【課題】本発明は、振動センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出レベルを安定させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１内に下蓋５上で振動可能に懸架された振動型センサ素子２と、振動型センサ素子２を制御する制御回路素子３を収納した振動型センサ装置において、振動型センサ素子２の接続部６と支持部７の境界部分、あるいは、この境界部分と対峙する下蓋５部分に拡開部１９を設け、この拡開部１９を接着剤２０の非流入部分とした。 （もっと読む）

【課題】外部からの外乱振動の影響を抑制し、かつ外乱振動によって生じる不要な回転力に起因するオフセットドリフトを低減する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度検出素子１１を収納するパッケージ１０と、パッケージ１０に接続されたリード端子１７と、を有し、リード端子１７は、パッケージ１０に接続された第１の端部と、外部と接続するための第２の端部１３を有し、第１の端部と第２の端部１３の間に、所定の延在方向に伸びる延在面を有する板状の延長部１６を有し、リード端子１７の延在面は、第１の軸を含み、且つ、基部に対して直交する面に対して、直交している。 （もっと読む）

【課題】クワドラチャーエラーを補正してバイアス出力を低減できる構造を備えた振動型ジャイロの提供。
【解決手段】駆動振動にＹ方向成分が含まれる場合、駆動質量体６と固定電極２４との間の静電容量が変化するので、Ｙ方向成分をクワドラチャーエラーとして電気的に検出することができる。駆動質量体６と固定電極２４との間の初期容量は、角速度検出用の電極の初期容量とは異なる大きさであり、クワドラチャーエラーの大きさも異なるので、それぞれの容量変化をＣ−Ｖ変換回路で電圧に変換し、電圧の振幅が一致するように可変アンプで調整し、位相を一致させて差分を出力すれば、クワドラチャーエラーが差し引かれた出力信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ４０の内部で弾性材からなる支持部材２０により振動子１０が支持された振動子デバイス１であり、振動子１０と異なる部材で形成した錘５０を振動子１０上に設けることで、支持部材２０による振動子１０の支持の中心位置Ｐ２と、錘５０が設けられた振動子１０の重心調整位置Ｐ３とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの有するクロック周波数とマスタコンピュータの持つクロック周波数とが異なる場合においても、正確な出力信号を出力することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ＩＮＴ出力制御回路７６から出力されるデータ更新信号に同期させて、角速度信号からなる応答信号を通信制御回路６３における出力端子６６からマスタコンピュータ６８における入力端子７１に入力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に孔部４０を備えたシリコン製の第２部材２０と、第１部材１０および第２部材２０に囲まれるキャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部７０は、底面４１を備え、該底面４１の一部に設けられた連通孔７０によってキャビティー３２に連通し、孔部４０の一方の面２２側の開口４２面積をＳ１、連通孔７０の一方の面２２側の開口７２面積をＳ２、連通孔７０のキャビティー３２側の開口７４面積をＳ３、孔部４０の底面４１の面積をＳ４としたとき、Ｓ２＜Ｓ３＜Ｓ４＜Ｓ１の関係を有する。 （もっと読む）

【課題】共振器の望ましくない偏光状態に整合された入力光、または共振器の望ましくない空間モードに整合された入力光からの干渉を最小限に抑えることにより、より正確な回転速度測定値を有する光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】光ビームを各逆伝播方向に循環させるリング共振器は、中空コアおよび第１および第２の端部を有する光ファイバコイル２４と、入力光ビームを受け、入力光ビームの一部をリング共振器の逆伝播方向に向けるように構成された第１の光学素子４０と、第１の光学素子と共に循環光ビームの大部分をリング共振器の逆伝播方向に向け、循環光ビームの伝送モード成分を端部の一方で導出するように構成された第２の光学素子４２とを備える。入力光ビームの部分は、第１および第２の端部の一方に進入し、循環光ビームは入力光ビームに基づく。伝送モード成分は、リング共振器の逆伝播方向の共振ピークを示す。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を備え、第５駆動振動腕４５と第１駆動振動腕４１とが逆位相で振動し、第６駆動振動腕４６と第２駆動振動腕４２、第７駆動振動腕４７と第３駆動振動腕４３、および第８駆動振動腕４８と第４駆動振動腕４４、のそれぞれも逆位相で振動し、Ｓ字振動が可能である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止する。
【解決手段】角速度センサ装置（２１）は、内部ユニットを外部ケース（２３）内に収容して構成され、回路基板上に実装される。外部ケース（２３）の下カバー（３２）に、空気抜き用の４個の呼吸穴（３６）を形成する。下カバー（３２）の下面部に、回路基板上に塗布された防湿剤が、該下カバー（３２）の下面部に付着した際に、その防湿剤を呼吸穴（３６）以外の部位に誘導するための溝部（３７）を、下カバー（３２）の四辺部寄り部位に呼吸穴（３６）形成部分を取囲むように矩形枠状に形成する。 （もっと読む）

