【課題】欠陥周辺に圧痕マーキングを行う際、試料の膜種によらず、一定の条件で行うと、周囲が割れてマーキングや欠陥が見にくくなったり、マーキングが小さすぎて見にくくなるという問題があった。また、パターン付きウェーハではマーキングに適さない方の膜上にマーキングしてしまうという問題があった。
【解決手段】マーキング予定位置を元素分析し、その結果に基づいて、圧子の荷重、下降速度、深さ等の圧痕マーキングの条件を変えることにより、膜種に適したマーキングを行う。また、登録された膜種と断定できない場合、手動設定に切り替えることにより、間違えた条件でマーキングすることを防ぐ。マーキングに適さない材質の場合、マーキングを施さないようにすることもできる。 （もっと読む）

【課題】結晶ウェハにより製造した３次元湾曲型Ｘ線反射レンズによる分光光学系により測角器を必要としない小型化に適した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線結晶分光器とＸ線検出器によってなる蛍光Ｘ線分析装置であって、１方向の長さが25mm以上300ｍｍ以下で板状単結晶からなる３次元形状に湾曲した１枚のＸ線結晶分光器と、位置敏感かつエネルギー分解能力のあるＸ線検出器の少なくとも何れか一方を用いることにより、結晶分光器の角度走査をすることなくＸ線の分光波長帯域の蛍光Ｘ線分析を行う。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析法による成分定量において分析精度を向上できる試料の予備成形方法およびそれを用いる成分定量方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加圧して本成形した後で蛍光Ｘ線分析法に用いられる試料を予備成形する方法であって、平均粒径Ｄ５０が３０μｍ以下の金属または合金粉末を型に充填して成形し、この成形体５のＸ線が照射される面５ａの全面を押込み率を１０〜４０％にして加圧することを特徴とする試料の予備成形方法である。本発明の予備成形方法は、成形体５のＸ線が照射される面５ａの全面を押込み率を１０〜４０％にして加圧する際に、成形体５のＸ線が照射される面の全面を加圧するパンチ４と、このパンチ４を案内するガイド３とを用いるのが好ましく、金属または合金粉末として、希土類−鉄−ホウ素系合金の酸化物粉末を用いるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱交換器のアルミニウムフィンに鉄が強固に固着する以前に除去する必要があるが、そのためには、冷凍装置の熱交換器の運転状態を常に監視しなければならず、装置が大規模となるほか、鉄粉の腐食による目詰まりであるか、油にごみ等が付着したために生じた目詰まりであるかを判別することはできない。
【解決手段】この発明に係る検知装置は、アルミニウムの成型品にＸ線を照射する照射部と、成型品から放出される蛍光Ｘ線を分析する分析部と、分析部における分析結果からアルミニウムと鉄の信号強度の比を算出する算出部とを備え、この比により成型品に固着した鉄の固着度を検知する。 （もっと読む）

【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するＡ工程と、液中のＳｉの質量数２８、Ｐの質量数３１およびＰＯ不純物の質量数４７の質量スペクトル強度を計測するＢ工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するＣ−１工程、この固形物中のＳｉ、Ｐ、ＰＯ元素の真空中でのエネルギー強度を測定するＣ−２工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するＣ−３工程、Ｃ−３工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記Ｂ工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のＳｉ、Ｐ，ＰＯの真の不純物量を求める。 （もっと読む）

【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折Ｘ線を回避することができるＸ線分析装置等を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓを試料Ｓの所定点周りに回転させながら１次Ｘ線２を照射し、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を試料Ｓの回転角度と対応させた回折パターンを取得して記憶し、回折パターンを、２次Ｘ線４の強度を示す直線で強度の高低方向に走査しながら、直線が示す強度以下の強度をもつ回折パターン上の点を候補点とし、隣接する候補点間の回転角度差の最大値が所定の角度になったときに走査を止めて候補点の回転角度を記憶し、試料Ｓの測定点の座標に応じて、記憶した候補点の回転角度の中から測定点の座標に最も近い回転角度を読み出し、読み出した回転角度に試料Ｓを設定するとともに、試料Ｓの測定点を検出器７の視野Ｖ内に配置する。 （もっと読む）

