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Fターム[2F105BB11]の内容

ジャイロスコープ (14,042) | 目的 (3,981) | 構成の改良 (1,747)

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【課題】 電極を保護しながら、可動部の形状精度を向上することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 本願の半導体装置の製造方法は、まず、第3層16の一部を除去して可動部16bを形成し、次いで、可動部16bを形成するために除去された部位の下方に位置する第2層と、形成された可動部16bの下方に位置する第2層14を除去する。次いで、可動部16bを形成する際に除去された部位に充填材24を埋め込む。次いで、充填材24を埋め込んだ状態で、半導体装置の表面に電極18を形成する。電極18を形成した後、埋め込んだ充填材24を除去する。 (もっと読む)


【課題】ハードウェア費用を増大させることなく、3つの軸のいずれの軸についてもその軸の周りの回転を決定することができるモーション検知システム等を提供する。
【解決手段】モーション検知システムは携帯型装置及び受信器装置を有する。携帯型装置はマイクロコントローラ、Gセンサ(1つの3軸加速度計)、ただ1つの2軸ジャイロスコープ、及び無線送信器を有する。受信器装置は、望ましくはドングルであり、マイクロコントローラ及び無線受信器を有する。2軸ジャイロスコープの第1の軸は携帯型装置のZ軸と平行であり、2軸ジャイロスコープの第2の軸は携帯型装置のX軸と鋭角αを形成する。鋭角αは、受信器装置のマイクロコントローラが、携帯型装置の3つの軸の夫々の周りの回転データを計算することを可能にする。 (もっと読む)


【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量1、2がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも1つの回転軸に関する自由度が、震動質量1、2に与えられる。 (もっと読む)


【課題】パッケージ内に圧電振動片を確実に気密封止することが可能な小型の圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの封止工程は、例えば、真空チャンバーなどの内部にパッケージを収容して行う。まず、パッケージの封止孔25に、合金からなる球状の封止部材99aを配置する。次に、真空チャンバー内を減圧することによりパッケージ内部を減圧し、封止孔25の内周と球状の封止部材99aとの隙間を介して、パッケージ内部のガスを外部に排出させる。このとき、パッケージの外底面を形成する外部側の平板状基材11aの外部側の面とカバー板70との隙間tが、球状の封止部材99aの直径Dよりも小さくなるようにカバー板70を配置する(t≦D)。これにより、内部空間T1から排出される気体の圧力により封止孔25から球状の封止部材99aが飛び出そうとした場合に、その封止部材99aをカバー板70で受け止めることができる。 (もっと読む)


【課題】回路モジュールを実装基板に実装する際、回路モジュールと実装基板との接合部の形状を調整し、応力緩和を図ることで、接合不良を防止し、信頼性の高い実装を実現する。
【解決手段】少なくとも第1及び第2の面を有する回路基板10と、前記第1の面に搭載された素子チップ20と、実装面である前記回路基板の前記第2の面に隣接する第3の面から導出された、曲げ部を有する実装用のリード端子部30とを具備し、前記リード端子部は、絶縁性基材と前記絶縁性基材に沿って形成された導体層とで構成され、前記リード端子部30の先端が、実装面を構成する平坦面を有し、前記平坦面が半田層40で被覆された回路モジュール1を構成する。 (もっと読む)


【課題】高い信頼性を有し、かつ容易に、種々の方向の検出軸に対して対応することができる物理量検出デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る物理量検出デバイス100は、パッケージ10と、パッケージ10に収容されている支持基板20と、支持基板20の上方に支持されている振動子40と、を含み、パッケージ10は、第1底面12と、第1底面12より低い位置にある第2底面14と、を有し、支持基板20は、第1底面12に固定されている第1固定部21と、第2底面14に固定されている第2固定部22と、第1固定部21と第2固定部22との間に位置し、パッケージ10の外側底面18に対して傾斜している橋梁部23と、第1固定部21と橋梁部23との間に位置する第1屈曲部24と、第2固定部22と橋梁部23との間に位置する第2屈曲部25と、を有し、第1屈曲部24および第2屈曲部25の剛性は、第1固定部21および第2固定部22の剛性に比べて小さい。 (もっと読む)


【課題】 可動部と支持基板の固着が長期に亘って防止されるマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】 マイクロデバイスは、支持基板と、支持基板に隙間を介して対向しているとともに、支持基板に対して相対変位可能に支持された可動部を備えている。支持基板と可動部の互いに対向する表面の少なくとも一方には、少なくとも一つの突起が設けられている。そして、各々の突起には、その突起が設けられた支持基板又は可動部の内部へ伸びる基礎部が、一体に設けられている。 (もっと読む)


