平行な平面(XY平面)に沿った主面10a,10bを有する平板状の基部10と、基部10のプラスY側からプラスY軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕11a,11bと、基部10を挟んで駆動用振動腕11a,11bの反対側に、基部10のマイナスY側からマイナスY軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕12a,12bと、を備え、基部10の主面10a,10bには、一対の駆動用振動腕11a,11bと一対の検出用振動腕12a,12bとを結ぶ仮想線15a,15b,15c,15dと交差するように溝部16a,16b,17a,17bが設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子1は、互いに直交するY軸方向とX軸方向とにより規定される平面に沿った主面10a,10bを有する平板状の基部10と、基部10からY軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕11a,11bと、基部10を挟んで駆動用振動腕11a,11bの反対側に、基部10からY軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕12a,12bと、を備え、基部10のY軸方向の長さをL1、一対の駆動用振動腕11a,11bのY軸方向の長さをL2としたときに、1.2≦L1/L2≦4.2、であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】共振器の望ましくない偏光状態に整合された入力光、または共振器の望ましくない空間モードに整合された入力光からの干渉を最小限に抑えることにより、より正確な回転速度測定値を有する光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】光ビームを各逆伝播方向に循環させるリング共振器は、中空コアおよび第1および第2の端部を有する光ファイバコイル24と、入力光ビームを受け、入力光ビームの一部をリング共振器の逆伝播方向に向けるように構成された第1の光学素子40と、第1の光学素子と共に循環光ビームの大部分をリング共振器の逆伝播方向に向け、循環光ビームの伝送モード成分を端部の一方で導出するように構成された第2の光学素子42とを備える。入力光ビームの部分は、第1および第2の端部の一方に進入し、循環光ビームは入力光ビームに基づく。伝送モード成分は、リング共振器の逆伝播方向の共振ピークを示す。 (もっと読む)


【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス100は、第1部材10と、第1部材10に載置され、かつ、一方の面22側に設けられた孔部40と他方の面24側に設けられたキャビティー32とを備えたシリコン製の第2部材20と、キャビティー32に収容された機能素子102と、孔部40に配置された封止部材60と、を含み、孔部40は、平面視で多角形の開口42を有し、かつ、孔部40の底面41の一部に設けられた連通口70によってキャビティー32に連通している。 (もっと読む)


【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス100は、第1部材10と、第1部材10に載置され、かつ、一方の面22側に孔部40を備えたシリコン製の第2部材20と、第1部材10および第2部材20に囲まれるキャビティー32に収容された機能素子102と、孔部40に配置された封止部材60と、を含み、孔部70は、底面41を備え、該底面41の一部に設けられた連通孔70によってキャビティー32に連通し、孔部40の一方の面22側の開口42面積をS1、連通孔70の一方の面22側の開口72面積をS2、連通孔70のキャビティー32側の開口74面積をS3、孔部40の底面41の面積をS4としたとき、S2<S3<S4<S1の関係を有する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子61と、この角速度検出素子61を上面に中空保持する載置部63とこの載置部63に配線パターン64を介して接続された外方部65とからなる防振手段62と、角速度検出素子61からの出力信号を処理するIC67と、角速度検出素子61、防振手段62およびIC67を収納するパッケージ68とを備え、パッケージ68の内底面に加速度検出手段66を設けたものである。 (もっと読む)


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