【課題】振動子に対し共振角周波数に等しい角周波数を持つ駆動信号を出力できないデジタル回路構成であっても、検出精度を低下させることなく角速度を検出する。
【解決手段】駆動回路３は、振動子１の共振角周波数を中心として、検出しようとする角速度の最大値よりも高い周波数で変化する角周波数を持つ駆動信号により振動子１を励振する。この変化周波数に対するＰＬＬ回路７の開ループ伝達関数の利得を１、位相を−１８０°に設定することにより駆動角周波数を持続的に変化させる。検出回路４は、センス信号を同期検波して得られる検波信号を、検出しようとする角速度の最大値よりも高く且つ駆動信号の角周波数の変化周波数よりも低い遮断角周波数を持つローパスフィルタ１８に通過させる。 （もっと読む）

【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子１は、互いに直交するＹ軸方向とＸ軸方向とにより規定される平面に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０のＹ軸方向の長さをＬ１、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂのＹ軸方向の長さをＬ２としたときに、１．２≦Ｌ１／Ｌ２≦４．２、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に孔部４０を備えたシリコン製の第２部材２０と、第１部材１０および第２部材２０に囲まれるキャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部７０は、底面４１を備え、該底面４１の一部に設けられた連通孔７０によってキャビティー３２に連通し、孔部４０の一方の面２２側の開口４２面積をＳ１、連通孔７０の一方の面２２側の開口７２面積をＳ２、連通孔７０のキャビティー３２側の開口７４面積をＳ３、孔部４０の底面４１の面積をＳ４としたとき、Ｓ２＜Ｓ３＜Ｓ４＜Ｓ１の関係を有する。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に設けられた孔部４０と他方の面２４側に設けられたキャビティー３２とを備えたシリコン製の第２部材２０と、キャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部４０は、平面視で多角形の開口４２を有し、かつ、孔部４０の底面４１の一部に設けられた連通口７０によってキャビティー３２に連通している。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を備え、第５駆動振動腕４５と第１駆動振動腕４１とが逆位相で振動し、第６駆動振動腕４６と第２駆動振動腕４２、第７駆動振動腕４７と第３駆動振動腕４３、および第８駆動振動腕４８と第４駆動振動腕４４、のそれぞれも逆位相で振動し、Ｓ字振動が可能である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な感度特性および帯域特性を有するジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー１００は、駆動用バネ部１１４に接続されている駆動用支持部１１２を備えた駆動部１１０と、駆動用支持部１１２に検出バネ部１２４を介して接続されている検出用支持部１２２を備えた検出部１２０と、を含み、駆動用支持部１１２は第１軸（Ｘ軸）の方向に振動可能であり、検出用支持部１２２は第１軸（Ｘ軸）に直交する第２軸（Ｙ軸）の方向に変位可能であり、駆動部１１０の共振周波数をｆ_１とし、検出部１２０の共振周波数をｆ_２とし、駆動用バネ部１１４の幅をｗ_１とし、検出用バネ部１２４の幅をｗ_２とすると、下記式（１）を満たす。
０．８７（ｆ_２／ｆ_１）≦（ｗ_２／ｗ_１）≦１．１３（ｆ_２／ｆ_１） ・・・ （１）
（ただし、ｗ_１≠ｗ_２、かつｆ_１≠ｆ_２） （もっと読む）

【課題】母基板への実装が容易となったセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ基板（１０）と、回路基板（３０）と、パッケージ（５０）と、を有し、パッケージ（５０）が母基板（２００）に実装されるセンサ装置であって、パッケージ（５０）は、底部（５１）と、該底部（５１）に形成された環状の側壁部（５２）と、該側壁部（５２）の開口部を閉塞する蓋部（５３）と、を有し、センサ基板（１０）は、底部（５１）、側壁部（５２）、及び、蓋部（５３）によって構成された密閉空間内に配置され、回路基板（３０）は、密閉空間の外部に配置され、回路基板（３０）が接続された底部（５１）の外壁面（５１ｂ）には、ｚ方向の長さが、回路基板（３０）よりも長い凸部（５６）が形成され、該凸部（５６）と母基板（２００）とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を有し、第１駆動振動腕乃至第４駆動振動腕におけるＺ軸方向の第１面外振動の周波数と、第５駆動振動腕乃至第８駆動振動腕におけるＺ軸方向の第２面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第２面外振動の周波数との差である第２離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサ（２０）は、振動運動を受けるように構成された駆動質量（３０）と、駆動質量（３０）に連結された感知質量（３２）とを含む。軸上トーションばね（５８）は、感知質量（３２）に結合され、当該軸上トーションばね（５８）は回転軸（２２）と同一ロケーションに配置されている。慣性センサ（２０）は、軸外ばねシステム（６０）をさらに含む。軸外ばねシステム（６０）は、軸外ばね（６８、７０、７２、７４）を含み、その各々は、感知質量（３２）上の回転軸（２２）からずれたロケーションにおいて感知質量（３２）に結合された接続接合部分（７６）を有する。