【課題】振動子に対し共振角周波数に等しい角周波数を持つ駆動信号を出力できないデジタル回路構成であっても、検出精度を低下させることなく角速度を検出する。
【解決手段】駆動回路３は、振動子１の共振角周波数を中心として、検出しようとする角速度の最大値よりも高い周波数で変化する角周波数を持つ駆動信号により振動子１を励振する。この変化周波数に対するＰＬＬ回路７の開ループ伝達関数の利得を１、位相を−１８０°に設定することにより駆動角周波数を持続的に変化させる。検出回路４は、センス信号を同期検波して得られる検波信号を、検出しようとする角速度の最大値よりも高く且つ駆動信号の角周波数の変化周波数よりも低い遮断角周波数を持つローパスフィルタ１８に通過させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子１００と、振動子１００が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置１である。振動子１００は、半導体基板上に形成した下部電極１９４と、下部電極１９４上に形成した圧電体（強誘電体層）１４２と、圧電体１４２上に形成した上部電極（第１駆動電極１４４など）とを有する。電子回路は、振動子１００の上部電極と接続して、振動子１００に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子１００の下部電極１９４と接続し、圧電体１４２に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ４０の内部で弾性材からなる支持部材２０により振動子１０が支持された振動子デバイス１であり、振動子１０と異なる部材で形成した錘５０を振動子１０上に設けることで、支持部材２０による振動子１０の支持の中心位置Ｐ２と、錘５０が設けられた振動子１０の重心調整位置Ｐ３とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】封止部材が機能素子に付着することを抑制して、良好な特性を得ることができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、第１部材１０と、第１部材１０に載置され、かつ、一方の面２２側に設けられた孔部４０と他方の面２４側に設けられたキャビティー３２とを備えたシリコン製の第２部材２０と、キャビティー３２に収容された機能素子１０２と、孔部４０に配置された封止部材６０と、を含み、孔部４０は、平面視で多角形の開口４２を有し、かつ、孔部４０の底面４１の一部に設けられた連通口７０によってキャビティー３２に連通している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子６１と、この角速度検出素子６１を上面に中空保持する載置部６３とこの載置部６３に配線パターン６４を介して接続された外方部６５とからなる防振手段６２と、角速度検出素子６１からの出力信号を処理するＩＣ６７と、角速度検出素子６１、防振手段６２およびＩＣ６７を収納するパッケージ６８とを備え、パッケージ６８の内底面に加速度検出手段６６を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】検出質量体が駆動質量体と弾性的に分離されており、駆動質量体の駆動振動によって検出質量体が駆動変位相当の変位を伴わない構造を有し、かつ、製造ばらつきに起因する構造的非対称性により発生する検出質量体の変位を相殺する手段を有する振動型ジャイロの提供。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面の第３象限内及び第４象限内には、それぞれ、検出質量体１４の櫛歯電極４４に対向する第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２が基板２に固定配置される。第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２にＡＣ電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を備え、第５駆動振動腕４５と第１駆動振動腕４１とが逆位相で振動し、第６駆動振動腕４６と第２駆動振動腕４２、第７駆動振動腕４７と第３駆動振動腕４３、および第８駆動振動腕４８と第４駆動振動腕４４、のそれぞれも逆位相で振動し、Ｓ字振動が可能である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好な感度特性および帯域特性を有するジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー１００は、駆動用バネ部１１４に接続されている駆動用支持部１１２を備えた駆動部１１０と、駆動用支持部１１２に検出バネ部１２４を介して接続されている検出用支持部１２２を備えた検出部１２０と、を含み、駆動用支持部１１２は第１軸（Ｘ軸）の方向に振動可能であり、検出用支持部１２２は第１軸（Ｘ軸）に直交する第２軸（Ｙ軸）の方向に変位可能であり、駆動部１１０の共振周波数をｆ_１とし、検出部１２０の共振周波数をｆ_２とし、駆動用バネ部１１４の幅をｗ_１とし、検出用バネ部１２４の幅をｗ_２とすると、下記式（１）を満たす。
０．８７（ｆ_２／ｆ_１）≦（ｗ_２／ｗ_１）≦１．１３（ｆ_２／ｆ_１） ・・・ （１）
（ただし、ｗ_１≠ｗ_２、かつｆ_１≠ｆ_２） （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を有し、第１駆動振動腕乃至第４駆動振動腕におけるＺ軸方向の第１面外振動の周波数と、第５駆動振動腕乃至第８駆動振動腕におけるＺ軸方向の第２面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第２面外振動の周波数との差である第２離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１の開口部１ａに振動型センサ素子２及びこれを制御する制御回路素子３を配置して上蓋４で封口する振動型センサ装置において、上蓋４を金属で成形し、この上蓋４に自己共振周波数を調節する自己共振周波数調整手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３１および第２連結部３２と、駆動信号電極７を有する駆動振動腕４と、検出信号電極８を有する検出振動腕５と、を備え、駆動振動腕４は、第１連結部３１の付け根６ａまたは第２連結部３２の付け根６ｂからＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８を有し、検出振動腕５は、基部２からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１検出振動腕５１乃至第８検出振動腕５８を有している、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接着剤同士の凝集の問題を解消してパッケージ内の複数の電子部品の位置ずれによる問題を無くしたパッケージ部品を構成する。
