【課題】 Ｘ線回折測定装置を容易に搬送可能に構成するとともに、測定対象物のＸ線による回折環を簡単に形成できるようにする。
【解決手段】 Ｘ線回折測定装置は、ケース６０を備えて、ケース６０内に、測定対象物ＯＢに向けてＸ線を出射するＸ線出射器１０と、イメージングプレート２１が取り付けられるテーブル２０と、イメージングプレート２１にレーザ光を照射して、出射した光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置４０と、テーブル２０を中心軸回りに回転させるスピンドルモータ３７と、テーブル２０をイメージングプレート２１の受光面に平行な方向に移動するフィードモータ３２とを収容する。ケース６０は、測定対象物ＯＢ上に載置される傾斜面壁６７を有し、傾斜面壁６７には出射されたＸ線を通過させる貫通孔６７ａが設けられている。傾斜面壁６７は、出射されたＸ線の光軸方向と所定の角度をなす。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物のＸ線による回折環の形状が不連続の状態で検出されていても、測定対象物の残留応力を精度よく検出できるようにする。
【解決手段】 コントローラＣＴ内に、残留応力の変化に応じて変化する複数の比較回折環の形状を表す回折環形状データ群を残留応力に対応させてそれぞれ記憶しておく。コントローラＣＴは、測定対象物のＸ線による回折環の形状を検出し、前記記憶されている回折環形状データ群によって表される複数の比較回折環の形状に対する、前記検出された測定対象物の回折環の形状の一致度合いをそれぞれ計算する。そして、コントローラＣＴは、前記記憶されている残留応力と、前記計算された一致度合いとの関係に基づいて、前記検出された測定対象物の回折環の形状に最も近い形状の比較回折環に対応した残留応力を測定対象物の残留応力として計算する。 （もっと読む）

【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折Ｘ線を回避することができるＸ線分析装置等を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓを試料Ｓの所定点周りに回転させながら１次Ｘ線２を照射し、試料Ｓから発生する２次Ｘ線４の強度を試料Ｓの回転角度と対応させた回折パターンを取得して記憶し、回折パターンを、２次Ｘ線４の強度を示す直線で強度の高低方向に走査しながら、直線が示す強度以下の強度をもつ回折パターン上の点を候補点とし、隣接する候補点間の回転角度差の最大値が所定の角度になったときに走査を止めて候補点の回転角度を記憶し、試料Ｓの測定点の座標に応じて、記憶した候補点の回転角度の中から測定点の座標に最も近い回転角度を読み出し、読み出した回転角度に試料Ｓを設定するとともに、試料Ｓの測定点を検出器７の視野Ｖ内に配置する。 （もっと読む）

【課題】２段に重ねられた検出器の画素間での対応がとれなくなったことを検出し、画素間での対応がとれるように輝度データを補正する非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４、検出部７６及び補正部７８を備えている。算出部７２は、透過Ｘ線の低エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。算出部７４は、透過Ｘ線の高エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。検出部７６は、両算出部７２，７２で算出された透過率の比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれ内容を検出する。補正部７８は、検出部７６でＸ線照射器２０の位置ずれ内容が検出された場合に、当該位置ずれ内容に応じて、検出器３２，４２で検出されたＸ線の輝度データを補正する。 （もっと読む）