合わせて、軸上トーションばね（５８）および軸外ばねシステム（６０）は、感知質量（３２）が、駆動質量（３０）の駆動周波数に実質的に一致する感知周波数において回転軸（２２）を中心として平面外で振動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１の開口部１ａに振動型センサ素子２及びこれを制御する制御回路素子３を配置して上蓋４で封口する振動型センサ装置において、上蓋４を金属で成形し、この上蓋４に自己共振周波数を調節する自己共振周波数調整手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１〜２４４と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１の調整用電極と、調整用振動腕２４３、２４４に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４３、２４４の振動に伴って、第１の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第２の調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って１の方向とは異なる第２の方向に振動する検出用振動腕２３１、２３２と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用振動腕２３１、２３２の第１の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕２３１、２３２の第２の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１、２４２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、１対の検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って、第１電極とは逆極性となる電荷を出力する１対の第２電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】別部品を用意することなく、検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】隣接するリード３０がケース２１から突出している部分において固定タイバー３１によって連結されているものを備えるケース２１を用意し、ケース２１に接合部材４０を介してセンサ部１０を搭載する。その後、固定タイバー３１の一部をリード３０に残しつつカットしてリード３０を分離することにより、センサ部１０をリード３０のうちケース２１から突出する部分および固定タイバー３１の残部にて構成されるリード部３２の共振周波数に対する振動を吸収する動吸振器として作用させるカット工程を行う。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】自励発振回路２６は、振動腕２１ａ、２１ｂに固定される駆動電極２２ａ、２２ｂを通じて、振動腕２１ａ、２１ｂの自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。物理量の作用に応じて振動腕２１ａ、２１ｂに対して相対的に変位する相対変位片上には検出電極２５ａ、２５ｂが配置される。検出電極２５ａ、２５ｂは、駆動電極２２ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２２ａから離れる。検出回路２７は、駆動信号に基づき、検出電極２５ａ、２５ｂからの静電容量信号を駆動信号検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】低速光の使用によって感度を上昇させる、光センサのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの光結合器４６と、複数のループを含む光導波路４２と、光検出器とを備えている。光導波路は、少なくとも１つの光結合器に光学的に連通し、複数のループの対称軸を中心とする光導波路の回転によって少なくとも１つの光結合器と光導波路とが互いに関して移動することができるように、少なくとも１つの光結合器から機械的に分断され、光導波路は、少なくとも１つの光結合器から第１の光信号を受取るように構成され、第１の光信号１４は、光導波路の少なくとも一部分を伝播する間、ある群速度およびある位相速度を有し、群速度は位相速度未満であり、第１の光信号と第２の光信号との間の干渉は、対称軸を中心とする光導波路の回転によって影響される。光検出器は第１の光信号と第２の光信号との間の干渉を検出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】両側音叉型の振動ジャイロ素子において、駆動用検出腕の機械的振動漏れによる影響を解消又は軽減して検出精度及び感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は支持部１２から互いに逆向きに延出する各１対の駆動用振動腕１３ａ，１３ｂと検出用振動腕１４ａ，１４ｂとを備え、駆動用振動腕は駆動モードでＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｄで屈曲振動し、検出モードではＹ軸周りの回転によるコリオリ力によってＺ軸方向に逆相で屈曲振動し、検出用振動腕がＺ軸方向に駆動用振動腕とは逆相で屈曲振動する。検出用振動腕はＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｈ＜ｆ_ｄで屈曲振動するように設定され、共振周波数ｆ_ｈは駆動モードにおいて各検出用振動腕から出力される検出信号の値Ｓ1，Ｓ2との差｜Ｓ1−Ｓ2｜を小さくするように設定される。 （もっと読む）