【課題】簡易な操作により容易かつ迅速に分析を行うことができるとともに、公定法との良好な相関性を得ることができる石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法を提供する。
【解決手段】石炭灰中における砒素濃度の簡易分析方法は、まず石炭灰にＸ線を照射し、該石炭灰から発せられる蛍光Ｘ線の強度を測定する蛍光Ｘ線法により得られる砒素濃度と、アメリカ環境保護庁の定める公定法（EPA Method 3051）により得られる砒素濃度との間で検量線を作成する。次いで、分析対象物としての石炭灰について前記蛍光Ｘ線法により砒素濃度を分析する。そして、蛍光Ｘ線法で得られた砒素濃度の分析値から、前記検量線に基づいて公定法により得られる石炭灰中の砒素濃度が推定可能である。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるＸ線分光検出装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分光検出装置１Ａは、Ｘ線若しくは電子線の照射によって該試料１０表面における直径１００μｍ以下の微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を波長毎に分光して検出する。Ｘ線分光検出装置１Ａは、分光結晶２０及び二次元Ｘ線検出器３０を備える。分光結晶２０は、微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を受ける平坦な回折反射面２０ａを有し、特性Ｘ線２に含まれる波長成分のうち該回折反射面２０ａへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性Ｘ線２を波長毎に分光する。二次元Ｘ線検出器３０は、分光結晶２０において回折反射した特性Ｘ線２を受ける受光面３０ａを有し、該受光面３０ａに入射した特性Ｘ線２の入射位置および強度に関するデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって使用できるとともに、正確なドリフト較正をすることができる、液体試料の蛍光Ｘ線分析用の較正試料等を提供する。
【解決手段】本発明の較正試料２０は、液体試料Ｓの蛍光Ｘ線分析において、分析対象金属元素の測定Ｘ線強度の経時変化を較正するための固体の較正試料２０であって、分析対象金属元素を含む金属層２１と、水素、ホウ素、炭素、窒素、酸素およびフッ素のうち少なくとも１つの軽元素を最大のモル分率とする厚さ１ｍｍ以上の軽元素層２２と、が重ねられて形成され、金属層２１において、軽元素層２２との対向面の反対側の面を分析面２３とする。 （もっと読む）

【課題】X線等の電磁波や電子線、中性子線等の粒子線を利用し、試料の断層像を撮影するComputerized Tomography Method（CT法）において、密度等のスカラー場ではなく、磁気等のベクトル場の断層像を得る。
【解決手段】試料または入射エネルギー線をφ回転させて測定した強度I_φ(x_r)のx_r−φ分布から、２Ｉ_φ（ｘ_ｒ）・ｃｏｓ（φ）及び２Ｉ_φ（ｘ_ｒ）・ｓｉｎ（φ）を用いてサイノグラムを再構成し、ベクトル場の成分分離を行い、再構成することでベクトルの断層像を得る。 （もっと読む）

【課題】個人差を生じさせずにＲＯＩ範囲を設定して検量線を算出することが可能な、検量線算出方法、及び情報処理装置を提供すること。
【解決手段】測定スペクトル上のＲＯＩ範囲を設定するＲＯＩ範囲設定工程と、設定されたＲＯＩ範囲の積分強度を前記測定スペクトルごとに算出し、算出した積分強度に基づき最小二乗法により検量線を算出する検量線算出工程と、前記積分強度と前記検量線との誤差を算出する誤差算出工程とを含み、前記ＲＯＩ範囲設定工程において、前記測定スペクトル上のＲＯＩ範囲を変更し、変更後のＲＯＩ範囲に基づき算出される前記誤差が最小となるＲＯＩ範囲を決定する。 （もっと読む）

【課題】加圧成形試料からの破片や粉体による汚染を簡単な作業で十分に抑制できる試料ホルダを提供する。
【解決手段】加圧成形試料１を保持する試料ホルダ２であって、底部３ａ付きの円筒形であって通気部３ｃを有する本体３と、本体３の上部を覆うように着脱自在に取り付けられ、加圧成形試料１の分析面１ａを露出させる開口４ａを有し、下方から加圧成形試料１が当接される蓋体４と、加圧成形試料１が載置される受け皿５と、本体３の底部３ａと受け皿５との間に配置され、受け皿５を介して加圧成形試料１を蓋体４に押圧する内側ばね６と、加圧成形試料１を非接触で囲うように配置されるリング部７ａおよびそのリング部７ａから垂下する多孔性膜である袋部７ｂからなるトラップ７と、底部３ａとリング部７ａとの間に配置され、リング部７ａを蓋体４に押圧する外側ばね８とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁石は、構成元素およびその組成により特性が大きく異なるが、従来の磁石のリサイクル方法では組成による選別が行われていなかった。そのため、回収された磁石には種々の組成の、特性の異なった磁石が混在しており、個々の元素の酸化物のような粗原料まで精製してから新たな再生磁石を製造する必要があった。
【解決手段】磁石を搭載した使用済み製品について、搭載されている磁石がネオジム磁石か否かを選別し、更にネオジム磁石中のＤｙ組成によりネオジム磁石を選別、回収することにより、品質が良好で安定した磁石のリサイクル原料を効率よく製造する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】照射範囲の広いX線照射装置を用いて、試料を電子回路基板等に実装したままで、分析対象部分にのみX線を照射して分析する。
【解決手段】X線照射位置決めフィルタ２０Ａが電子回路基板６０上の部品６１Ａの近傍に配置されている。X線照射位置決めフィルタ２０ＡにはX線を通す窓が開いている。窓の形状は、部品６１Ａにおける分析対象部分の形状に合わされている。窓を除く表面はX線を遮断する。蛍光X線分析装置１Ａは、X線管１０で発生する一次X線１１を部品６１Ａに照射する。窓を通過した一次X線１１によって部品６１Ａにおける分析対象部分を構成する物質の分子が励起され、蛍光X線１２が発生する。蛍光X線分析装置１Ａは、その蛍光X線１２を検出器３０で検出し、分析器４０で部品６１Ａを構成する物質に含有される成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】識別するための標識物質の組み合わせが事実上無制限であり、微量の標識物質を用いるのみで識別でき、対象物の素材や製品形状、物性によらずに適用することができる放射線を用いる識別方法を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブを構成する物質以外の物質を標識物質として、ナノチューブの中空部分に内包した内包カーボンナノチューブ、あるいはナノサイズの細孔を有する多孔体を構成する物質以外の物質を、標識物質として細孔に内包した内包多孔体を、識別材料として識別対象物に付与し、対象物に放射線を照射し、標識物質から放射される２次放射線を検知して、識別材料が付与された対象物を識別する識別方法。 （もっと読む）