【課題】簡素化された構成によりＸ線の照射範囲の調整を可能とし、部品点数や組立工数を減らすことで安価なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、筐体１１と、Ｘ線源と、搬送部３０と、スリット形成部材２４と、Ｘ線ラインセンサ４０と、を備える。筐体１１には、Ｘ線により物品の検査が行われる検査空間Ｓｉの上に配される第１空間Ｓ１および検査空間の下方に配される第２空間Ｓ２が内部に形成される。筐体１１は、開口部を有し第１空間と検査空間とを仕切る仕切り板部材１３を有する。Ｘ線源は、第１空間に配置され、物品にＸ線を照射する。搬送部は、検査空間に配置され、物品を所定の方向へ搬送する。スリット形成部材は、仕切り板部材の開口部の検査空間側に配置され、物品の搬送方向に交差する方向に延びるスリットＡを形成する。Ｘ線ラインセンサは、第２空間に配置され、スリットを通って物品を透過したＸ線を検出する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を略一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線管３１を、搬送面に平行な平面上において搬送部２の搬送方向上流側または搬送方向下流側に位置調整可能に支持する支持機構１００と、第１のＸ線画像データおよび第２のＸ線画像データから被検査物Ｗの搬送方向の濃淡変化を示す第１の波形および第２の波形をそれぞれ取得し、第１の波形形状と第２の波形形状の差異に基づいて、Ｘ線管３１の調整方向を判定する調整判定部８１と、調整判定部８１により判別された調整方向を表示する表示器５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像上の被検査物の大きさと形状を一致させ、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線管３１を、Ｘ線ラインセンサ５１に対する相対位置を調整可能に支持する第１支持機構１００と、第１および第２のＸ線画像データから被検査物Ｗの検出幅方向の濃淡変化を示す第１および第２の波形をそれぞれ取得し、第１の波形がなす台形形状の下底の一方の端点の角度（角度θ１）が第２の波形がなす台形形状の同方向の端点の角度（角度θ２）より小さい場合に、Ｘ線管３１の調整方向が、搬送面と平行な平面上であって被検査物Ｗの搬送方向と直交する方向（Ｙ軸）において、第１の波形がなす台形形状の他方の端点から一方の端点の方向であると判別する調整判定部８１と、調整判定部８１により判定された調整方向を表示する表示器５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】処理時間の短縮を図りつつ、断層画像又は立体画像における虚像の発生を防止することができるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】被検体１に対し放射線源２及び検出器３を相対的に回転させて複数回走査する回転機構４と、検出器３からの出力信号を処理して複数の透過画像を生成する信号処理回路５と、走査位置が同じで走査回数が異なる透過画像の重ね合せ処理を行い、重ね合せ処理後の透過画像に基づいて被検体１の断層画像又は立体画像を再構成する制御装置６とを備える。制御装置６は、各走査回数の透過画像データの画素値総和量を演算し、この画素値総和量が予め設定された基準範囲内にあるかどうかを判断することにより、各走査回数の透過画像データが正常であるかどうかを判定し、正常と判定された透過画像データに対し重ね合せ処理を行う。 （もっと読む）

【課題】エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ５１を、Ｘ線ラインセンサ５２に対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された第１支持部材７１と、第１支持部材７１の被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材７４と、第１のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第２の波形とを取得するとともに、第１の波形の先端部に対する第２の波形の先端部の位相差に基づいて第１支持部材７１の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定部と、位置調整判定部による判定結果を表示する表示器と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】大規模な機構部を用いることなく負荷が掛かったタイヤを検査するタイヤ検査装置を提供する。
【解決手段】ホイール３に装着保持され内部の空気が加圧されたタイヤ２に対し、接地面に加圧板４ｃを押し付けて負荷を掛ける負荷機構４ｂと、負荷を掛けられたタイヤ２を撮影して複数の互いに平行な断面像７（７ａ，７ｂ，７ｃ）を撮影するＣＴ部５と、複数の互いに平行な断面像７から断面変換してホイール３の回転軸ＨＡを通る複数の互いに傾斜した断面像を作る画像処理部６を有することを特徴とするタイヤ検査装置。 （もっと読む）