【解決手段】パッケージ部品１０１は、パッケージ本体２２と、その内部に収納されたセンサチップ３０及びＩＣチップ３１を備えている。パッケージ本体２２は、内底面と内側壁とにより構成される中空部２３を備えている。パッケージ本体２２の内底面には凹部２４が形成されている。センサチップ３０は凹部２４に第１の接着剤３３で接着固定されている。ＩＣチップ３１は、凹部２４以外の領域に、第２の接着剤３４で接着固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】熱による温度特性の変化の影響を低減したＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】センサ温度を測定するための温度センサ３が搭載された信号処理用ＬＳＩ１と、前記信号処理用ＬＳＩ上に搭載されたＭＥＭＳセンサチップ２と、を有し、前記ＭＥＭＳセンサチップ２を前記信号処理用ＬＳＩ１の発熱部上に搭載する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】構造設計が容易であり、体格の増大と、熱応力による検出精度の低下とが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】母基板（１０）と、母基板（１０）に連結された複数の子基板（３０）と、子基板（３０）に形成された素子と、を有する半導体装置であって、母基板（１０）と子基板（３０）とを連結する連結部（５０）を有し、複数の子基板（３０）の内、ある子基板（３０）に形成された素子は、互いに対向する可動電極と固定電極から成るコンデンサを有し、該コンデンサの静電容量変化に基づいて物理量を検出するセンサ部（４０）であり、任意の子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）と、任意の子基板（３０）とは異なる子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）とは、高さ方向の長さが異なり、複数の子基板（３０）は、高さ方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸まわりの回転検出ができ、１つの発振回路で振動を励起することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】物理量検出素子１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３ａおよび第２連結部３ｂと、第１連結部３ａまたは第２連結部３ｂからＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第１駆動振動腕４ａおよび第２駆動振動腕４ｂ、並びに一対の第３駆動振動腕４ｃおよび第４駆動振動腕４ｄと、第１連結部３ａから斜めに延出した第１駆動検出振動腕５ａおよび第２駆動検出振動腕５ｂと、第２連結部３ｂから斜めに延出した第３駆動検出振動腕５ｃおよび第４駆動検出振動腕５ｄと、基部２からＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１検出振動腕６ａおよび第２検出振動腕６ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低速光の使用によって感度を上昇させる、光センサのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの光結合器４６と、複数のループを含む光導波路４２と、光検出器とを備えている。光導波路は、少なくとも１つの光結合器に光学的に連通し、複数のループの対称軸を中心とする光導波路の回転によって少なくとも１つの光結合器と光導波路とが互いに関して移動することができるように、少なくとも１つの光結合器から機械的に分断され、光導波路は、少なくとも１つの光結合器から第１の光信号を受取るように構成され、第１の光信号１４は、光導波路の少なくとも一部分を伝播する間、ある群速度およびある位相速度を有し、群速度は位相速度未満であり、第１の光信号と第２の光信号との間の干渉は、対称軸を中心とする光導波路の回転によって影響される。光検出器は第１の光信号と第２の光信号との間の干渉を検出するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】体積の増加を伴わずに従来に比べて電子部品の実装面積を増加させることができるセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】センサーモジュールは、脚体１８、１９および脚体１８、１９の一端に接続された天井体２１を含むマウント部材１６と、センサー素子３２、３３を含む電子部品とを備える。マウント部材１６には、相互に非平行な垂線ベクトルを有する固定面が複数設けられ、固定面３５、３６の少なくとも２つにはセンサー素子３２、３３が備えられ、かつ、脚体１８、１９と天井体２１とにより区画されるキャビティ２５内に電子部品の少なくとも１つが配置される。 （もっと読む）

【課題】高性能の角速度検出装置を提供する。
【解決手段】励振素子１３、コリオリ素子１４を含む駆動部を、固定端を共有している少なくとも２本の振動方向と直交する方向に延びる固定梁１２ａによって浮揚し、振動させている。実装または、熱の変動によって基板が変形したとしても、固定梁と支持梁に発生する内部応力は小さく、共振周波数や振動振幅などの振動状態を一定に保つことができる。そのため、実装環境の変化にロバストな高性能角速度検出装置を得ることができる。 （もっと読む）