【課題】スペクトルを有効に表示することができるスペクトル表示装置を提供する。
【解決手段】スペクトル表示装置１００は、第１軸を所定の物理量とし、第２軸を前記所定の物理量に対する強度として表したスペクトルの一部を拡大して表示するスペクトル表示装置であって、前記スペクトルの前記第１軸の拡大範囲を指定するための操作部１０と、操作部１０によって指定された前記拡大範囲の情報を取得する範囲情報取得部２２と、前記拡大範囲の情報に基づいて、前記拡大範囲が所定の拡大率で前記第１軸に沿って拡大され、かつ前記拡大範囲とは異なる前記第１軸の範囲が所定の縮小率で前記第１軸に沿って縮小された拡大スペクトルを生成するスペクトル生成部２４と、スペクトル生成部２４が生成した前記拡大スペクトルを表示する表示部３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】前置増幅部前段の性能特性の変動による影響が抑制されたＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】標準サンプルから放出された蛍光Ｘ線を検出する半導体Ｘ線検出素子、及び半導体Ｘ線検出素子の出力信号を受信する初段ＦＥＴ回路を含む前置増幅部前段と、前置増幅部前段を冷却する冷却装置と、前置増幅部前段から出力される検出信号を分析する信号分析装置と、検出信号を分析して得られる前置増幅部前段の性能特性を示す性能値、及び前置増幅部前段の温度をリアルタイムで監視し、冷却装置を制御して性能値が規定値を満たすように前置増幅部前段の温度を調整させる制御装置とを備え、前置増幅部前段が調整された温度において、測定対象物から放出された蛍光Ｘ線を分析する。 （もっと読む）

【課題】回折線による分析精度の低下を抑制することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１００は、スペクトルから、二次Ｘ線ピークを抽出する二次Ｘ線ピーク抽出部１２と、抽出された前記二次Ｘ線ピークのエネルギー幅を算出する二次Ｘ線ピーク幅算出部１３と、抽出された前記二次Ｘ線ピークのエネルギー値における蛍光Ｘ線ピークのエネルギー幅の情報を取得する蛍光Ｘ線ピーク幅情報取得部１４と、二次Ｘ線ピーク幅算出部１３が算出した前記二次Ｘ線ピークのエネルギー幅が、前記二次Ｘ線ピークのエネルギー値における蛍光Ｘ線ピークのエネルギー幅よりも大きい場合に、抽出された前記二次Ｘ線ピークを回折線ピークと判定する回折線ピーク判定部１５と、を含む。 （もっと読む）

【課題】試料表面の付着物質を精度よく検出できる半導体装置の検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２の上に反射膜１３と薄膜１４とを順に形成してなる試料１１の表面に、反射膜１３の臨界角θｃよりも浅い入射角θで入射Ｘ線８２ａを照射し、入射Ｘ線８２ａの照射により薄膜１４表面の付着物質８６から放出される蛍光Ｘ線８３を検出することで、試料１１の表面の付着物質８６を検出する。 （もっと読む）

【課題】樹脂中の塩素濃度を蛍光Ｘ線分析で正確に測定することが可能な塩素濃度測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の塩素濃度測定方法は、真空中での蛍光Ｘ線分析により樹脂中の塩素濃度を測定する方法であって、対陰極としてロジウムを用いて発生させたＸ線を、クロム測定用フィルタ２３を通して測定試料Ｓに照射し、測定試料Ｓとの比重差が０.１５以内の標準試料を用いて作成した検量線に基づき、照射により測定試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線の強度から塩素濃度を算出する。 （もっと読む）