【課題】Ｓ／ＴＥＭ分析のためにサンプルを抽出および取り扱うための改善された方法および装置を提供すること。
【解決手段】本発明の好適な実施形態は、ラメラを基板表面を有する基板から抽出するための装置であって、１以上のステージ・コントローラに接続された基板用の可動ステージと、マイクロプローブと、可動ステージ上に設けられて基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダが基板を保持しているときに基板表面に対してある斜角で基板表面に光を当てるための斜照明と、基板を撮像する光学顕微鏡とを備える。 （もっと読む）

【課題】２段に重ねられた検出器の画素間での対応がとれなくなったことを検出し、画素間での対応がとれるように輝度データを補正する非破壊検査装置を提供すること。
【解決手段】非破壊検査装置１は、Ｘ線照射器２０、低エネルギ検出器３２、高エネルギ検出器４２、低エネルギ透過率算出部７２、高エネルギ透過率算出部７４、検出部７６及び補正部７８を備えている。算出部７２は、透過Ｘ線の低エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。算出部７４は、透過Ｘ線の高エネルギ範囲における透過率を示す値を算出する。検出部７６は、両算出部７２，７２で算出された透過率の比に基づいてＸ線照射器２０の位置ずれ内容を検出する。補正部７８は、検出部７６でＸ線照射器２０の位置ずれ内容が検出された場合に、当該位置ずれ内容に応じて、検出器３２，４２で検出されたＸ線の輝度データを補正する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイ検査装置において、基板内で絶縁破壊（ＥＳＤ）を生じさせることなく、基板に帯電した電荷を放電する。
【解決手段】プローバーを基板に配置し、プローバーを介して検査信号を基板に供給し、基板上に形成されたＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、ＴＦＴアレイ検査時にプローバーを基板に配置した際に、基板をプローバーを介して接地された高抵抗の放電用抵抗に接続することによって、基板に帯電する電荷をプローバーおよび放電用抵抗を介して放電させる。基板に帯電する電荷を、基板からプローバーを介して放電用抵抗に導くことによって、ＴＦＴアレイ検査装置内において格別な機構を設けることなく基板に帯電する電荷を放電することができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギーサブトラクション法により得る２つのＸ線画像の画像ずれを低減し、異物検出性能の低下を防止することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ５１を、Ｘ線ラインセンサ５２に対して平行となる姿勢を保って支持するとともに、被検査物搬送方向に位置調整可能に構成された第１支持部材７１と、第１支持部材７１の被検査物搬送方向に対する位置の調整操作を行う位置調整部材７４と、第１のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物搬送方向の波形である第２の波形とを取得するとともに、第１の波形の先端部に対する第２の波形の先端部の位相差に基づいて第１支持部材７１の位置調整方向および位置調整量を判定する位置調整判定部と、位置調整判定部による判定結果を表示する表示器と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 従来の光の散乱を用いた異物検出と、反射結像型電子顕微鏡による異物検出とでは、全く原理が異なることから、得られた異物検査データを直接比較することはできず、総合的な異物管理ができない課題があった。また、同一のウェハを、散乱光を用いた検査装置と反射結像型電子顕微鏡との別々の装置で検査を実施すると、二つの装置間でのウェハ搬送中に新たな異物が付着する危険性を除外できず、厳密な検査データの比較ができないという課題があった。
【解決手段】 反射結像型電子顕微鏡の対物レンズの周囲に、レーザー光導入システムと、散乱光検出器を配置し、同一の装置で散乱光による異物検出と、反射結像型電子顕微鏡による異物検出とを実施できるようにした。 （もっと読む）

【課題】不均一放射照度環境下において検出器ゲイン特性をステッチングおよび線形化する方法を提供する。
【解決手段】不均一放射（平面的なＸ線（光）領域を有する放射源の使用が必要とされない）状況におけるマルチセンサ検出器ゲイン特性のステッチングおよび線形化の手法で、検出器センサの出力信号強度の変換のためのＬＵＴ関数の計算に基づいている。規定されたＬＵＴ関数の適用し、測定精度の範囲内で、同じでかつ線形であるセンサゲイン特性が受信される。ステッチングＬＵＴ関数の計算は、検出器の領域に沿ってゆっくりと変化する不均一Ｘ線（光）を照射し、同じゲイン特性を有する任意の２つの隣接したセンサの応答が、これらのセンサの連結部付近において類似の値を有することを利用する。 （もっと読む）

