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Fターム[2G001CA01]の内容

Fターム[2G001CA01]に分類される特許

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【課題】試料表面及び厚さ方向の構造を精度よく分析できる試料構造の分析方法及び分析装置を提供する。
【解決手段】この分析装置は、試料200が配置されるステージ103と、X線照射機101と、X線検出器102と、針状電極105と、針状電極105と同期してレーザーを走査するレーザー照射装置106と、少なくともステージ103、該ステージ103に設置される試料200、及び針状電極105が収容される真空チャンバ121と、電源装置108とを備え、試料200にX線111を照射して、該試料にて回折されたX線112をX線検出器102で検出する工程と、試料200に高電圧及びレーザー113を印加して、針状電極105と試料200の間に生じた電界強度とレーザーパワーにより、該試料表面を電界蒸発して掘削する工程とを交互に行うように制御されている。 (もっと読む)


【課題】微細化あるいはハイアスペクト化された凹部を有する構造体に対するパターン検査の精度を向上させることができるパターン検査方法およびパターン検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明の実施態様によれば、構造体が有する凹部にX線または真空紫外線を集光させ、前記集光させた前記X線または前記真空紫外線を前記凹部の内部において伝播させて前記凹部の底面に到達させ、前記底面で反射または前記底面を透過した前記X線または前記真空紫外線の強度を検出することにより前記凹部の欠陥の有無を検査することを特徴とするパターン検査方法が提供される。 (もっと読む)


【課題】 本発明は隣接するスペクトルの重なりの影響を低減することができ、且つ、波数空間上のスペクトルをフィッティングして位相回復を行うよりも少ない計算量で位相回復を行うことができる計算方法、プログラムと、撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置は、シアリング干渉計と、シアリング干渉計により得られる干渉パターンから被検体の情報を算出する算出手段を備える。
算出手段は、干渉パターンを窓フーリエ変換することにより得られる波数空間上の座標におけるフーリエ成分を表す式を3以上用い、それらのフーリエ成分を表す式を連立方程式として解くことで被検体の情報を算出する。 (もっと読む)


【課題】全重量を軽くでき、被検車両の前輪を持ち上げて牽引してもフレームの変形が少なく、フレームの変形を規制するガイドが不要であり、重負荷により破損する可能性がある構成部材がなく、メンテナンスの必要性が低い地上式搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両1の搬送通路2に沿って被検車両の外側に位置し搬送方向3に水平に延びる左右の走行レール12と、同一の姿勢を保持しかつ互いに同期して各走行レール上を移動可能な左右の移動台車20と、各移動台車に設けられ、被検車両の前輪を昇降可能であり、かつ被検車両と干渉しない退避位置に退避可能な左右の前輪昇降装置30と、各移動台車を連結する連結位置と被検車両と干渉しない退避位置との間で移動可能な連結装置40とを備える。連結装置40は、前輪昇降装置30による被検車両1の前輪1aの昇降時に、左右の移動台車20を連結して各移動台車に作用する転倒モーメントを支持する。 (もっと読む)


【課題】多結晶材上に非晶質材が積層されてなる積層膜において、積層膜を構成する非晶質材の内部歪みを精緻に特定することができる非晶質材の内部歪み特定方法を提供する。
【解決手段】多結晶材上に非晶質材が積層されてなる積層膜における非晶質材の内部歪みを特定する方法であって、X線回折法を使用して、多結晶材1の第1の内部歪みを測定する第1のステップと、多結晶材1'上に非晶質材2を形成して積層膜5を作製する第2のステップと、X線回折法を使用して、積層膜5を構成する多結晶材1'の第2の内部歪みを測定する第3のステップと、第1の内部歪みと第2の内部歪みの差分から非晶質材2の内部歪みを特定する第4のステップからなる。 (もっと読む)


【課題】X線回折分析と蛍光X線分析の両方の分析により単結晶構造解析を行うX線分析装置の提供。
【解決手段】X線源2と、X線源が放射するX線を単結晶試料へ入射させる光学系3と、単結晶試料を支持する試料台4と、回折X線検出器5と、回折検出器5を角度移動させる回転駆動系6と、回折X線測定データ保存部と、回折X線の測定データに基づいて結晶構造のデータ解析を行う構造解析データ解析部と、エネルギー分散型蛍光X線検出器7と、蛍光X線測定データ保存部と、蛍光X線の測定データに基づいて蛍光X線分析を行う蛍光X線解析部と、蛍光X線分析データ保存部と、蛍光X線分析データを取得するとともに構造解析データ解析部へ出力する、蛍光X線分析データ取得手段と、を備える複合X線分析装置1であって、構造解析データ解析部は、蛍光X線分析データ取得手段が出力する蛍光X線分析データに基づいて、結晶構造のデータ解析を行う。 (もっと読む)


