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Fターム[2F105CC01]の内容

ジャイロスコープ (14,042) | 振動ジャイロの型式 (1,939) | 音叉型(H型を含む) (592)

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【課題】外部からの外乱振動の影響を抑制し、かつ外乱振動によって生じる不要な回転力に起因するオフセットドリフトを低減する角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度検出素子11を収納するパッケージ10と、パッケージ10に接続されたリード端子17と、を有し、リード端子17は、パッケージ10に接続された第1の端部と、外部と接続するための第2の端部13を有し、第1の端部と第2の端部13の間に、所定の延在方向に伸びる延在面を有する板状の延長部16を有し、リード端子17の延在面は、第1の軸を含み、且つ、基部に対して直交する面に対して、直交している。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動子から検出した信号に含まれる不正振動ノイズの影響を抑え、予め定められた値以上のSN比を確保して歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コリオリ力に応じた電気信号SR,SLと、コリオリ力に応じて変化しない基準信号FBとを検出することが可能な振動子と、振動子を駆動する駆動回路2と、振動子から検出した電気信号SR,SLに対して予め定められた処理を行ない角速度を検出する検出回路1とを備える角速度検出装置である。検出回路1は、振動子から検出した電気信号SR,SLと基準信号FBとの差分演算を行ない、電気信号SR,SLから振動子に生じている不正振動によるノイズを除去する駆動ノイズキャンセル回路12を有している。 (もっと読む)


【課題】本発明は、振動子の不正振動を抑え、不正振動によるノイズを小さくし、SN比の劣化を抑えて歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、音叉型の振動子100と、振動子100の腕部を振動方向に駆動する駆動回路200と、振動子100に角速度が加わることで生じる電気信号を検出する検出回路300とを備える角速度検出装置である。振動子100は、腕部の振動方向を制御する制御電極150,170をさらに有し、検出電極148,168は、腕部の中立面に対して対称の位置に形成した第1の検出電極部148a,168aと、第2の検出電極部148b,168bとを有し、一方の腕部に形成した第1の検出電極部および第2の検出電極部の合成電圧を、他方の制御電極に印加し、他方の腕部に形成した第1の検出電極部および第2の検出電極部の合成電圧を、一方の腕部の制御電極に印加する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子100と、振動子100が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置1である。振動子100は、半導体基板上に形成した下部電極194と、下部電極194上に形成した圧電体(強誘電体層)142と、圧電体142上に形成した上部電極(第1駆動電極144など)とを有する。電子回路は、振動子100の上部電極と接続して、振動子100に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子100の下部電極194と接続し、圧電体142に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子44とを有する。 (もっと読む)


【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子2は、振動体4、振動体4を支持する第1、第2支持部51、52および第1、第2支持部51、52と振動体4を連結する4つの梁61、62、63、64を有する振動片3と、振動体4に設けられた電極710〜740と、第1、第2支持部51、52に設けられ、梁61、62、63、64に設けられた配線712〜742を介して電極710〜740と電気的に接続された端子712〜742とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝512が設けられている。 (もっと読む)


【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子1は、Y軸方向及びY軸方向と直交するX軸方向に平行な平面(XY平面)に沿った主面10a,10bを有する平板状の基部10と、基部10のプラスY側からプラスY軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕11a,11bと、基部10を挟んで駆動用振動腕11a,11bの反対側に、基部10のマイナスY側からマイナスY軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕12a,12bと、を備え、基部10の主面10a,10bには、一対の駆動用振動腕11a,11bと一対の検出用振動腕12a,12bとを結ぶ仮想線15a,15b,15c,15dと交差するように溝部16a,16b,17a,17bが設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子1は、互いに直交するY軸方向とX軸方向とにより規定される平面に沿った主面10a,10bを有する平板状の基部10と、基部10からY軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕11a,11bと、基部10を挟んで駆動用振動腕11a,11bの反対側に、基部10からY軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕12a,12bと、を備え、基部10のY軸方向の長さをL1、一対の駆動用振動腕11a,11bのY軸方向の長さをL2としたときに、1.2≦L1/L2≦4.2、であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ40の内部で弾性材からなる支持部材20により振動子10が支持された振動子デバイス1であり、振動子10と異なる部材で形成した錘50を振動子10上に設けることで、支持部材20による振動子10の支持の中心位置P2と、錘50が設けられた振動子10の重心調整位置P3とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 (もっと読む)