【課題】
本発明をウエハ、ディスプレイパネル、磁気ディスクなど試料上に発生した欠陥の部位に対して、走査電子顕微鏡で画像を撮像しようと試みたとき、画像に欠陥が写っていないといった失敗が生じる割合を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥の座標と特徴量を有する欠陥検査データを入力し（２４１）、欠陥毎に走査電子顕微鏡での検出可否を予測し（２４２）、予測結果に基づいて走査電子顕微鏡で撮像する座標をサンプリングし（２４３）、予測結果に基づいて加速電圧を設定した電子光学系、ないしは光学系で欠陥部位の画像を撮像する（２４４）。 （もっと読む）

【課題】 検出感度が高く、アフターグローの低減された、X線検査装置を提供する。
【解決手段】 増感紙を具備するＸ線検出器において、透過型増感紙１０、または反射型増感紙１１の少なく共いずれか一方に、増感紙用蛍光体としてＧｄ_２Ｏ_２Ｓ：、Ｐｒ、ＣｅまたはＧｄ_２Ｏ_２Ｓ：Ｐｒの少なく共一種を使用する。本発明のX線検出器では、３ｍｓｅｃ後のアフターグローの光出力は０．２％以下となり、残像等の問題の無い、明瞭な画像が得ることができる。 （もっと読む）

【課題】２つのＸ線画像上の被検査物の大きさの違いを、異物検出性能の低下が無視できる程度に低減することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線管３２をその鉛直軸上の位置を調整可能に支持する支持機構７１と、第１のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第１の波形と第２のＸ線画像データにおける被検査物Ｗの幅方向の波形である第２の波形とを取得して比較し、第２の波形の幅が第１の波形の幅より大きいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸上方であると判定するとともに、第２の波形の幅が第１の波形の幅より小さいときは、Ｘ線管３２の調整方向が鉛直軸下方であると判定する調整判定部８１と、調整判定部８１により判定された調整方向を表示する表示器５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】測定者が必要とする試料上の領域のみを、必要最小限の動作で測定することで、マッピング分析に要する測定時間を短縮するＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】マッピング像と試料の画像データとを重畳処理し、照射ポイントに相当する位置を決定し、その結果に基づき画像表示し、該表示された画像において測定実施領域を指定して、試料移動機構が指定された領域以外を高速で移動するようにした。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便に検査作業が行え、しかも、対象物を運んでいるベルトコンベアであっても、ベルトの良否を判定できるベルトコンベアのベルトの検査装置を提供する。
【解決手段】ベルトコンベアに使用されているリターン側のベルト１２の上側及び下側のいずれか一方側に配置されたＸ線発生器１３と、ベルト１２の他方側に配置され、Ｘ線発生器１３からの透過Ｘ線を受けるＸ線ラインセンサー１４と、Ｘ線ラインセンサー１４の出力によって、ベルト１２を通過したＸ線の透過量とその位置からベルト１２のＸ線透過画像を作る制御手段１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は集積回路、磁気ヘッド、磁気ディスク、太陽電池、光モジュール、発光ダイオード、液晶表示パネルなど基板上に発生した欠陥や異物の画像を撮像し、欠陥や異物を種類ごとに分類する欠陥分類装置において、撮像した画像に写っている欠陥の重要度を定量的に計算し、重要度の高い欠陥が写っている画像だけをデータベースに保存することで、ネットワーク負荷やデータベース負荷を低減する。
【解決手段】
本発明は、欠陥座標データを入力し、画像撮像プログラム５０１にて画像を撮像し、特徴量抽出プログラム５０２にて撮像した画像から欠陥の特徴量を抽出し、欠陥分類プログラム５０３にて欠陥を種類別に分類し、重要度予測プログラム５０４にて欠陥毎に重要度を計算し、画像選別プログラム５０６にて重要度に基づいて画像をデータベースに伝送するか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】軽量かつ設置が容易で、さらにＸ線被爆なく、直線状の被検査物をその場で非破壊に多方向からのＸ線透過像を取得し、被検査物の劣化状況等を高精度で検査できるＸ線非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため、直線状の被検査物をその場で非破壊検査するＸ線検査装置であって、前記被検査物を挟み対峙する１組のＸ線源及び２次元検出器を３組以上搭載し、前記被検査物に沿って手動或いは自動的に移動させながら、前記Ｘ線源からパルス状のＸ線を順次発生させ、前記２次元Ｘ線検出器でＸ線透過像データを検出することにより、前記被検査物の全周を長い距離にわたって検査することを特徴とするＸ線非破壊検査装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器３および裏面検出器４によって集光されるシンチレーション光はそれぞれ法線Ｂ，Ｃ方向に対して角度θ_１，θ_２をなす方向に出射されるため、放射線画像Ｐａ，Ｐｂには同様のあおりが生じ、入射面６ａ側および裏面６ｂ側の画像間における演算が容易になっている。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、表面検出器３および裏面検出器４は、入射面６ａおよび裏面６ｂからそれぞれ法線Ｂ，Ｃ方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、いずれもあおりがない放射線画像を取得することができ、入射面６ａ側および裏面６ｂ側の画像間における演算が容易になる。 （もっと読む）

