【課題】長期的に安定して、発熱による分光性能の低下が抑制される分光器を提供する。
【解決手段】分光器は、照射されたＸ線を分光する分光結晶（１０）と、分光結晶の、Ｘ線照射領域（１５）を除いた領域の少なくとも一部に形成された熱伝導部材（１１）と、を有している。熱伝導部材（１１）は、熱伝導部材（１１）の熱伝導率が分光結晶（１０）の熱伝導率よりも大きくなるように、カーボンナノファイバとカーボンナノチューブの少なくとも一方を含有した無機材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハ上の欠陥の分析に特に有利であり、自動化による製造プラント内でのウェーハのインライン検査に適するシステムを提供する。
【解決手段】 バックグラウンドに起因するｘ線信号を定量的に考慮する欠陥のＥＤＸ自動分析用システムを用いる。本システムは、バックグラウンドと欠陥のｘ線サンプリングに適切な場所を自動的に同定することができる。本システムは、また、バックグラウンドに起因し欠陥に起因しない信号を効果的に、かつ定性的ではなく定量的に除去することができる。『微量分析』と呼ばれる有利な特徴が本システムのスループットを高くすることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されスペクトル像において、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成される二次元の電子線位置像から算出される電子線位置を基準電子線位置と比較し、各電子線位置の相違点に基づき、歪み量を算出することにより、分析対象試料のスペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する。
【解決手段】
エネルギー損失量と位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する方法および装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】湾曲面に割れの生じないゲルマニウム湾曲分光素子を得る。
【解決手段】円筒状湾曲面１４を有する基板１３と、前記基板の湾曲面に貼り付けられた単結晶ゲルマニウムからなる湾曲結晶１２とから構成され、前記基板１３はゲルマニウムからなる。湾曲結晶部分１２と基板部分１３の線膨張係数が同一又は殆ど差がないため、化学エッチング処理を行っても湾曲表面に割れの生じないゲルマニウム湾曲分光素子１５を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料から同時にスペクトル像を取得し、スペクトル像より抽出された電子エネルギー損失スペクトルから、高精度のケミカルシフトを測定することが可能な透過型電子顕微鏡装置，試料ホルダ，試料台及びスペクトル像の取得方法を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡装置１は、電子線３を放射する電子銃と、放射された電子線３を収束する収束レンズ４と、収束された電子線３が放射され、試料を配置する複数個の試料台２０，２１と、試料台を移動する試料移動制御装置２２と、複数個の試料を透過した電子線３を結像する結像レンズ系７と、結像された電子線３の有するエネルギー量により電子線３を分光し、エネルギー分散軸及びエネルギー分散軸と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力して複数個の試料より同時にスペクトル像を取得する電子分光器８と、取得したスペクトル像を表示する画像表示装置１４とを備える。 （もっと読む）

放射線透過データおよび特に物体の画像を、構成要素の物質の相対的な比率についての一部のデータが導き出され得る方法にて取得するための方法および装置を記載する。放射線源のスペクトル内の複数の周波数全体に亘って透過強度を分解することができる放射線源および放射線検出器システムが、各々のこのような周波数についての透過強度データを生成するために用いられる。少数の予期される構成要素の物質のために、その構成要素の物質に関して、指数減衰法、すなわちｌ／ｌ_０＝ｅｘｐ［−（μ／ρ）ρｔ］によって与えられる関係に適合させ、かつ、構成要素の物質から、強度データアイテムを生成する透過経路内の各々の要素の物質の相対的な比率の指標を導き出すために、測定されたデータが、個々で、または集合的に、質量減衰データを保存する質量減衰データライブラリと数値的に比較される。画像は分解された透過強度データから生成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー損失量と測定位置情報の二軸で形成される電子エネルギー損失スペクトル像について、各測定位置間での電子エネルギー損失スペクトルの相違点を高効率かつ高精度に補正する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 （もっと読む）