【課題】角速度センサの有するクロック周波数とマスタコンピュータの持つクロック周波数とが異なる場合においても、正確な出力信号を出力することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】INT出力制御回路76から出力されるデータ更新信号に同期させて、角速度信号からなる応答信号を通信制御回路63における出力端子66からマスタコンピュータ68における入力端子71に入力する構成としたものである。 (もっと読む)


【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子61と、この角速度検出素子61を上面に中空保持する載置部63とこの載置部63に配線パターン64を介して接続された外方部65とからなる防振手段62と、角速度検出素子61からの出力信号を処理するIC67と、角速度検出素子61、防振手段62およびIC67を収納するパッケージ68とを備え、パッケージ68の内底面に加速度検出手段66を設けたものである。 (もっと読む)


【課題】複数の振動腕を音響結合させて、1つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子(物理量検出素子)1は、基部2からX軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部31と、連結部31の付け根6からY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極7を有して駆動振動をする第1駆動振動腕41乃至第8駆動振動腕48と、基部2からX軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極8を有する第1検出振動腕51乃至第4検出振動腕54と、を備え、第5駆動振動腕45と第1駆動振動腕41とが逆位相で振動し、第6駆動振動腕46と第2駆動振動腕42、第7駆動振動腕47と第3駆動振動腕43、および第8駆動振動腕48と第4駆動振動腕44、のそれぞれも逆位相で振動し、S字振動が可能である、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数の振動腕を音響結合させて、1つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子(物理量検出素子)1は、基部2からX軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部31と、連結部31の付け根6からY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極7を有して駆動振動をする第1駆動振動腕41乃至第8駆動振動腕48と、基部2からX軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極8を有する第1検出振動腕51乃至第4検出振動腕54と、を有し、第1駆動振動腕乃至第4駆動振動腕におけるZ軸方向の第1面外振動の周波数と、第5駆動振動腕乃至第8駆動振動腕におけるZ軸方向の第2面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第2面外振動の周波数との差である第2離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数の振動腕を音響結合させて、1つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子(物理量検出素子)1は、基部2と、基部2からX軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第1連結部31および第2連結部32と、駆動信号電極7を有する駆動振動腕4と、検出信号電極8を有する検出振動腕5と、を備え、駆動振動腕4は、第1連結部31の付け根6aまたは第2連結部32の付け根6bからY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出した、第1駆動振動腕41乃至第8駆動振動腕48を有し、検出振動腕5は、基部2からY軸に沿った方向またはX軸に対して斜め方向へ延出した、第1検出振動腕51乃至第8検出振動腕58を有している、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路及び角速度検出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子10に接続され、角速度を検出する角速度検出回路5であって、振動子10から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段331と、自己振動成分抽出手段331の出力信号を積分する積分手段336を含む直流変換手段332と、直流変換手段332の出力信号にオフセット値を加えるオフセット加算手段342とを含む。 (もっと読む)


【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部21と、駆動用振動腕221、222と、駆動用振動腕221、222の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕241〜244と、駆動用振動腕221、222に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕241、242に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕241、242の振動に伴って電荷を出力する第1の調整用電極と、調整用振動腕243、244に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕243、244の振動に伴って、第1の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第2の調整用電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部21と、通電により駆動振動する駆動用振動腕221、222と、駆動用振動腕221、222に加えられた物理量に応じて第1の方向に振動するとともに、駆動用振動腕221、222の駆動振動に伴って1の方向とは異なる第2の方向に振動する検出用振動腕231、232と、検出用振動腕231、232に設けられ、検出用振動腕231、232の第1の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕231、232に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕231、232の第2の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 (もっと読む)


【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、通電により駆動振動する駆動用振動腕221、222と、駆動用振動腕221、222の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕241、242と、駆動用振動腕221、222に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕241、242に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕241、242の振動に伴って電荷を出力する第1電極と、調整用振動腕241、242に設けられ、1対の検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕241、242の振動に伴って、第1電極とは逆極性となる電荷を出力する1対の第2電極とを有する。 (もっと読む)


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