【課題】検出質量体が駆動質量体と弾性的に分離されており、駆動質量体の駆動振動によって検出質量体が駆動変位相当の変位を伴わない構造を有し、かつ、製造ばらつきに起因する構造的非対称性により発生する検出質量体の変位を相殺する手段を有する振動型ジャイロの提供。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面の第３象限内及び第４象限内には、それぞれ、検出質量体１４の櫛歯電極４４に対向する第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２が基板２に固定配置される。第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２にＡＣ電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサ（２０）は、振動運動を受けるように構成された駆動質量（３０）と、駆動質量（３０）に連結された感知質量（３２）とを含む。軸上トーションばね（５８）は、感知質量（３２）に結合され、当該軸上トーションばね（５８）は回転軸（２２）と同一ロケーションに配置されている。慣性センサ（２０）は、軸外ばねシステム（６０）をさらに含む。軸外ばねシステム（６０）は、軸外ばね（６８、７０、７２、７４）を含み、その各々は、感知質量（３２）上の回転軸（２２）からずれたロケーションにおいて感知質量（３２）に結合された接続接合部分（７６）を有する。合わせて、軸上トーションばね（５８）および軸外ばねシステム（６０）は、感知質量（３２）が、駆動質量（３０）の駆動周波数に実質的に一致する感知周波数において回転軸（２２）を中心として平面外で振動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、基体１０と、基体１０に載置されている蓋体２０と、基体１０および蓋体２０に囲まれるキャビティー３２に載置されている機能素子１０２と、を含み、基体１０および蓋体２０の少なくとも一方には、貫通孔４０と、貫通孔４０を塞ぐ封止部材６０と、が設けられ、基部１０および蓋体２０の少なくとも一方のキャビティー３２を規定する面１５ａに金属層７０が設けられ、金属層７０は、平面視において貫通孔４０のキャビティー３２側の第１開口４１に重なって設けられている。 （もっと読む）

【課題】低周波数帯域の雑音の影響をより一層小さくすることができるスイッチトキャパシター積分回路等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路１０は、第１の容量と第２の容量とを有する電圧電荷変換回路２０と、第１の容量に充電された電荷を積分する電荷積分回路３０とを含む。電圧電荷変換回路２０は、第１の期間において、第１の容量に充電された電荷を転送すると共に入力信号に対応した電荷を第２の容量に充電し、第２の期間において、第２の容量に充電された電荷の一部を第１の容量に充電すると共に入力信号に対応した電荷を第１の容量に充電する。電荷積分回路３０は、第３の期間において、演算増幅器の入力に接続されるオフセットキャンセル容量の他端と第１の容量の一端とを接続し、第４の期間において、オフセットキャンセル容量の他端と接地電位とを接続する。 （もっと読む）

【課題】３軸物理量センサモジュールが、安価に、しかも、高精度に得られる物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージを提供する。
【解決手段】物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージ１０において、先細りに形成された略三角柱形状の本体１１と、本体１１における第１錐面１２に設けられた第１物理量センサ１３と、第１錐面１２に対して直交するとともに本体１１における第２錐面１４に設けられた第２物理量センサ１５と、第１錐面１２および第２錐面１４に対してそれぞれ直交する本体１１における第３錐面１６に設けられた第３物理量センサ１７と、を設けた。また、物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージは、直角三角柱形状の本体と、本体における鋭角稜線に挟まれた四角側面に設けられた物理量センサと、を備えて構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ディザピックオフ抵抗器の抵抗値の調整作業を不要とし、その分、コストダウンを図る。
【解決手段】ディザ制御回路はステートマシン６２を具備する。ステートマシン６２は、ディザ角速度信号の出力を選択するセレクト信号をマルチプレクサ６１に出力し、コントローラ目標値Ｘｂを減算器５３に出力した時のＡ／Ｄ変換されたディザピックオフ信号の振幅Ｘａを取得する状態と、Ａ／Ｄ変換されたディザピックオフ信号の出力を選択するセレクト信号をマルチプレクサ６１に出力し、振幅Ｘａをコントローラ目標値として減算器５３に出力する状態とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができる電子デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】電子デバイス１は、実装基板２と、台座３と、蓋部材８とを有している。また、台座３は、実装基板２に含まれる第１のリジッド基板２１を支持する第１の支持部３２と、実装基板２に含まれる第２のリジッド基板２２をその厚さ方向が第１のリジッド基板２１の厚さ方向に対して直交するように支持する第２の支持部３３とを有している。また、蓋部材８は、その内側に実装基板２に含まれる第３のリジッド基板２３を支持する第３の支持部８２を有している。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】厚みおよび幅の寸法の調整に因らずに共振周波数を低くすることが可能な振動子と、その振動子を用いて角速度を高い感度で検出することができる振動ジャイロとを実現する。
【解決手段】振動ジャイロ１１は、振動子１を備えている。振動子１は、複合梁部２Ａ〜２Ｄを備えている。複合梁部２Ａ〜２Ｄは、互いに並行する外周側梁部３Ａ〜３Ｄと、内周側梁部４Ａ〜４Ｄとを両端の剛接部６Ａ〜６Ｄで剛接した構成である。各複合梁部２Ａ〜２Ｄの外周側梁部３Ａ〜３Ｄと内周側梁部４Ａ〜４Ｄとは、互いに反対称に撓んで、両端間隔が変化するように振動する振動モードを有している。 （もっと読む）