【課題】本発明は、ジャイロセンサーオフセット自動補正回路、ジャイロセンサーシステム及びジャイロセンサーオフセット自動補正方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例によると、各センサー電極の出力信号を受けて増幅し、可変抵抗調節によって各出力信号に含まれた駆動信号成分によるオフセットの少なくとも一部を除去する信号利得調節部と、信号利得調節部の出力信号を検出し、信号利得調節部の出力信号が予め設定された範囲内に維持するように可変抵抗を調節する振幅検出部と、を含んでなるジャイロセンサーオフセット自動補正回路が提案される。また、それを含むジャイロセンサーシステム及びジャイロセンサーオフセット自動補正方法が提案される。 （もっと読む）

【課題】振動子に対し共振角周波数に等しい角周波数を持つ駆動信号を出力できないデジタル回路構成であっても、検出精度を低下させることなく角速度を検出する。
【解決手段】駆動回路３は、振動子１の共振角周波数を中心として、検出しようとする角速度の最大値よりも高い周波数で変化する角周波数を持つ駆動信号により振動子１を励振する。この変化周波数に対するＰＬＬ回路７の開ループ伝達関数の利得を１、位相を−１８０°に設定することにより駆動角周波数を持続的に変化させる。検出回路４は、センス信号を同期検波して得られる検波信号を、検出しようとする角速度の最大値よりも高く且つ駆動信号の角周波数の変化周波数よりも低い遮断角周波数を持つローパスフィルタ１８に通過させる。 （もっと読む）