【課題】異なるエネルギー帯の放射線画像を取得することができ、しかも、対象物を透過した放射線に与える影響を低減することができる放射線画像取得装置を提供する。
【解決手段】本発明の放射線画像取得装置１では、表面検出器３および裏面検出器４によって、異なるエネルギー帯の放射線画像を取得するデュアルエナジー撮像が実現される。ここで、対象物Ａと波長変換板６との間には撮像手段が何ら介在していないため、対象物Ａを透過した放射線に与える影響が低減され、低エネルギー帯の放射線が好適に検出される。しかも、裏面検出器４は、裏面６ｂの法線Ｃ方向に出射されるシンチレーション光を集光するため、あおりの無い裏面側画像Ｐｂを取得することができ、この裏面側画像Ｐｂを基準画像として表面側画像Ｐａのあおりを適正に補正することができる。 （もっと読む）

【課題】被検体の断層画像を求めるために必要となる撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減する。
【解決手段】検査対象範囲ＴＲの一部の領域ＴＲa、ＴＲwについては、被検体を構成する各部材（基板Ｗ、電子部品ＥＰ）の配置を示す部材配置情報から推定することとし、透過像の撮像結果から断層画像情報を求める領域を領域ＴＲa、ＴＲw以外の領域に限定する。つまり、撮像条件は、検査対象範囲ＴＲのうち領域ＴＲa、ＴＲwを除いた領域の断層画像情報を求めるために必要となるものについて設定され、こうして設定された各撮像条件で透過像が撮像される。その結果、撮像条件の数を抑えて、被検体の被曝負荷を軽減することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】広い検出範囲面積を有しつつ複雑さ及び費用を抑えたＸ線検出器アセンブリを設計する。
【解決手段】Ｘ線検出器アセンブリ（８４）が、第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）と、第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）とを含んでいる。Ｘ線検出器アセンブリ（８４）はさらに、Ｘ線透過方向にＸ線源（７４）から第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）に向かって発散するＸ線を受光しないように第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）を遮断する第一の位置において第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８４）を整列させるように構成されている第一の検出器装着構造（８８）を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】画素毎に、検出素子の個体差を考慮した校正を施す。
【解決手段】格子状に等間隔に配列された複数の検出素子６１を有し、各検出素子６１が検出した被写体としてのプリント基板Ｗの画像を画素毎に分解して出力する撮像ユニット２０、４０を備えている装置に適用される。個々の画素の個体差を表す個体差ファクタα、βを記憶し、記憶された個体差ファクタα、βに基づいて、当該検出素子６１毎に線形な校正値を出力し、前記検出値校正処理部２２５が演算した校正値Ｉχｃに基づいて、画素毎に目標物理量としての輝度値Ｂや材料厚さχを演算する。 （もっと読む）

【課題】宇宙線ミュオン用いて、操業条件毎の反応炉内部の密度分布を推定する方法を提供する。
【解決手段】反応炉内部を通過してミュオン計測器で検出されるミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を一定時間毎に繰り返し記録するステップ１と、ステップ１を実施している最中の反応炉の操業条件の時間変化を記録するステップ２と、ステップ１及びステップ２で記録された情報に基づいて、一定時間毎のミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を操業条件と関連づけるステップ３と、ステップ３で得られた情報に基づいて、特定の操業条件のときにミュオン計測器で検出された飛来方向毎の累積強度情報の合計値を生成するステップ４とを含む操業条件と関連づけられた反応炉内密度分布推定方法。 （もっと読む）