【課題】貨物の移動方向に対して直交する平面内にＸ線が透過し難いものが複数重なった状態であっても、個々の被検体の形状による識別が可能である貨物多視角検査装置と方法を提供する。
【解決手段】被検体を収容した貨物１の移動方向９に対し交差し、かつ互いに交差する複数の平面Ａ，Ｂ，Ｃ内において、貨物に対してＸ線２１（線状Ｘ線２２）を照射する１又は複数のＸ線発生装置１２と、各平面内において、貨物を透過した透過Ｘ線２３（線状透過Ｘ線２４）の強度をそれぞれ検出する複数のＸ線検出器１５と、検出した透過Ｘ線の強度から、貨物の各平面に直交する複数の透過Ｘ線画像２５を作成する画像処理装置１６と、複数の透過Ｘ線画像２５を表示する画像表示装置１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来の光の散乱を用いた異物検出と、反射結像型電子顕微鏡による異物検出とでは、全く原理が異なることから、得られた異物検査データを直接比較することはできず、総合的な異物管理ができない課題があった。また、同一のウェハを、散乱光を用いた検査装置と反射結像型電子顕微鏡との別々の装置で検査を実施すると、二つの装置間でのウェハ搬送中に新たな異物が付着する危険性を除外できず、厳密な検査データの比較ができないという課題があった。
【解決手段】 反射結像型電子顕微鏡の対物レンズの周囲に、レーザー光導入システムと、散乱光検出器を配置し、同一の装置で散乱光による異物検出と、反射結像型電子顕微鏡による異物検出とを実施できるようにした。 （もっと読む）

【課題】照射範囲の広いX線照射装置を用いて、試料を電子回路基板等に実装したままで、分析対象部分にのみX線を照射して分析する。
【解決手段】X線照射位置決めフィルタ２０Ａが電子回路基板６０上の部品６１Ａの近傍に配置されている。X線照射位置決めフィルタ２０ＡにはX線を通す窓が開いている。窓の形状は、部品６１Ａにおける分析対象部分の形状に合わされている。窓を除く表面はX線を遮断する。蛍光X線分析装置１Ａは、X線管１０で発生する一次X線１１を部品６１Ａに照射する。窓を通過した一次X線１１によって部品６１Ａにおける分析対象部分を構成する物質の分子が励起され、蛍光X線１２が発生する。蛍光X線分析装置１Ａは、その蛍光X線１２を検出器３０で検出し、分析器４０で部品６１Ａを構成する物質に含有される成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】検査精度および検査速度の低下が防止できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置がアーチファクトを認識するために実行する処理は、撮像条件１の再構成画像から断層画像Ｓ１を取得するステップ（Ｓ５１０）と、撮像条件２の再構成画像から断層画像Ｓ２を取得するステップ（Ｓ５２０）と、断層画像の差分（Ｓ１−Ｓ２）を計算するステップ（Ｓ５３０）と、差分の絶対値が閾値以上であればアーチファクトと判断するステップ（Ｓ５４０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置における撮像時間を短くする。
【解決手段】Ｘ線検査装置が実行する処理は、検査対象物中の着目点がＸ線検出器の受光中心に常に投影された状態で、Ｘ線検出器および撮像視野を、それぞれの移動のために予め設定された軌道上で連続的に移動させるステップ（Ｓ７１０）と、その移動中に、各目標位置において、連続的にＸ線を照射するようにＸ線発生器を駆動し、またはＸ線検出器が露光状態にある期間、Ｘ線を照射するステップ（Ｓ７２０）と、Ｘ線を露光し、プロジェクション画像（投影画像）を出力するステップ（Ｓ７３０）と、予め設定されたｎ回の露光が行なわれると（ステップＳ７５０にてＹＥＳ）、ｎ枚のプロジェクション画像から３次元画像を再構成するステップ（Ｓ７６０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜の応力・歪測定およびRHEEDによる構造解析を同時に行なえる、非固定式通電加熱ホルダーを提供すること。
【解決手段】ホルダー本体と、ホルダー本体に電気的に絶縁した状態で固定設置されている2個の試料設置台座と、試料設置台座に対応して設けられ、電極間に試料をフックした上で前記試料を通電加熱可能な2個の電極と、前記2個の電極の位置を、前記試料設置台座に対して垂直方向に摺動自在に保持する電極保持手段と、2個の試料設置台座に対応して設けられ、かつ前記ホルダー本体と電気的に接地されており、前記ホルダー本体が下向きにされた際に、前記試料の重力落下を防止し、同時に前記試料と電気的に接続される爪を備えた2個のアース板から構成される。 （もっと読む）

