【課題】本発明は、ジャイロセンサーオフセット自動補正回路、ジャイロセンサーシステム及びジャイロセンサーオフセット自動補正方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例によると、各センサー電極の出力信号を受けて増幅し、可変抵抗調節によって各出力信号に含まれた駆動信号成分によるオフセットの少なくとも一部を除去する信号利得調節部と、信号利得調節部の出力信号を検出し、信号利得調節部の出力信号が予め設定された範囲内に維持するように可変抵抗を調節する振幅検出部と、を含んでなるジャイロセンサーオフセット自動補正回路が提案される。また、それを含むジャイロセンサーシステム及びジャイロセンサーオフセット自動補正方法が提案される。 （もっと読む）

【課題】電気信号の干渉を抑え、干渉に起因する不具合の発生を抑制することのできる電子機器を提供する。
【解決手段】カメラにおける撮像レンズのブレ補正駆動機構は、励振される角速度検出部を備えるジャイロセンサ２５Ｘｓ，２５Ｙｓと、その出力から高周波側成分をカットオフして所定の周波数帯域のみを通過させるＢＰＦ３２Ｂと、基本周波数の信号を出力するレンズマイコン３１と、レンズマイコン３１が出力した基本周波数の信号を所定範囲の周波数帯域に拡散させる周波数変更回路３３Ｂと、周波数変更回路３３Ｂからボイスコイルモータ２５Ｘｍ，２５Ｙｍへ信号を出力する変更クロックライン３３Ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサー及びこれを用いた角速度検出方法に関する。
【解決手段】本発明による慣性センサーは、支持体により変位可能に支持された駆動部と、前記駆動部を振動させる駆動電極と、前記駆動部に作用する所定方向の力を検出する検出電極と、を含み、前記駆動部は、慣性センサーの中央に位置したセンター駆動マスと、前記センター駆動マスに連結及び連動され、センター駆動マスを中心に四方に位置するサイド駆動マスと、前記センター駆動マス、前記サイド駆動マス及び前記支持体を連結する連結ブリッジと、を含む。 （もっと読む）

【課題】面積が小さく、消費電流を大幅に低減することができるスイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路としての２重正相積分回路１０は、第１の容量ＣＡを有し、第１の期間において入力信号に対応した電荷を第１の容量ＣＡに充電する第１の電圧電荷変換回路２０と、第２の容量ＣＢを有し、第２の期間において第１の容量ＣＡに充電された電荷の一部を第２の容量ＣＢに充電し、第２の容量ＣＢに充電された電荷の一部を転送する第１の電荷積分回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】振動回転レートセンサー及びその動作方法を提供する。
【解決手段】復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。 （もっと読む）

【課題】検出値に関する経年変化の影響を容易に認識し得るセンサ装置を提供する。
【解決手段】ジャイロセンサ２０では、メモリ２２には、装置の製造時に各検出条件に応じて角速度検出部２３により検出され得る初期検出値が予め記憶される。そして、上記特性変化検査用情報設定処理を実行する制御部２１により、角速度検出部２３により検出される現角速度検出値とこの検出値の検出条件に対応する初期角速度検出値とが入出力インタフェース２５を介して検査装置３０に出力される。 （もっと読む）

【課題】検波タイミング信号の精度を改善し、且つ、位相シフト回路の面積を低減する。
【解決手段】位相シフト回路１４は、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成し、コンパレータ１４０と、カウント信号生成部１４２と、位相差測定部１４４と、タイミング信号生成部１４６と、を備える。コンパレータは、キャリア成分の信号レベルに応じた２値信号を生成する。カウント信号生成部は、２値信号の第１エッジを０度とするときの第１エッジに対する位相角をカウントし、カウントした位相角が９０度を超えたときに出力レベルが反転するカウント信号を生成する。位相差測定部は、２値信号とカウント信号との位相差を測定し、キャリア成分がゼロクロスするタイミングの情報を含む時間信号を生成する。タイミング信号生成部は、カウント信号及び時間信号に基づいて、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】回路面積や端子数を増やすことなく、広いダイナミックレンジで線形性が確保でき、応答性に優れたセンサ制御回路を提供する。
【解決手段】センサ制御回路は、センサから出力された交流信号の周波数と同じ周波数の搬送波信号に、前記交流信号を重畳したセンサ変調信号を生成する自律発振ループ部と、前記搬送波信号を基準電圧レベルと比較した結果をデジタル処理して、前記搬送波信号の振幅調整用の制御信号を生成する振幅調整ループ部と、を備える。前記自律発振ループ部は、前記搬送波信号の振幅調整を行うアンプと、前記制御信号により切替制御されるスイッチを有し、該スイッチの切替周波数により前記アンプの利得を制御可能なスイッチトキャパシタと、を有する。 （もっと読む）

【課題】単一の機械的な共振構造で構成できる、２軸ヨーレート検知ユニットを提供する。
【解決手段】反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】空洞内に位置する可動部を品質良く作動できる電子装置を提供する。
【解決手段】基板２上の側壁部２３及び第１封止層３０に覆われた空洞部３３内に位置する可動部７ｂと、空洞部３３内に設置され空洞部３３内の気体を吸着する第１ゲッター部３４及び第２ゲッター部３５と、基板２と対向する場所に位置する第１封止層３０及び第２封止層３２と、を備え、第１封止層３０は第１孔３０ａ及び第２孔３０ｂを有し、第２封止層３２は第１孔３０ａ及び第２孔３０ｂを封止する。 （もっと読む）