本発明は、荷電粒子ビームを輸送するための装置（１０）に関する。装置は、ターゲット（３）上で荷電粒子を走査するための走査手段（１２）と、走査手段の上流に配置された双極磁石(１５)と、双極磁石と走査手段との間に配置された少なくとも３つの四重極レンズ(１７)と、荷電粒子ビームの走査角度の関数として３つの四重極レンズの磁界の強度を調整する調整手段とを備える。この装置は、少なくとも単一の収色性を有するように製造され得る。
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【課題】磁気ヘッドのリード素子の素子形状を評価する素子評価方法及び装置に関し、同一の評価試料によってリード幅、コア幅及び素子高さを評価しうる素子評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１の材料よりなる第１の部分と第２の材料よりなる第２の部分とが積層された第１の領域に電子線を入射し、第１及び第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第１の電子線強度を測定し、第１の材料よりなる第２の領域に電子線を入射し、第１の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第２の電子線強度を測定し、第２の材料よりなる第３の領域に電子線を入射し、第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第３の電子線強度を測定し、第１の電子線強度と第１の部分の厚さとの関係を、第２の電子線強度と評価試料の厚さとの関係及び第３の電子線強度と評価試料の厚さとの関係から算出することにより、第１の領域の第１の部分の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】蛍光ＸＡＦＳ法を利用して、単結晶の試料に含まれる微量元素の構造解析を行うのに際し、試料から特定角度に強い回折Ｘ線が生じることに伴い、蛍光Ｘ線信号の測定が阻害されることを抑制できる微量元素の構造解析方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線エネルギーを変えながら試料にＸ線を照射し、試料から放出される蛍光Ｘ線を検出して、前記Ｘ線エネルギーと蛍光Ｘ線との関係から試料中の微量元素の原子構造に関する情報を解析する微量元素の構造解析方法である。この方法において、Ｘ線の照射を粉砕された単結晶の試料（粉砕試料S）に対して行う。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスコストを低減できる水分計測装置及び水分計測方法を提供することにある。
【解決手段】γ線源１は、被検査体４にγ線を照射する。中性子検出器６は、被検査体４に付着した水の中の重水素による（γ，ｎ）反応によって発生した中性子を検出する。ここで、γ線源１が照射するγ線のエネルギーを、重水素の（γ，ｎ）反応に対するしきいエネルギーよりも高く、被検査体４を構成している物質の（γ，ｎ）反応に対するしきいエネルギーよりも低いエネルギーとし、重水素の（γ，ｎ）反応により発生する光中性子を中性子検出器６で計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、良品から不良品への経時変化を同一試料、同一視野で追跡し、不良発生のメカニズムを観察することのできる内部構造観察用又は電子顕微鏡用の試料ホルダーを提供することにある。
【解決手段】本発明は、内部構造観察用の試料ホルダーであって、試料ホルダー本体と、複数本の探針と、試料を保持する試料保持台を有し、前記探針及び試料の少なくとも一方を移動可能とする圧電素子と、前記探針に接続され、前記試料に電圧を印加する配線を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線源から放出するＸ線を効率よく利用して、Ｘ線源の強度および波長特性不安定性に影響されることなく良好なスペクトルを取得する。
【解決手段】Ｘ線集光素子３により、Ｘ線源１から放出された広帯域Ｘ線２を集光してその一部を試料４へ照射し、Ｘ線結像素子６により、試料４を透過した透過光５Ａと試料４を透過せずＸ線集光素子３から直接届いた直接光５Ｂの像を同時に転送し、波長分散素子７により、一次元空間情報を保ったままその転送像を波長分解し、二次元Ｘ線検出器９により、信号Ｘ線８Ａと参照Ｘ線８Ｂのスペクトルを吸収スペクトルおよび参照スペクトルとして同時に取得する。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

Ｘ線及びガンマ線の分光光子線量測定のための本発明の方法では、測定されるパルス波高分布によって処理される。ルーチンの場合には線量率測定は十分な精度で、しかし高い測定繰り返し周波数で行われる。より詳細な分析の場合にはできるだけ最良のエネルギ分解能及び線量率の放射性核種への割り当ての可能性によって処理される。これら二つの測定モードの選択は改善された測定をその都度の測定課題に適合することを可能にする。本発明の方法は２つの要求を１つのシステムにおいて組み合わせる。すなわち比較的良好なエネルギ分解能及び線量成分を個々の核種に割り当てる可能性を有する動作と高い反復レートで線量率が迅速かつ十分に精確に求めなければならないケースとを組み合わせる。両方の場合において様々な線量測定パラメータ又は臓器線量を算定する可能性が存在する。
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【課題】 本発明はエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡に関し、処理速度を向上させることができるエネルギー損失分光装置の分析方法及びエネルギー損失分光装置を備えた透過電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数のスペクトルを一つの光電変換素子画像として記録する画像記録手段１０と、その後該画像記録手段１０からの画像を一括読み込みしてからピクセルの位置変換処理を行なって複数スペクトルに分割する画像処理手段１２とを具備して構成される。この結果、エネルギー損失分光装置の処理速度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 試料への電子線照射ダメージが抑えられる電子線照射量で、Ｓ／Ｎが良く試料の状態分析を２次元イメージとして得る。
【解決手段】 透過電子顕微鏡又は走査型透過電子顕微鏡のエネルギーフィルターを用いた試料の分析方法であって、所望の観察領域に電子照射を行う工程と、前記試料を透過した電子のエネルギーをエネルギーフィルターにより分光してＥＥＬＳスペクトルを得る工程と、前記ＥＥＬＳスペクトルにおけるプラズモン・ロス電子によるピークの位置及び強度を得る工程と、前記プラズモン・ロス電子のピーク位置及び強度を色情報及び輝度情報として２次元イメージを得る工程とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の特定の好ましい実施形態において、ボトル製造の前に、カレットの流れを分析及び洗浄するシステム及び方法が提供される。本発明の特定の観点によると、前記システムは、原料供給機、混合段階、溶融段階、ボトル形成段階、冷却／焼鈍段階、検査段階、及びバッチ制御装置が含まれる。前記原料供給機は、更に、内部にカレット供給物を含むカレットビン、供給機、分析装置、及び除去組立品を含む。本発明の特定の好ましい実施形態は、カレットをコンベヤーに送り込む工程、前記カレットの組成のリアルタイム分析を行う工程、前記カレットから汚染物質を除去する工程、前記カレットバッチが既定の許容閾値と一致しているかどうかを決定する工程、前記ガラスバッチ処方を調整する工程、前記バッチ成分を混合段階に送出する工程、更にその後全体のガラス製造工程を完結させる工程を含むものである。 （もっと読む）

【課題】 核種を同定できると共に含有量を定量化できるようにする。
【解決手段】 分析対象試料１８に、外部中性子源からパルス中性子を照射し、透過する中性子のエネルギー分布を中性子検出器２２で検出し、飛行時間測定法によって核種毎に依存する中性子共鳴ピークの凹みを観測することにより、前記試料中に含まれる核種の同定と含有量の定量を行う。分析対象試料を１次元あるいは２次元の試料駆動台１６に載せて、試料を移動してコリメートされたパルス中性子を照射し、遮蔽体によりバックグラウンドを除去した状態で透過中性子を中性子検出器によって測定すると、試料中に含まれる核種の種類と含有量の位置依存性も求めることができる。 （もっと読む）