【課題】リードフレームに搭載された角速度センサの応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、矢印DR1方向および矢印DR2方向を含む平面の方向に延在するリードフレーム30と、リードフレーム30上に搭載される角速度センサ10およびASIC素子20と、外部端子60とを備える。角速度センサ10は、角速度センサモジュールにおける矢印DR1方向の端部に位置するように設けられる。外部端子60は、角速度センサモジュールにおける矢印DR1方向の中央部に偏在するように設けられる。 (もっと読む)


【課題】精度良く素子を立たせることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイス100は、樹脂体40と、一の面42側に形成された第1リードフレーム10と、一の面42と対向する他の面44側に形成された第2リードフレーム20と、樹脂体40によって封止された電気素子であって、第1表面50は、第1リードフレーム10の面と、樹脂体40の一の面42と、を有し、第2表面52は、第2リードフレーム20の面と、樹脂体40の他の面44と、を有し、搭載側面54は、樹脂体40の第1リードフレーム10と第2リードフレーム20との間の面46を有し、第1表面50の第1リードフレーム10の面は、第1表面50の搭載側面54に隣接する第1端部に配置され、第2表面52の第2リードフレーム20の面は、第2表面52の搭載側面54に隣接する第2端部に配置され、第1リードフレーム10は、電気素子に電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部11A,11Bと検出腕部12とを備えた振動素子10と、駆動腕部11A,11Bを駆動するための駆動信号を第1駆動線D1及び第2駆動線D2を介して発生させる駆動回路231と、検出腕部12から検出信号を第1検出線S1及び第2検出線S2を介して検出する検出回路232と、を含む物理量センサ1であって、第1駆動線D1と第2駆動線D2との少なくとも一方を第1検出線S1及び第2検出線S2に対して静電結合を発生するように配線した。 (もっと読む)


【課題】感度特性に優れ、生産性の向上を図ることができる角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る角速度センサの製造方法は、振動子部102の厚みに相当する厚みの基板111と、基板111よりも厚い基板112とをそれぞれ準備することを含む。基板112の上には絶縁膜112aが形成される。絶縁膜112aには基板112の表面を露出させる開口90が形成される。基板111と基板112は絶縁膜112aを挟んで貼り合わされる。基板111の上には圧電機能層7が形成される。開口90の形成位置に対応する基板111上の領域内には振動子部102が形成される。基板111及び基板112を切断することで基部103の外形が形成される。 (もっと読む)


【課題】検知軸を傾けた状態で振動子をパッケージに実装することができ、かつコストダウン可能な角速度センサを実現する。
【解決手段】パッケージ30と、第1音叉型振動子10aと、前記パッケージ30上に設けられ、前記第1音叉型振動子10aの検知軸1が前記パッケージ30の底面32に対して所定角度傾くように、前記第1音叉型振動子10aを支持する第1支持部20aと、第2音叉型振動子10bと、前記パッケージ30上に設けられ、前記第2音叉型振動子10bの検知軸2が前記第1音叉型振動子10aの検知軸1と交差するように、前記第2音叉型振動子10bを支持する第2支持部20bと、を具備する角速度センサ。 (もっと読む)


【課題】慣性力によって変位する可動体を複数有し、各可動体によって形成される可変容量素子の容量値を検出して、慣性力を検出する慣性センサにおいて、可変容量素子の容量値の検出を可変容量素子の数よりも少ない検出系で行うこと。
【解決手段】可変容量素子が形成される複数の可変ブロックと固定容量素子が形成される固定ブロックとを有し、可変ブロックが所定方向に往復振動する構造体について、各可変容量素子及び固定容量素子の一端にそれぞれ所定の位相差を持った複数相の検出用パルス信号を印加する検出用パルス信号印加部と、位相差を有する検出用パルス信号が印加された可変容量素子間、又は固定容量素子と可変容量素子との間の容量値の差分を検出し、当該差分に基づいて前記印加される慣性力を検出する慣性検出部とを有する。 (もっと読む)


【課題】自動車に使用されて、転覆事故を検知し、エアーバッグのような安全装置の展開をコントロールしようとする角速度測定のための機構を単純で経済的に構成する。
【解決手段】センサーの本体1は、平坦な基板から作られ、この本体は、ビーム2を構成し、このビームは二つの対向両端部を有する。ビーム2は、慣性質量体を支持し、該質量体は、連結バーにより相互に連結された二つのアーム6,7を備え、前記連結バーの中央部は、ビーム2の一部に一体になっている。アーム6,7の導電層に近接して配置された容量性プレートによって、前記慣性質量体が前記連結バーの軸まわりを回転して”シーソー”運動し、これが前記基板面内の前記慣性質量体の回転振動に結び付く。前記機構が前記連結バーと一致する軸まわりを回転すると、前記容量性プレートにより検知されて角速度が決定される。 (もっと読む)