【課題】無機酸化物系材料中に微量に存在する鉛含有量の簡易かつ迅速な鉛含有量の定量方法を提供する。
【解決手段】無機酸化物系材料中の鉛含有量を、無機酸化物系材料からのPb−Lβ線のX線強度を蛍光X線分析法により測定し、あらかじめ求めた鉛含有量が既知である標準試料からのPb−Lβ線のX線強度と鉛含有量との関係を用いて定量することを特徴とする無機酸化物系材料中鉛含有量測定方法。 (もっと読む)


【課題】極めて容易に短時間で軟質合金の分析用試料を作製することを可能とする。
【解決手段】成型容器1に入れられた軟質合金2を表面3Aが鏡面仕上げされた成型部材3の表面3Aに接した状態で加圧成型することにより、軟質合金2の分析用試料2を作製する。成型部材1は、表面の凹凸が1μm以下に鏡面仕上げされている。軟質合金2を加圧成型する際の加圧力が、60kg重/cm2以上である。軟質合金2は、展性を有する金属材料である。 (もっと読む)


【課題】タンパク質結晶に損傷を与えることなく、かつ、簡便に、X線回折実験に適用するためのタンパク質結晶試料の調製方法を提供する。
【解決手段】タンパク質及びゲル化剤を含む溶液をイオン架橋形成溶液に加えて、タンパク質溶液を内包したイオン架橋ゲルカプセルを形成させる工程を含む、タンパク質結晶化用カプセルの製造方法。 (もっと読む)


【課題】X線画像データの保存に失敗するリスクを簡便な方法により低下することが可能なX線検査システムを提供する。
【解決手段】
X線検査装置と、バッファ手段であるRAMと、記憶手段である複数のHDD装置と、制御手段である制御部とを備えるX線検査システム。X線検査装置は、物品のX線画像データを得て、その得られたX線画像データによって物品の状態を検査する。RAMは、X線画像データを一時的に記憶する。HDD装置は、X線画像データを記憶する。制御部は、複数のHDD装置の中からX線画像データを記憶するHDD装置を選択する。制御部は、RAMに記憶されているX線画像データの数に基づいてX線画像データを記憶するHDD装置を選択する。 (もっと読む)


【課題】X線検出器等の被冷却物を冷却できない原因となる異常箇所を判定できる冷却装置を提供する。
【解決手段】筐体41内に配置された被冷却物32を設定目標温度に冷却する冷却装置40であって、被冷却物32の熱を吸熱する吸熱部51と、吸熱部51が吸熱した熱を排熱する排熱部52と、回転羽根42bが回転することで排熱部52に向かって冷却風を送るファン42と、被冷却物32の温度を測定する被冷却物温度センサ44と、吸熱部51の温度を測定する吸熱部温度センサ45と、被冷却物温度センサ44からの温度情報に基づいて、被冷却物32の温度が設定目標温度となるように、吸熱部51が吸熱する熱量を調整する制御部とを備え、制御部は、回転検知センサ46、被冷却物温度センサ44及び吸熱部温度センサ45からの情報に基づいて、被冷却物32を冷却することができない原因となる異常箇所を判定する。 (もっと読む)


【課題】検査精度を向上させ、5〜30nmのデザインルールにも適用できる検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明の検査装置は、荷電粒子又は電磁波の何れか一つをビームとして発生させるビーム発生手段と、ワーキングチャンバ内に保持した検査対象に前記ビームを導き照射する1次光学系と、可動式のニューメリカルアパーチャ、および前記検査対象から発生して当該ニューメリカルアパーチャを通過した二次荷電粒子を検出する第1検出器を有する2次光学系と、前記第1検出器によって検出された二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、前記可動式のニューメリカルアパーチャと前記第1検出器の間に設けられ、前記検査対象から発生する二次荷電粒子のクロスオーバ位置における位置及び形状を検出する第2検出器とを備える。 (もっと読む)


【課題】省エネ効果を可視化できる新たなX線検査装置を提供する。
【解決手段】搬送中の物品AがX線照射領域にない場合には、省エネモードに切り替わるX線検査装置1であって、該X線検査装置が省エネモードに切り替わると、運転中の表示画面に省エネモード中であることを表示する表示手段6を備えたことを特徴とする。これにより、物品の搬送状況やX線検査装置の稼動状況を監視する作業員にとっては、省エネモードへの切り替え表示を通して、物品の搬送状況やX線検査装置の運転状況とを同時に確認することができる。 (もっと読む)


