【課題】特異な輝度を持つ画素に影響されない重心位置算出を行い、変位測定の精度を向上する変位測定方法および変位測定装置を得る。
【解決手段】計測対象１にスリット光３を照射するスリット光照射装置２と、スリット光３を計測対象１に照射することによって生成される光切断線４を撮影するカメラ５と、カメラ５により得られた光切断線像から計測対象１の変位を求める画像処理装置７と、を備え、画像処理装置７は、カメラ５により得られた光切断線像の重心位置演算方向の各画素の輝度を最小二乗法で理想的な輝度分布に近似させた後、さらに輝度値と近似値の差分を用いて重み付き最小二乗法で理想的な輝度分布に再近似させ、その分布の期待値から光切断線像の重心位置を算出して計測対象１の変位を求める。 （もっと読む）

【課題】広視野な受信系においてクロストークによる誤りを回避する。
【解決手段】レーザ測距装置１，２は、制御装置３による制御に従って、所定の変調信号でレーザ光を変調し、対象物に向けて走査するレーザ光送信手段（レーザ装置１１、変調器１２およびスキャナ１３）と、対象物からの散乱光を受光し、電気信号に変換する散乱光受信手段（受信レンズ１５および受光器１６）と、電気信号と変調信号との時間差または位相差に基づいて対象物までの距離を算出する距離算出装置１７とを備え、制御装置３は、各レーザ測距装置１，２によるレーザ光の重なりを回避するように、または、当該重なる領域を指定するように、当該各レーザ光の所定諸言を同期させる。 （もっと読む）

【課題】ノイズ光が入射した場合に誤った計測が行われるのを防止して、計測の精度を確保する。
【解決手段】検出用の光を投光する投光部１０１と、投光された光に対する反射光を受光する受光部１０２と、変位を計測する計測処理部として機能するＣＰＵ１０とを具備するセンサ１のＣＰＵ１０に、受光量の変化を表すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度を示すパラメータの値があらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する判別手段の機能を付与する。ＣＰＵ１０は、判別対象のパラメータの値が許容範囲に入っていると判別した場合には、計測処理を行って結果を出力するが、判別対象のパラメータの値が許容範囲を逸脱すると判別した場合には、計測結果が出力されないように制御する。 （もっと読む）

【課題】距離測定装置において、比較的小型の構成で受光効率を向上して比較的広い距離検出範囲で距離を測定可能とすることを目的とする。
【解決手段】２次元スキャナおよび投光角拡大レンズを含み投光ビームを前方に投光する投光系と、投光系のビーム走査角度と同等以上の受光視野角を有すると共に受光に関する第１の光路が投光角拡大レンズの投光に関する第２の光路と独立しており投光角拡大レンズより前方、且つ、投光ビームの投光領域より後方に配置された受光レンズを含む受光系とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】広視野な受信系において背景光を除去する。
【解決手段】所定の変調信号でレーザ光を変調し、対象物に向けて走査するレーザ光送信手段（発振器１、レーザ装置２、変調器３およびスキャナ４）と、レーザ光に対する対象物からの散乱光を受光し、電気信号に変換する散乱光受信手段（受信レンズ６および受光器８）と、受光面の前段に配置され、閉じることで対応する位置に入射した光を遮光する複数のシャッター素子を有するシャッター７と、電気信号と変調信号との位相差または時間差に基づいて対象物までの距離を算出する距離・強度算出装置９と、電気信号に基づいて背景光を検出する背景光検出装置１０と、背景光が検出された場合に、シャッター７を制御して、当該背景光が入射する位置に対応するシャッター素子を閉じさせるシャッター制御装置１１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】計測距離の精度向上を図る。
【解決手段】駆動部１４によりレーザ光の照射方向が鉛直下方向になったときに計測される距離計測装置と地面との距離と、メモリに記憶された情報に基づいて特定される距離計測装置と地面との距離の差分から計測距離の総合誤差を算出し、この計測距離の総合誤差を用いて計測距離が補正する。 （もっと読む）