【課題】良好な真空封入を維持しかつできるだけ変らない外側のチップ寸法を維持して、ボンディングされた表面マイクロメカニック構成部分の安定性を高める。
【解決手段】マイクロメカニック式のキャップ構造はサブストレート１０を有し、サブストレート１０には空洞Ｋが設けられている。空洞Ｋは方形の基面と互いに向き合った平行な側壁区分から成る２つの側壁区分対とを有する。空洞Ｋの基面に相応するダイヤフラムの局部的な補強は安定化ビームＳＫ１，ＳＫ２を有する安定化クロスによって達成される。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ不要信号をキャンセルし、出力信号の低ノイズ化を実現する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいてセンサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０。差動入力信号の差分を増幅して第１の信号として出力する差動増幅回路３０と、第１の信号の高周波成分を透過させて第２の信号として出力するハイパスフィルター４０と、第２の信号を増幅して第３の信号として出力するＡＣアンプ５０と、を含み、ハイパスフィルターは、第１の信号が入力される第１の端子と、第２の信号を出力する第２の端子とを備えるキャパシタと、第２の端子と接続される第３の端子と、キャンセル信号が入力される第４の端子とを備える抵抗器と、を含み、キャンセル信号を９０度位相シフトして第１の信号と合成し、差動入力信号に含まれている不要信号の少なくとも一部を相殺する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびこれを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、４つの振動部５１〜５４と、４つの振動部５１〜５４の集合体の中心Ｏからの動径方向がＸ軸およびＹ軸の両軸に対して４５度の角度を為す方向にある４つの基板固定部６１〜６４と、基板固定部６１〜６４の各々からＺ軸まわりに隣接する２つの振動部へ延びた２つのバネ機構７１１〜７４２と、第１振動部５１、５２をＸ方向に逆位相で振動させつつ、第２振動部５３、５４をＹ方向に互いに逆位相で振動させる振動手段４とを有している。また、２つのバネ機構は、振動部５１〜５４の振動に応じて、ＸＹ平面内で音叉振動する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびそれを用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、円環振動可能なリング部３１と、４つの支持部６１〜６４と、支持部６１〜６４とリング部３１の円環振動の節となる部位とを連結する４つの梁７１〜７２と、可動部を有しリング部３１を介してＸ１軸向に対向配置された一対の第１質量部５１、５２と、可動部を有しリング部３１を介してＹ軸方向に対向配置された一対の第２質量部５３、５４と、一対の第１質量部５１、５２および一対の第２質量部５３、５４のうちの少なくとも一方を第１の周波数で互いに逆位相となるように振動させる振動手段４とを有し、リング部３１は、前記第１の周波数に応じて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して円環振動する。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能なセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１ｂ，１１ｄ，１１ｆと、応力緩和層１５と、その応力緩和層１５上に設けられた外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆと、を含む。応力緩和層１５上には配線３６ｂ，３６ｄ，３６ｆが形成され、外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆ接続されている。能動面１０ａ上の配線１６ｂ，１６ｄ，１６ｆと、応力緩和層１５上の対応する配線３６ｂ、３６ｄ、３６ｆとは、ビアホール３０ｂ、３０ｄ、３０ｆにより接続されている。ビアホール３０ｂ、３０ｄ、３０ｆは、外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆと振動ジャイロ素子２０の接続電極としての引き出し電極２９ｂ，２９ｄ，２９ｆとの接合領域外に配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角度ズレや位置ズレが発生しないように、安定して実装基板に搭載することができつつ、高耐振動性を有した、低背で小型な加速度および角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加速度および角速度を検出する半導体素子１と、半導体素子１に接続される複数の端子２と、端子２の一部と半導体素子１とを一体にモールドしたパッケージ体とを備えた加速度および角速度検出装置８において、複数の端子２はパッケージ体４の一辺に沿って配列され、パッケージ体４における前記一辺に沿う方向に垂直な方向の長さ寸法Ｌ２が、前記一辺に沿う方向の長さ寸法Ｌ１に対して短くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】振動漏れ成分に起因する角速度信号の温度変動を高次の温度補償回路を用いずに補償可能な角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度成分と振動漏れ成分とを含む信号を発生させる振動子（ジャイロセンサー素子１００）と、駆動信号を生成して振動子に供給する駆動回路２０と、振動子が発生させる信号から角速度成分を抽出し、当該角速度成分の大きさに応じた角速度信号３６ａを生成する角速度信号生成部（同期検波回路３５０及び積分回路３６０）と、振動子が発生させる信号から振動漏れ成分を抽出し、当該振動漏れ成分の大きさに応じた振動漏れ信号３６ｂを生成する振動漏れ信号生成部（同期検波回路３５２及び積分回路３６２）と、角速度信号３６ａの温度特性を補正するように、角速度信号３６ａに振動漏れ信号３６ｂを所与の比率で加算又は減算する加減算部（加減算回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】半ドーナツ形共振器ジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】１つの例示的実施形態は、上部表面を有する基板を有する振動構造ジャイロスコープに関する。半ドーナツ形状を有し、ステムと、ステムを囲む外唇とを含む共振器であり、ステムは基板の上部表面に取り付けられ、外唇は共振器が振動できるようにするために上部表面から離して配置される、共振器を、振動構造ジャイロスコープはさらに含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができるジャイロセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】本ジャイロセンサ駆動装置は、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、ジャイロセンサの駆動停止のために、位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、位相シフタからの駆動電圧と反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅してジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子に外部から伝搬する振動等の影響を排除して、角速度、加速度等の物理量を高精度にて検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は角速度、加速度等の物理量を検出する検出素子２１を、前記検出素子の特性を測定するためのケースに電気的に接続するためのワイヤ６３の剛性のみで空間に保持し、接着剤による接着応力などの影響を除去したものである。 （もっと読む）