【課題】クワドラチャーエラーを補正してバイアス出力を低減できる構造を備えた振動型ジャイロの提供。
【解決手段】駆動振動にＹ方向成分が含まれる場合、駆動質量体６と固定電極２４との間の静電容量が変化するので、Ｙ方向成分をクワドラチャーエラーとして電気的に検出することができる。駆動質量体６と固定電極２４との間の初期容量は、角速度検出用の電極の初期容量とは異なる大きさであり、クワドラチャーエラーの大きさも異なるので、それぞれの容量変化をＣ−Ｖ変換回路で電圧に変換し、電圧の振幅が一致するように可変アンプで調整し、位相を一致させて差分を出力すれば、クワドラチャーエラーが差し引かれた出力信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子１００と、振動子１００が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置１である。振動子１００は、半導体基板上に形成した下部電極１９４と、下部電極１９４上に形成した圧電体（強誘電体層）１４２と、圧電体１４２上に形成した上部電極（第１駆動電極１４４など）とを有する。電子回路は、振動子１００の上部電極と接続して、振動子１００に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子１００の下部電極１９４と接続し、圧電体１４２に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子から検出した信号に含まれる不正振動ノイズの影響を抑え、予め定められた値以上のＳＮ比を確保して歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コリオリ力に応じた電気信号ＳＲ，ＳＬと、コリオリ力に応じて変化しない基準信号ＦＢとを検出することが可能な振動子と、振動子を駆動する駆動回路２と、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬに対して予め定められた処理を行ない角速度を検出する検出回路１とを備える角速度検出装置である。検出回路１は、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬと基準信号ＦＢとの差分演算を行ない、電気信号ＳＲ，ＳＬから振動子に生じている不正振動によるノイズを除去する駆動ノイズキャンセル回路１２を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の不正振動を抑え、不正振動によるノイズを小さくし、ＳＮ比の劣化を抑えて歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、音叉型の振動子１００と、振動子１００の腕部を振動方向に駆動する駆動回路２００と、振動子１００に角速度が加わることで生じる電気信号を検出する検出回路３００とを備える角速度検出装置である。振動子１００は、腕部の振動方向を制御する制御電極１５０，１７０をさらに有し、検出電極１４８，１６８は、腕部の中立面に対して対称の位置に形成した第１の検出電極部１４８ａ，１６８ａと、第２の検出電極部１４８ｂ，１６８ｂとを有し、一方の腕部に形成した第１の検出電極部および第２の検出電極部の合成電圧を、他方の制御電極に印加し、他方の腕部に形成した第１の検出電極部および第２の検出電極部の合成電圧を、一方の腕部の制御電極に印加する。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの有するクロック周波数とマスタコンピュータの持つクロック周波数とが異なる場合においても、正確な出力信号を出力することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ＩＮＴ出力制御回路７６から出力されるデータ更新信号に同期させて、角速度信号からなる応答信号を通信制御回路６３における出力端子６６からマスタコンピュータ６８における入力端子７１に入力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】母基板への実装が容易となったセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ基板（１０）と、回路基板（３０）と、パッケージ（５０）と、を有し、パッケージ（５０）が母基板（２００）に実装されるセンサ装置であって、パッケージ（５０）は、底部（５１）と、該底部（５１）に形成された環状の側壁部（５２）と、該側壁部（５２）の開口部を閉塞する蓋部（５３）と、を有し、センサ基板（１０）は、底部（５１）、側壁部（５２）、及び、蓋部（５３）によって構成された密閉空間内に配置され、回路基板（３０）は、密閉空間の外部に配置され、回路基板（３０）が接続された底部（５１）の外壁面（５１ｂ）には、ｚ方向の長さが、回路基板（３０）よりも長い凸部（５６）が形成され、該凸部（５６）と母基板（２００）とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】電気信号の干渉を抑え、干渉に起因する不具合の発生を抑制することのできる電子機器を提供する。
【解決手段】カメラにおける撮像レンズのブレ補正駆動機構は、励振される角速度検出部を備えるジャイロセンサ２５Ｘｓ，２５Ｙｓと、その出力から高周波側成分をカットオフして所定の周波数帯域のみを通過させるＢＰＦ３２Ｂと、基本周波数の信号を出力するレンズマイコン３１と、レンズマイコン３１が出力した基本周波数の信号を所定範囲の周波数帯域に拡散させる周波数変更回路３３Ｂと、周波数変更回路３３Ｂからボイスコイルモータ２５Ｘｍ，２５Ｙｍへ信号を出力する変更クロックライン３３Ｅと、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路及び角速度検出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号にオフセット値を加えるオフセット加算手段３４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】熱による温度特性の変化の影響を低減したＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】センサ温度を測定するための温度センサ３が搭載された信号処理用ＬＳＩ１と、前記信号処理用ＬＳＩ上に搭載されたＭＥＭＳセンサチップ２と、を有し、前記ＭＥＭＳセンサチップ２を前記信号処理用ＬＳＩ１の発熱部上に搭載する。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路、角速度検出装置及び故障判定システムを提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号の温度による変動を補正する温度特性補正手段３３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品点数が少ないにも関わらず、温度変化による出力信号の変動を防止することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、角速度振幅検出回路８２からの出力信号を入力する切替スイッチ８７を設け、角速度振幅検出回路８２からの出力信号が所定の値となった際には、切替スイッチ８７により、補正演算手段７５の機能を停止させるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】自励発振回路２６は、振動腕２１ａ、２１ｂに固定される駆動電極２２ａ、２２ｂを通じて、振動腕２１ａ、２１ｂの自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。物理量の作用に応じて振動腕２１ａ、２１ｂに対して相対的に変位する相対変位片上には検出電極２５ａ、２５ｂが配置される。検出電極２５ａ、２５ｂは、駆動電極２２ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２２ａから離れる。検出回路２７は、駆動信号に基づき、検出電極２５ａ、２５ｂからの静電容量信号を駆動信号検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ジャイロセンサ駆動装置及びその方法に関する。
【解決手段】本発明によると、角速度に対応する電圧を検出する検出モジュールと、各軸に対応する駆動電圧を生成する位相変換モジュールと、反転電圧を生成する反転モジュールと、駆動電圧と反転電圧のうち各軸に対して何れか一つを選択して出力するスイッチモジュールと、駆動時には駆動軸の駆動電圧を供給し、駆動停止時には反転電圧を供給する駆動モジュールと、駆動時に前記スイッチモジュールをスイッチング制御信号で制御して駆動軸の駆動電圧を通過させるようにし、駆動停止時に前記スイッチモジュールをスイッチング制御信号で制御して各軸の反転電圧を通過させるようにする制御部と、を含むジャイロセンサ駆動装置及びその方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳプロセスで製造される半導体装置においてトランスリニア原理を用いた演算回路を実現する。
【解決手段】トランスリニアループを模擬するためのｎｐｎトランジスタＱ１〜Ｑ４は、ｎ型基板を共通のコレクタとする一方、それぞれに対応して形成されたｐウェルをベースとし、ｎＭＯＳのソース、ドレインと同様にｐウェル内に形成されるｎ型領域をエミッタとする。入力トランジスタＱ１〜Ｑ３への入力電流の供給はエミッタに接続された電流源Ｉ１〜Ｉ３により行う。試行値Ｎtに応じた電流を生成する電流ＤＡＣ２１０を出力トランジスタＱ４のエミッタに接続する。Ｑ２，Ｑ４のエミッタ間は分断し、その両端の電位を比較してその結果に応じた比較出力を生成する電位比較回路２１２を接続する。制御回路２１４は比較出力に基づいて、分断個所での電位平衡状態に対応したＮtを探索して演算値として出力する。 （もっと読む）

【課題】低周波数帯域の雑音の影響をより一層小さくすることができるスイッチトキャパシター積分回路等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路１０は、第１の容量と第２の容量とを有する電圧電荷変換回路２０と、第１の容量に充電された電荷を積分する電荷積分回路３０とを含む。電圧電荷変換回路２０は、第１の期間において、第１の容量に充電された電荷を転送すると共に入力信号に対応した電荷を第２の容量に充電し、第２の期間において、第２の容量に充電された電荷の一部を第１の容量に充電すると共に入力信号に対応した電荷を第１の容量に充電する。電荷積分回路３０は、第３の期間において、演算増幅器の入力に接続されるオフセットキャンセル容量の他端と第１の容量の一端とを接続し、第４の期間において、オフセットキャンセル容量の他端と接地電位とを接続する。 （もっと読む）