【課題】距離の異なる複数の検出対象を同時に検出することができ、低コストで精度の高い測距を行なうことのできるレーザレーダ装置を提供する。
【解決手段】光源と、前記光源より出射された光を走査する光走査部と、前記光走査部より出射された光が検出対象に照射されることにより、前記検出対象において反射された光を受光する受光部と、を有し、前記検出対象と前記受光部との間には、複数の貫通孔を有する多孔部材が設置されていることを特徴とするレーザレーダ装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】露光前に基板の裏面洗浄を行う機能を備えた基板処理システムにおいて、基板処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】露光装置で露光処理を行う前に、露光装置における基板のフォーカスの状態を検査する検査ユニット１００であって、ウェハＷを、露光装置で露光処理される際と同じ条件で裏面から吸着保持するウェハ保持台１４１と、ウェハ保持台１４１に吸着保持されたウェハＷにおける厚み方向の高さを測定する高さ測定機構１５０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面の反射の状態によって、変位センサの測定方式を切り換えたり、変位センサを交換したりすることを不要にする。
【解決手段】拡散反射板２１２は、レーザ光源２３１から出射され、ワーク１０２の加工面で正反射されたプローブ光が入射する位置に配置されている。リニアセンサ２３３は、拡散反射板２１２により拡散反射されたプローブ光がさらにワーク１０２の加工面で反射された第１の反射光、レーザ光源２３１から出射されたプローブ光がワーク１０２の加工面で拡散反射された第２の反射光を受光する。信号処理部２３４は、第１の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面を介して拡散反射板２１２に入射するまでの第１の距離を検出するか、または、第２の反射光によりプローブ光がワーク１０２の加工面に入射するまでの第２の距離を検出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を使用したレーザ計測システムにおけるレーザスキャナに関して、従来のようにコード等の有線に影響されることなく、安全且つ自在に、レーザスキャナのエリア設定及び計測結果の取得を遠隔から行うことができるようにした無線方式レーザスキャナ設定取得方法を提供する。
【解決手段】レーザ光を発射する発光部と発射したレーザ光の反射光を受光する受光部とを有するレーザ計測装置に、レーザ光の発光時と反射光の受光時との時間差により測定対象物までの距離を計測する距離計側部からの計測信号を遠隔制御装置に無線通信によって送信する一方、遠隔制御装置からの制御信号をレーザ計測装置に無線通信によって送信することにより、遠隔制御装置で、レーザ計測装置によって計測された計測結果の取得とレーザ計測装置に設定すべき信号の制御とを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間を高精度に制御することのできる有機ＥＬデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】真空処理室内に設けられたシャドウマスクと、基板を載置する基板ホルダーと、基板とシャドウマスクとの間を、接近させ又は離間させる基板密着手段と、基板ホルダーの四隅に設けられた距離計測機構とを備え、距離計測機構は、基板ホルダーを貫通するように設けられた距離計測用空間と、基板ホルダーの表面上に設けられた透明ガラス板と、距離計測用空間に配置された距離計測部とを備え、距離計測部は、光を発射し反射光を受光して距離を計測する距離計と、距離計を真空処理室内の雰囲気から隔離する距離計筐体と、距離計筐体の一部に設けられた透明ガラス窓とを備え、距離計が、透明ガラス窓を介して透明ガラス板とシャドウマスクとの間の距離を計測するよう、有機ＥＬデバイス製造装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で容易に対象エリア、又は測定対象の画像が取得できると共に対象エリアの測定が行える画像測定装置を提供する。
【解決手段】投光光軸２６と照明光２９を射出する光源２７とを有し、前記投光光軸を経て前記照明光を投射する投光光学系５と、受光光軸１５と撮像素子１３とを有し、測定対象からの再帰反射光２９′を前記受光光軸を経て撮像素子で受光する受光光学系６と、前記撮像素子で撮像されたデータを処理する制御演算装置７とを具備し、前記投光光学系は前記投光光軸を測定対象に向け前記照明光を投射する投光ユニット２５と、該投光ユニットを高低方向、水平方向に回転し、前記照明光の投射角を変更する投射角変更手段２３，３３と、前記受光光軸に対する前記投光光軸の方向角を検出する方向検出手段２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】物体までの距離を測定する距離測定装置において、物体までの距離を精度よく検出できるようにする。
【解決手段】レーダ装置は、区分された領域毎に、演算距離および演算輝度を検出し、演算輝度と、反射光の検出が困難になる程度の輝度に設定された輝度閾値とを比較し、演算輝度が輝度閾値以上となる高輝度領域を抽出する。そして、照射領域において水平方向に並ぶ一対の高輝度領域を検出し、一対の高輝度領域の間隔に基づいて一対の高輝度領域を形成する物体を表す高輝度物体までの距離を演算する（Ｓ５１０〜Ｓ５５０）。この構成では、輝度が高く、レーザ光の反射光が検出できない可能性がある高輝度領域においても、物体までの距離を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】発光素子の温度変化に対する計測精度の変化を抑制する。
【解決手段】投光手段１は、対象空間に投光する発光素子１１を備え、受光手段２は、対象空間からの光を受光する受光素子２１を備える。制御手段３は、投光手段１に変調信号を与えて発光素子１１から時間経過に伴って強度が変化する変調光を投光させ、変調信号に同期する復調信号を受光手段２に与えて受光素子２１の出力から変調光の成分を抽出する。演算手段４は、投光手段１から対象空間に投光された変調光が受光手段２に受光されるまでの時間を計測することにより、対象空間に存在する物体までの距離を算出する。温度測定手段６は、発光素子１１の温度を計測し、精度維持手段７は、温度測定手段６が計測した温度が高いほど発光素子１１の駆動電流を大きくし、発光素子１１の温度変化に対して受光素子２１に入射する変調光の変化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ノイズ光の入射により検出対象物が検出対象位置にあると判断され得る受光状態になった場合でも、誤検出が生じるのを防止する。
【解決手段】検出用の光を投光する投光部１０１と、投光された光に対する反射光を受光する受光部１０２と、検出部として機能するＣＰＵ１０とを具備するセンサ１のＣＰＵ１に、受光部１０２の受光状態に基づき、検出対象物とセンサ１との間の距離があらかじめ定めた基準距離に適合するか否かを判別する第１の判別手段と、受光量を表すパラメータまたは受光量の増減に応じて調整される感度パラメータの変化の度合いがあらかじめ定めた許容範囲に入るか否かを判別する第２の判別手段との機能を付与する。各判別手段により物体との距離が基準距離に適合し、パラメータの変化の度合いが許容範囲に入ると判別されたとき、センサ１からは物体を検出したことを示す検出信号が出力される。 （もっと読む）