【課題】脱脂綿を搬送ベルト上に載置して移送することなく、Ｘ線放射管と検知機との間に、脱脂綿のみを、順次移送して脱脂綿の表面に付着し、あるいは脱脂綿の内部に混入した異物を検査するための脱脂綿における異物混入の検査方法および検査装置を開発・提供することにある。
【解決手段】長尺状に形成した脱脂綿（１）を、そのまま複数のローラ（Ｘ）（Ｙ）（Ｚ）で移送する中途に、無底の筐体（２）を設け、該脱脂綿（１）を、筐体（２）内に迂回して入り込むよう配備し、該筐体（２）内の上部に設けた，軟Ｘ線を用いたＸ線放射管（３）を設け、該筐体（２）内の下部には、脱脂綿（１）を挟んで下方に検知機（４）を設け、Ｘ線漏えい範囲を超えた下方に、前記筐体（２）の下端部が位置するようにしたことを特徴とする脱脂綿における異物混入の検査方法及び検査装置。 （もっと読む）

【課題】前置増幅部前段の性能特性の変動による影響が抑制されたＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】標準サンプルから放出された蛍光Ｘ線を検出する半導体Ｘ線検出素子、及び半導体Ｘ線検出素子の出力信号を受信する初段ＦＥＴ回路を含む前置増幅部前段と、前置増幅部前段を冷却する冷却装置と、前置増幅部前段から出力される検出信号を分析する信号分析装置と、検出信号を分析して得られる前置増幅部前段の性能特性を示す性能値、及び前置増幅部前段の温度をリアルタイムで監視し、冷却装置を制御して性能値が規定値を満たすように前置増幅部前段の温度を調整させる制御装置とを備え、前置増幅部前段が調整された温度において、測定対象物から放出された蛍光Ｘ線を分析する。 （もっと読む）

【課題】位相型回折格子の機能劣化を低減しつつ加工精度のより高い位相型回折格子の製造方法、該位相型回折格子およびＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】位相型回折格子の製造方法は、シリコン基板３０をエッチングして所定の深さのスリット溝を形成する凹部形成工程と、前記深さの方向における設計値の長さとなるように金属３５をスリット溝内に形成する金属形成工程（図４（Ａ））と、金属形成工程でスリット溝内に形成された金属３５における前記深さの方向の長さを実際に計測する計測工程（図４（Ｂ））と、設計値の位相差を生じさせるように、計測工程で計測された金属３５の実際の長さに応じてスリット溝の側壁に対応する部分における前記深さの方向の長さを調整する調整工程（図４（Ｃ））とを備える。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト法より少ない周期パターンからでも、窓フーリエ変換法より正確に波面情報を算出することが可能な波面測定方法、プログラムとそれを用いた波面測定装置とＸ線撮像装置を提供すること。
【解決手段】 波面測定装置は、光源からの光で光周期パターンを形成する光学素子１４０，１５０と、光学素子からの光を検出する複数の画素を有する検出器１６０と、検出器の検出結果に基づいて被検体を透過した光の波面の複数の位置における波面情報を算出する算出手段１７０と、を備え、被検体の情報を取得する。算出手段は、第１の光周期パターンの検出時に第１の画素が検出した検出結果と、第１の光周期パターン検出時に第１の画素から３画素以内に配置されている第２の画素が検出した検出結果と、第２の光周期パターンの検出時に第１の画素が検出した検出結果と、を用いて、１つの位置における波面情報を算出する。 （もっと読む）