【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２は、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の一方側から他方側に向かって減少する第１点灯動作と、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の他方側から一方側に向かって減少する第２点灯動作とを行う。従って、第１点灯動作時における受光部１３の受光強度と第２点灯動作時における受光部１３の受光強度との比較結果に基づいて検出用光源部１２に対する対象物体Ｏｂの角度位置（角度θ）を検出でき、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射した際の受光部１３の受光強度に基づいて検出用光源部１２から対象物体Ｏｂまでの距離ｒを検出できる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の変位測定精度の低下を抑制可能な変位センサ及び形状測定システムを提供する。
【解決手段】制御回路２１は、電圧信号Ｓ１の解析により最大受光量Ｄｎを検出し、メモリ２４に各サンプリングタイミングに対応付けて記憶し、たとえば現在のサンプリングタイミング以前の複数周期分の最大受光量の平均値Ｋを演算し、この平均値Ｋが目標レベルＴｈ１と同じ受光ランクに属するかどうかに基づき受光面１９ａでの受光状態の安定・不安定を判断し、不安定と判断したときは、コントローラ１２に測定信号Ｓ３を出力するとともに不安定を示すハイレベルの出力信号Ｓ４を出力する。 （もっと読む）