【課題】背景に輝度の非常に高いクラッタが存在する場合、画像信号からクラッタ成分を除去できない。
【解決手段】一実施形態によれば、レーザ光の送信部１１と、受信部１２と、複数の撮像素子を有する撮像部１３と、目標までの相対距離を演算し受信タイミング信号を出力する測距器１４と、この受信タイミング信号の受信期間に重なる第１の露光タイミング信号およびこの受信期間と重ならないタイミングを持つ第２の露光タイミング信号を撮像部１３へ与えるタイミング生成部１５と、各露光タイミング信号によって撮像された画像信号から複数の画素および画素毎の輝度を対応させた画像データを生成する画像処理部１６とを備え、画像処理部１６は第１の露光タイミング信号により目標および背景を含む画像を生成し、第２の露光タイミング信号により背景を含む画像を生成し、これらの画像間で輝度の差分を求めるレーザレーダ装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】光飛行型距離画像生成装置によって撮影空間の距離画像生成する際、同一撮影空間内に同時期に複数の光飛行型距離画像生成装置が存在する場合であっても、精度良く測距を行う。
【解決手段】光源から照射する変調光の発光（ＯＮ）期間と、電荷蓄積部の各単位蓄積部における電荷の蓄積期間とを一定としながら、変調周期毎に周期の長さを変化させるよう、発光と蓄積とを制御する。周期の長さは、予め定めた固定の変調周期Ｔｓに、周期毎に異なる付加時間を付加することにより変化させる。そして、付加時間中に取得した電荷は廃棄する。 （もっと読む）

【課題】サーチ動作又はボンディング前のボンディング点の高さ測定を行うことなしに、高速でボンディングが可能なボンディング装置を提供すること。
【解決手段】上下方向に揺動可能なボンディングアームに搭載されて、被ボンディング部品の表面に位置するボンディング点の合焦点の検出を行う共焦点光学系と、前記ボンディングアームと一体に可動してボンディングを行うボンディングツールと、前記ボンディングツールの位置を検出する位置検出手段と、を有し、ボンディングツールのボンディング点への下降中に、共焦点光学系による合焦点検出により位置検出手段で検出したボンディングツールの位置から、前もって設定したボンディング点までの所定の距離（合焦点基準下降量）をボンディングツールが下降して、ボンディング点上で停止するように制御する。 （もっと読む）

【課題】装置の周囲において三次元的に物体を認識し得るレーザレーダ装置において、駆動制御の複雑化を抑え、三次元的な認識の高速化を図り得る構成を提供する。
【解決手段】レーザレーダ装置１には、複数の受光素子２１が二次元的に配置されてなる受光センサ２０が設けられ、この受光センサ２０は、ミラー３０の上方側において反射部３１によって導かれた反射光を受光領域にて受光する構成をなしている。一方、レーザダイオード１０から外部空間に照射されるまでのレーザ光Ｌ１の投光経路には、凸状鏡７１が配置され、偏向部４１から外部空間に向かうレーザ光Ｌ１を少なくとも中心軸４２ａの方向に拡がらせている。そして、外部空間からの反射光が偏向部４１に入射するときの入射の向きに対応して受光領域での反射光の入射位置が定まるように構成されている。 （もっと読む）