【課題】特定の方向にだけ検出軸を設定した既存のセンサを利用して、容易に前記検出軸の方向を任意の方向に設定して、基板や機器に実装することができるようにしたセンサ用ソケットを提供すること。
【解決手段】 外部端子を有し、特定の検出軸Kに関して変化する物理量を検出するセンサ30を、収容できるケース体11でなり、隣接する外面が互いに直交する面でなる6面体のソケット10であって、前記ケース体11に設けられ、前記センサ30を収容するための収容部15と、収容部15内に露出するように設けられた複数の接続端子20と、前記ケース体の少なくとも2つの側面25,26にそれぞれ露出するように形成した実装端子とを備えており、前記ケース体の収容部の接続端子20について、その各接続端子が、少なくとも二つの系統に分岐されて、前記ケース体11外面の前記互いに異なる2つの側面に形成された前記実装端子に接続されている。 (もっと読む)


【課題】支持構造を容易にでき、周波数温度特性が良好で、精度の良い角速度検出が可能
な角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、回転Yカット水晶基板の主表面上にY’軸方向に突出され
X軸方向に延出された突起部を備え、この突起部の近傍の主表面上に駆動電極および検出
電極が形成されている。この駆動電極により水晶基板にX軸方向の厚みすべり振動を励振
させて突起部に振動を励起させる。そして、Y’軸回りの回転に対応して突起部の振動に
対して直交する方向に作用するコリオリ力により突起部が屈曲させられ変位する。この突
起部の変位が応力となって水晶基板に加えられ、この応力の変化が検出電極にて検出され
て角速度センサに加わる角速度を検出する。 (もっと読む)


【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子1を備え、この検出素子1は、可撓部を介して錘部2を連結した固定部4と、錘部2と対向させた対向基板6と、錘部2と対向基板6の各々の対向面に配置した第1対向電極〜第4対向電極14、16、18、20と、これら電極から引き出した信号線21とを有し、加速度検出部では、錘部2と対向基板6の各々の対向面に配置した第1対向電極〜第4対向電極14、16、18、20の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、全ての信号線21の端部を検出素子1の上面側または下面側のいずれか一方側に配置し、信号線21の端部にて実装基板と電気的に接続した構成である。 (もっと読む)


【課題】静電容量変化にバラツキが生じにくく、検出精度の向上を図った加速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部を有する検出素子1を備え、この検出素子1は、可撓部を介して錘部2を連結した固定部4と、ギャップ規定手段により形成したギャップを介して錘部2と対向させた対向基板6と、錘部2と対向基板6の各々の対向面に配置した第1〜第4対向電極14、16、18、20とを有し、第1〜第4対向電極14、16、18、20の静電容量変化を検出して加速度を検出しており、ギャップ規定手段は、固定部4に感光性樹脂からなる突起部13を形成するとともに、突起部13に対向基板6を載置して形成した構成である。 (もっと読む)


【課題】低コストで、且つ筐体の破損が抑制された半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体センサチップ10と、半導体センサチップ10からの出力信号を処理する信号処理回路12と、半導体センサチップ10及び信号処理回路12を内部に搭載する中空状の筐体20と、を備える半導体装置100において、例えば、筐体20を、一方が開口した凹部26を有する凹部状の底部材22と、当該底部材22の開口を覆う板状の蓋部材24とを接合して構成する。そして、底部材22と蓋部材24とを、いずれも半導体材料から構成させ、例えば、陽極接合や金属接合によって接合している。 (もっと読む)


【課題】パッケージにひずみが発生した場合であれ、当該装置に作用する力学量の変化に係る検出精度の低下を防止することのできる力学量センサ装置を提供する。
【解決手段】まず、回路チップ30を構成するひずみ特定部31は、各圧電アクチュエータ60a〜60dから出力されるひずみ検出信号に基づいて、センサチップ20のひずみの大きさや方向を特定する。次に、回路チップ30を構成するひずみ補正部32は、ひずみ特定部31にて特定されたひずみに基づきひずみ補正信号を算出し、これを各圧電アクチュエータ60a〜60dに出力し、センサチップ20のひずみを物理的に補正する。このように、センサチップ20のひずみを物理的に補正した上で、センサチップ20に作用する角速度の検出を実行する。 (もっと読む)


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