【課題】 元素分布および状態分布を二次元的に把握しやすく、また、一度の観測で多数の特定元素分布データを得ることができる、ＳＴＥＭを用いたＥＥＬＳ分析方法およびＥＥＬＳ分析装置を実現する。
【解決手段】 試料表面の座標（Ｘ，Ｙ）の各点でそれぞれ、ＥＥＬＳスペクトルデータを採取する。各ＥＥＬＳスペクトルデータのコア・ロス吸収端及びＥＬＮＥＳ吸収端を探索し、両者のエネルギー損失量の差Ｅｄを（Ｘ，Ｙ，Ｅｄ）の分布像として表示する。Ｅｄは伝導帯の状態密度を反映するので、（Ｘ，Ｙ，Ｅｄ）は状態分布像に相当する。また、各座標のコア・ロス吸収端のデータから元素同定して元素濃度Ｃを（Ｘ，Ｙ，Ｃ）の分布像として表示する。各座標ごとにＥＥＬＳスペクトルデータを採取しているので、一度の観測で複数の元素の濃度分布を計算することができる。 （もっと読む）