【課題】高い空間解像度が得られる暗視野画像を得る方法、暗視野画像撮影装置及び、角度分析板を提供する。
【解決手段】厚さが2cm以上、原子面の回折に係る指数が220又は440のシリコン単結晶の角度分析板12を用いて、平行な状態で被検体Saに照射され、該被検体を透過したビームXを、前方回折ビームFDと回折ビームDとに分離し、分離された前方回折ビームFD及び回折ビームDの両方または少なくとも一方により、被検体Saの暗視野画像を得る。 (もっと読む)


【課題】 回折X線の強度にかかわらず、回折環を精度よく測定できるようにする。
【解決手段】 コントローラCTは、レーザ光の照射位置をイメージングプレート28の中心周りに回転させるとともに径方向に変化させている状態で、イメージングプレート28の同一回転角度でレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を同一にするとともに、イメージングプレート28が所定角度ずつ変化するごとにレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を変化させる。コントローラCTは、イメージングプレート28の回転角度が基準角度から所定角度ずつ変化するごとに受光信号を順次取得して、受光信号の大きさがピークとなる径方向位置を1周分検出し、検出した1周分の径方向位置における受光信号に基づいて、最適なレーザ光の強度又は受光信号の増幅率を設定する。 (もっと読む)


【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るCT装置。
【解決手段】被検体5を透過したX線ビーム2を検出して透過データとして出力するX線検出器3と、被検体5とX線ビーム2とを平行移動させる平行移動機構7と、被検体5とX線ビーム2とを回転軸RAに対し回転させる回転機構6と、回転の1つの位置で1回の平行移動をする間に透過データを収集する1回移動スキャンと、回転の約90°異なる2つの位置それぞれで平行移動をする間に透過データを収集する2回移動スキャンとを実施するもので、選択入力に応じて1回移動スキャンと2回移動スキャンのどちらかを実施する制御処理部9と、1回移動スキャンの透過データから被検体5の第一の断面像を再構成し、また、2回移動スキャンの透過データから被検体5の第二の断面像を再構成する再構成部9eを有するCT装置。 (もっと読む)


【課題】発光のブルーシフトが抑制された発光デバイスの製造に好適なIII族窒化物結晶基板、エピ層付III族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本III族窒化物結晶基板1は、結晶基板の表面層の均一歪みが1.9×10-3以下であり、結晶基板の表面層の不均一歪みが130arcsec以下であり、均一歪みと不均一歪みとは、それらの一方が小さくなるほど他方が小さくなる関係を有し、結晶基板の主表面1sの面方位が、結晶基板の(0001)面または(000−1)面1cから<10−10>方向に10°以上80°以下で傾斜している。 (もっと読む)


【課題】目視用の作業者を必要とせず、従来に比べて被検査体の内容物の個数を正確に検査する。
【解決手段】X線検査装置1は、内容物が収容体に縦詰めして整列収容された被検査体Wを順次搬送させながらX線を照射し、このX線の照射に伴うX線濃度データからなるX線透過画像に基づいて被検査体Wを検査するものであり、X線透過画像から内容物に相当する内容物領域を抽出し、さらに抽出した内容物領域から内容物の整列方向と直交する方向の内容物の凸部領域を抽出して計数する画像処理手段13と、画像処理手段13による凸部領域の計数値に基づいて内容物の個数を判別する判別手段14とを備える。 (もっと読む)


【課題】迅速に、かつ正確な方法で使用する石炭灰のアルカリシリカ反応の抑制効果を評価することのできる方法、およびそれを用いたセメントおよびコンクリートの製造方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡を用いた粒子解析により、使用する石炭灰中に含まれる特定の種類の粒子の比表面積を算出し、予め収集した産地の異なる石炭灰を混合したモルタルによるアルカリシリカ反応性試験の膨張率のデータとを比較し、使用する石炭灰のアルカリシリカ反応の抑制効果を評価する。さらに、使用する石炭灰中に含まれる特定の種類の粒子の比表面積と石炭灰のセメント置換率を乗じた積の値をアルカリシリカ反応抑制の指標として用い、使用する石炭灰のセメントおよびコンクリートへの必要な配合量を算出する。 (もっと読む)


【課題】X線回折測定において測定対象試料を気密状態で測定装置内に保持するために使用されるホルダーであって、試料のセットが容易で、かつX線透過窓等の試料以外の部分からの回折を検出する問題も生じさせないX線回折測定用気密試料ホルダーを提供する。
【解決手段】測定対象試料を設置する試料設置板、前記試料設置板を保持する保持部を有する底板とこの底板に対して垂直方向に延設される複数の壁又は柱と前記壁間又は柱間に設けられたX線透過部とからなる試料搭載具、及び、柔軟、非透気性かつX線透過性の膜からなり、前記試料搭載具を気密状態で封入可能な気密袋からなることを特徴とするX線回折測定用気密試料ホルダー。 (もっと読む)


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